Лампы манометрические ионизационные

Рис. 102. Схематическое изображение триодной ионизационной манометрической лампы.

Рис. 6-24. Манометрическая лампа для ионизационного манометра 1 — катод 2 — сетка 3 — коллектор ионов 4 — выводы катода 5 — выводы сетки 6 — вывод коллек-тора ионов 7 — стеклянный баллон 8 — трубка для присоединения к вакуумной системе.

Рис. 6-24. Манометрическая лампа для ионизационного манометра.

Рис. 167. Схема ионизационной манометрической лампы Пеннинга.

Отечественная промышленность выпускает следующие типы термопарных и ионизационных манометров ЛТ-2 (лампа термопарная в стеклянном оформлении), ЛТ-4М (лампа термопарная в металлическом оформлении), ЛМ-2 (лампа манометрическая ионизационная) с рабочим диапазоном 10 —5хЮ мм рт. ст. Несколько изменена конструкция лампы ИМ-12, которая работает в диапазоне давлений 10 —10 ° мм рт. ст. [c.10]

Большая потребность в исследовании ряда явлений в условиях сверхвысокого вакуума (изучение свойств поверхностей, совершенно чистых от адсорбированной пленки газа, исследование изотопов и т.п.) заставила обратиться к разработке такой манометрической лампы для ионизационного манометра, в которой помеха в виде фотоэлектронного тока с коллектора была бы минимальной. [c.243]

I — испытываемый на течь прибор 2 — резиновая трубка для вставления прибора на откачку 3 и 4 —краны 5 —зажимное гнездо 5 — манометрическая лампа для ионизационного манометра 7—металлическая трубка (палладиевая или никелевая) 8 — подогреватель для нагрева металлической трубки 9 — ловушка 0 — источник [c.268]

При изучении изохорного процесса дегазации кран после предварительной откачки системы перекрывался и давление измерялось ионизационным и термопарным манометрами с манометрическими лампами ЛТ-2 (М ) и ЛМ-2 (Мг). Периодический анализ газовой смеси мог проводиться путем удаления водорода через палладиевый фильтр 9, нагреваемый до 550° вольфрамовой печью сопротивления 10, фракционного вымораживания воды и двуокиси углерода в ловушке и вымораживания газовой смеси жидким азотом до давления 10 торр в ловушке Л2 с активированным углем. Эти же устройства использовались для смещения равновесия путем удаления из газовой смеси тех или иных компонентов. Водород для насыщения образцов подавался в трубку 1 через палладиевый фильтр 9 из пипетки 11. Трехходовой кран Кг служил для подачи водорода в баллон 12 или для откачки баллона 12 через краны К , [c.52]

Ионизационные манометры с накаленным катодом. Работа этих манометров основана на ионизации молекул остаточных газов электронами, летящими от накаленного катода, а мерой давления служит ионный ток, измеряемый при постоянстве тока эмиссии катода. Выпускаемый отечественной промышленностью прибор ВИТ-1 использует ионизационный манометр ЛМ-2 с цилиндрической конструкцией электродов, который может измерять давление в диапазоне 1-10 —5 10 мм рт. ст. Конструкция манометрической лампы ЛМ-2, являющаяся разновидностью электронной лампы, показана на рис. 2-32. Накаленный катод 4 испускает электроны, которые ускоряются по направлению к положительно заряженной сетке 3, играющей в данном случае роль анода. Электроны пролетают между редкими витками сетки, но отталкиваются отрицательно заряженным коллектором 2. Совершая колебательное движение около витков сетки, электроны сталкиваются с атомами и молекулами остаточных газов, производят их ионизацию и в конце концов уходят на сетку. Положительные ионы притягиваются отрицательно заряженным коллектором и отдают ему свой заряд. Число образовавшихся ионов пропорционально плотности газа. Поэтому ток в цепи коллектора пропорционален давлению в системе, к которой присоединен баллон манометрической лампы. [c.138]

