Титановые геттерные насосы

В Испарительном геттерном насосе титан конденсируется на внутренней стенке цилиндрического экрана 6, охлаждаемой жидким азотом, подаваемым из сосуда Дьюара 2. Испаритель титана 3 содержит запас титановой проволоки и механизм для ее периодической подачи в водоохлаждаемый медный тигель — анод. Испарение титана происходит путем разогрева титановой проволоки электронной бомбардировкой с помощью имеющейся в испарителе электронной пушки. Такой спо-138 [c.138]

Испарение геттера в электродуговых геттерных насосах происходит с поверхности титанового катода за счет высокой концентрации энергии в катодном пятне электрической дуги постоянного тока. Плотность тока в катодном пятне достигает 10 ° — 10" А/м . [c.140]

Магнитный электроразрядный насос Два титановых испарительных геттерных насоса. Один механический вакуумный насос [c.275]

В вакуумной системе, построенной по схеме 5 табл. 14.2, применена комбинация титанового испари-тельно-геттерного насоса 16 и магнитного электроразрядного насоса 17, которые откачивают изделие 2 через цельнометаллический кран 4. [c.277]

Предварительная откачка изделия 2 осуществляется через цельнометаллический прогреваемый кран 5 и кран 12 с резиновым уплотнением безмасляной системой, состоящей из механического вакуумного насоса 15 с адсорбционной ловушкой 10 и титанового испарительного геттерного насоса 9. Вначале изделие откачивается механическим вакуумным насосом 15 до давления 5 Па, а затем — испарительным геттерным насосом до давления 10 —10 Па. [c.277]

С этой же целью в ряде конструкций устанавливают в рабочей камере дополнительные титановые испарительные геттерные насосы или криосорбционные насосы, охлаждаемые жидким гелием. Для напуска воздуха или газа в рабочую камеру предусмотрены электромагнитный натекатель 5 и ручной натекатель 3. [c.288]

Рис. 45. Схема геттерно-ионного титанового насоса

Вследствие этого большая часть титановых геттерных насосов также, как и один из его вариантов, показанный на рис. 26, работает в режиме сублимации. Конструкция стенок корпуса насоса позволяет использовать охлаждение проточной водой или жидким азотом. В качестве источника паров служит нагреваемая проходящим током танталовая проволока Для получения достаточно высоких скоростей сублимации с относительно небольшой поверхности проволоки источник работает в температурном режиме, предельно близкой к расплавлению. Это создает опасность разрушения проволоки в случае пойвления участка локального перегрева Для решения этой задачи Мак Кракен[112] предложил использовать проволоку из Т1 — Мо сплава (15% Мо). Сублимация из таких источников обладает свойствами саморегулирования перегрев какого-либо участка проволоки приводит к преимущественному испарению титана из этого [c.208]

В отечественных геттерно-ионных насосах чаще всего применяются иодидный титан (СТУ-35-452-63), титановый сплав ВТ-1-1 (АМТУ-388-59), а также титапо-мо-либденовая проволока (СТУ-35-451Э63), которую получают путем осаждения титана на молибденовый керн с помощью иодидного метода. [c.100]

Большая емкость для На обусловлена высокой растворимостью водорода в титане. Однако эта величина вызывает сомнение, поскольку растворенный в пленке водород легко уходит из нее, превращая тем самым геттерный на сос в аккумулятор этого газа. Действительно, в спектре остаточных газов систем с откачкой титановыми насосами водород обнаруживается часто поскольку он обычно присутствует в исходной загрузке металла в виде примеси порядка 10 [119]. Кроме того, в очень чистом титане обычно присутствуют следы углерода. Если мощности, выделяемые при работе титанового геттеро-ионного насоса достаточно велики, то углерод вступает в реакцию с водородом я образует СН, [119, 120]. [c.209]

Справочник химика 21

Химия и химическая технология