Газа давление манометры для высокого и сверхвысокого вакуума

Манометры для высокого и сверхвысокого вакуума. Практически все измерения давления ниже 10 3 мм рт. ст. основаны на явлении ионизации остаточных газов. Альтернативные методы измерений, в которых используются специальные варианты манометров Маклеода и Пирани или другие типы измерителей вакуума, см., например, [6], гл. 5), менее удобны и не охватывают всего диапазона, вплоть до самых низких интересующих нас давлений. Для ионизации молекул в рабочее пространство инжектируются электроны с энергиями, превышающими потенциал ионизации газа, т. е. свыше 50 эВ. [c.323]

Наивысшей чувствительностью обладают промышленные масс-спектрометрические течеискатели, реагирующие только на пробное вещество вне зависимости от присутствия посторонних паров и газов. Практически нечувствительны к присутствию воздуха и других веществ галогенные течеискатели, но пары растворителей и других галогенсодержащих соединений могут вызывать фоновые сигналы. С увеличением фонового сигнала и его нестабильности, естественно, возрастает наименьший достоверно регистрируемый сигнал о течи и порог чувствительности. Сигнал манометров определяется всей совокупностью присутствующих веществ, и возможности регистрации течей манометрическим методов при общем высоком уровне давления офаничены. Зато при сверхвысоком вакууме этим методом могут быть иногда зафиксированы предельно малые течи, лежащие за порогом чувствительности даже масс-спекфомефического метода. Следует иметь в виду, что порог чувствительности не является абсолютной характеристикой метода, но зависит от способов его реализации, схемы и режима испытаний, характеристик испытуемого объекта. В табл. 3 приведены цифры, относящиеся к предельным возможностям в самых лучших условиях. Далее будет приведено краткое описание наиболее распространенных тече-искателей. [c.552]

Ионизационные манометры, к которым относятся электронные ионизационные манометры, магнитные электроразрядные манометры и радиоизотопные манометры, используются для измерения малых давлений в области высокого и сверхвысокого вакуума. Действие этих приборов основано на использовании ионизации газа. Электронный ионизационный манометр состоит из манометрического преобразователя (лампы типов ЛМ-2, ИМ-4, ИМ-7Л, ИМ-9, ИМ-11 и ИМ-12) и измерительного блока, обеспечивающего питание преобразователя и измерение необходимых параметров. Манометрический преобразователь в простейшем виде представляет собой трехэлектродную конструкцию, в которой анод, выполненный в виде редкой цилиндрической сетки и имеющий высокий потенциал (100—200 В), создает сильное ускоряющее поле для электронов, эмиттированных нагретым катодом. Электроны ионизируют молекулы разреженного газа, образующиеся иоиы собираются коллектором, расположенным за анодом и имеющим отрицательный потенциал (20—100 В). [c.175]

Ионизационные манометры сами действуют как насосы или источники остаточных газов. Их откачивающее действие обусловлено электрическим механизмом откачки, обсуждавшимся в разд. 2Д, 2). Эффект значительно сильнее для манометров с ненакаливаемымн катодами. Обезгаживанте электродов лампы производится обычно при включении манометра. Кроме катода, пропусканием сквозного тока в течение нескольких минут прогревается и сетка. Мощность, выделяемая при этой операции, достаточно высока для нагрева и частичного обезгаживания колбы лампы. Однако этот прогрев не снижает скорости газовыделения настолько, чтобы манометром можно было бы пользоваться в сверхвысоком вакууме. Выделение газа в чистой, но непрогретой соединительной трубке манометра может по.ме-шать измерению вакуума выше 10 мм рт. ст. [360]. Такие же трудности возникают, если на соединительную трубку датчика попадают пары масла из насоса (361]. Для сведения разницы в давлениях внутри лампы и в вакуумной системе к минимуму нужно использовать соединительные трубки с высокой пропускной способностью [362]. Для давлений вплоть до 10 мм рт. ст. адекватным считается параметр в 20 мм, тогда как для более глубокого вакуума рекомендуются трубки = 25 мм. [c.331]

Манометрическая лампа может, конечно, поглотить лишь ограниченное количество газов. Если хорошо обезгаженная лампа включена при относительно высоких (для иопизационного манометра) давлениях (порядка 10 -V-мм рт. ст.), то, поглощая газы, манометрическая лампа относительно быстро насыщается , после чего снижение давления прекращается если же манометрическую лампу включить при достаточно низком давлении, то момент насыщения , естественно, отдаляется, и откачивающее действие манометра может продолжаться весьма длительное время при этих условиях при помощи иоиизационного манометра можно добиться в вакуумной оистеме сверхвысокого вакуума. [c.239]