Обращенная конструкция ионизационного манометра очень чувствительна к вибрациям. Во избежание провисания коллектора, выполненного из проволоки толщиной несколько десятков микрон, манометрическая лампа должна обязательно работать только в вертикальном положении. Сборка нитевидного коллектора и ускоряющей сетки вызывает ряд трудностей, вместе с тем увеличение жесткости сетки за счет введения продольных траверс нежелательно, так как [c.141]

Данные для провода на воздухе можно считать допустимыми и для случая меди, впаянной в стекло. Значения токов для провода в кабеле приблизительно соответствуют вакуумным условиям и именно их используют для оценок при производстве аппаратуры. Аналогичные данные для других металлов могут быть найдены в работе [248]. Многоштырьковые вводы широко используются для подсоединения термопар, измерительных приборов, ионизационных манометрических ламп и вводов нагревателей подложек. Некоторые типы таких вводов представлены на рис. 78. Ва- [c.280]

Следует иметь в виду, что при откачке установки масляными насосами ионизационные датчики загрязняются парами масла. Как было указано ранее (ом. 22), это приводит к значительным погрешностям в измерении давления. Поэтому после измерения давления манометрический датчик вновь следует поставить в режим прогрева— обезгаживания. Периодически включая вакуумметр в режим измерения, по изменению показаний прибора определяют степень чистоты манометрической лампы. Обезгаживание следует считать законченным при получении устойчиво повторяющихся показаний. [c.224]

Принцип работы. Чтобы хорошо представить себе принцип действия ионизационного манометра, необходимо разобраться в явлениях, происходящих в манометрической лампе, откачанной до высокого вакуума. [c.235]

Ионизационные манометры практически имеют вид небольшого ящика, включающего в себя измерительную часть, и отдельной манометрической лампы-датчика, присоединяемой к измерительной части при помощи специального экранированного кабеля. [c.237]

Другим существенным недостатком манометра является наличие в нем накаленного катода, высокая температура которого может также служить источником искажений при соприкосновении с накаленным катодом такие газы, как водород, диссоциируют на атомы пары многих веществ, в частности углеводородов, также под воздействием высокой темнературы разлагаются на более легкие молекулы. Наконец, третьим недостатком ионизационного манометра является порча включенной манометрической лампы при внезапном повышении давления в установке. Повышение давления выше I 10 мм рт. ст. может привести к возникновению разряда между катодом и анодом лампы, ведущего к расплавлению катода если в работающую манометрическую лампу попадает воздух, то вследствие взаимодей- ствия с кислородом катод или перегорает окончательно, или, если произошло лишь небольшое окисление, выбывает из строя на некоторое время, необходимое для восстановления его поверхности (путем прокаливания при повышенной температуре до восстановления первоначальной эмиссионной способности). [c.240]

Х10 мм рт. ст. Как уже указывалось выше, это — нижний предел давления, измеряемого обычными ионизационными манометрами (с манометрическими лампами конструкции ЛМ-2 . [c.241]

Две одинаковые манометрические лампы включены в два плеча моста, но одна из них присоединена к вакуумной системе через охлаждаемую ловушку. Если смачивать систему с наружной стороны спиртом, ацетоном, бензином, водой, то в систему, а следовательно, в баллон лампы, не имеющей ловушки, попадут пары этих веществ, проходящие через неплотности в вакуумной системе, и равновесие моста нарушится. Дифференциальным манометром сопротивления можно обнаружить натекание до ЫО" л-мкм рт. ст./с. По этому принципу работает портативный течеискатель ТП-49. При давлении ниже 5-10 мм рт. ст. можно использовать ионизационный манометр, который позволяет обнаружить течи размером до 1-10 л-мкм рт. ст./с. [c.562]

Имея в виду определенное напряжение (2 000 в), прикладываемое к выводам измерительной части, манометрическую лампу определенной конструкции и определенный газ, все разнообразие факторов, влияющих на разрядный ток через манометрическую лампу, мы сводим лишь к одному — к давлению газов По аналогии с ионизационным манометром можно сказать, что разрядный ток находится в прямой зависимости от давления газа чем выше давление, тем больше в газоразрядном промежутке появляется ионов и свободных электронов вследствие ионизации газа, т. е. тем больше разрядный ток. [c.243]

В качестве пробного газа или пара применяются такие газообразные вещества, которые при проникновении через негерметичное место в манометрическую лампу изменяют ионный ток. Ионный ток будет возрастать, если в качестве пробного газа (пара) применить водород или пары ацетона, эфира и т. п., так как последние, попадая в манометрическую лампу, разлагаются при соприкосновении с накаленным катодом, отчего увеличивается количество молекул и, следовательно, ионов. Если же в качестве пробного газа взят гелий, то ввиду более высокого ионизационного потенциала его по сравнению с воздухом количество ионов, образующихся в манометрической лампе, уменьшится и прибор покажет меньший ионный ток. [c.261]

В масс-спектрометре МХ-1303 ввод образца в ионный источник обеспечивается системой, схема которой вместе с усовершенствованиями, внесенными в систему авторами, изображена на рис. 12. Эти изменения позволили вводить в баллон напуска вещества, выкипающие до 200° С, минуя шлюз. Система напуска, выполненная в виде отдельной стойки, имеет самостоятельную вакуумную систему, предназначенную для откачки баллона напуска и вакуумных коммуникаций перед анализом и для ввода анализируемой пробы в баллон напуска. Предварительное разрежение создается форвакуум-ным насосом типа ВН-461 производительностью 50 л1мин. Для создания высокого вакуума служит ртутный диффузионный насос типа ДРН-10. Давление в системе измеряется при помощи блока, датчики которого — термопарные манометрические лампы типа ЛТ-4М — установлены на форвакуумном насосе и баллоне. На высоковакуумной ловушке установлены датчики ионизационного манометра (лампы ЛМ-2), [c.40]

Ионизационные манометры, к которым относятся электронные ионизационные манометры, магнитные электроразрядные манометры и радиоизотопные манометры, используются для измерения малых давлений в области высокого и сверхвысокого вакуума. Действие этих приборов основано на использовании ионизации газа. Электронный ионизационный манометр состоит из манометрического преобразователя (лампы типов ЛМ-2, ИМ-4, ИМ-7Л, ИМ-9, ИМ-11 и ИМ-12) и измерительного блока, обеспечивающего питание преобразователя и измерение необходимых параметров. Манометрический преобразователь в простейшем виде представляет собой трехэлектродную конструкцию, в которой анод, выполненный в виде редкой цилиндрической сетки и имеющий высокий потенциал (100—200 В), создает сильное ускоряющее поле для электронов, эмиттированных нагретым катодом. Электроны ионизируют молекулы разреженного газа, образующиеся иоиы собираются коллектором, расположенным за анодом и имеющим отрицательный потенциал (20—100 В). [c.175]

Пригодны также и пробные жидкости, такие как ацетон. Однако последние нужно использовать с осторожностью, поскольку из-за их воздействия на прокладки из эластомеров могут появиться дополнительные течи. Жидкости могут также временно закупорить течь из-за разбухания прокладки. Впитанный в прокладку такой растворитель может привести к появлению виртуальной течи. Чувствительность метода при использовании тепловых манометров составляет приблизительно 10 3 мм рт. ст. л с . При давлениях ниже 0 мм рг. ст. применение его из-за уменьшения чувствительности манометров становится бесполезным. Область применения метода пробных газов (жидкостей) может быть расширена на порядок при использовании в качестве чувствительного датчика изменения давления ионизационной манометрической лампы. Пары пробного вещества, попадая через гечь в систему, меняют степень ионизации в лампе и таким образом индицируют дефектный участок поверхности стенки. Чувствительность этого метода увеличивается при понижении давления и при вакууме 10 мм рт. ст. может достигать 10-1 мм рт. ст. л С 1. [c.313]

Специфика измерений высоковакуумными манометрами. Обычно измерения глубины вакуума в области низких давлений проводятся с целью определения плотности потока молекул, падающих на определенную поверхность внутри вакуумной системы. Интересующий нас объект может быть тонкой пленкой, подложкой или каким-либо прибором. Обычно предполагается, что измеряемое манометром давление газа соответствует условиям, одинаковым для всех точек данной вакуумной камеры. Это предположение, однако, является всего лишь аппроксимацией, поскольку в области очень низких давлений поведение газа определяется в основном взаимодействием молекул газа со стенками камеры, а не между собой. Следовательно, распределения самих частиц и их скоростей не являются однородными и отличаются от максвелловских. Для ионизационных манометров характерен еще ряд ограничений в измерении давления газа и большая часть источников ограничений не может быть устранена. Для уменьшения величины этих эффектов и оценки точности измерения в области малых давлений необходимо разобраться в механизмах, ответственных за эти эффекты. Проблема неоднородности распределения газа в вакуумных системах рассматривалась Муром [357]. Он перечислил причины, которые могут приводить к изменению плотности газа. Причиной могут быть насосы, действующие как ловушки и как источники направленного распространения газовых частиц. Эффект может быть связан с неупругим отражением падающих на стенку молекул, с поверхностной миграцией адсорбированных газов, вариацией скоростей адсорбции и десорбции на определенных участках внутренних стенок. Изменение плотности газа может быть вызвано разницей в температурах элементов системы. Хотя попытки описать аналитически реальное распределение газа и были сделаны, однако они были выполнены для систем с простейшей геометрией. Экспериментальные исследования в этом направлении были проведены Холлэндом, который рассматривал общее давление газа как сумму максвелловской и направленной составляющих [358]. Он закрепил ионизационную манометрическую лампу так, что ее впускная трубка могла поворачиваться, и наблюдал значительную разницу в давлении при различных ориентациях, измерительной лампы. Поскольку все источники неравномерного распределения давления газа устранить невозможно, при установке ионизационной лампы в вакуумную систему необходимо принимать во внимание хотя бы наиболее важные из них. Если манометрический датчик обращен в сторону насоса, криогенной панели или активно обезгаживаемой поверхности, такой, например, как нагреваемый элемент, то он, по-видимому, будет показывать давление, соответствующее либо более низкой, либо более высокой плотности частиц по сравнению с атмосферой, окружающей подложку. Для получения более близкого к реальному значения давления необходимо соединительную трубку манометрического датчика направить в обратную сторону или вбок таким образом, чтобы эффекты направленности потоков были близки к тем, которые имеют место у подложки. Опасность неправильного показания давления больше в системах с мощными насосами из-за высоких скоростей десорбции. В этих условиях можно ожидать преобладания направленной составляющей давления, которое вряд ли будет правильно измерено с помощью манометра. [c.330]

В связи с этим об явлении поглощения газов ионизационным манометром необходимо поговорить более подробно. Поглощение газов внутри манометрической лампы при работе ионизационного манометра происходит в основном двумя путями. Во-первых, положительные ионы, цолучаю-щиеся в результате ионизации остаточного газа, устремляются к коллектору ионов и стенкам, где они нейтрализуются и адсорбируются во-вторых, ряд газов (Ог, С1 и др.) поглощается химическим путем, взаимодействуя с накаленным катодом. [c.244]

Отметим далее, что получение сверхвысокого вакуума за счет одного только откачивающего действия ионизационного манометра (без применения ловушек или поглотителей) возможно лишь в вакуумных системах, изолированных от ИСТОЧ1НИКОВ каких-либо паров, в том числе от диффузионных насосов. В связи с этим для разобщения вакуумной системы от насоса необходимо пользоваться вентилем, не требующим смазки и в то же время достаточно герметичным (см. 8-2). Наконец, для получения сверхвысокого вакуума при помощи ионизированного манометра необходимо предварительно устранить малейшие течи в вакуумной системе, а вакуумную систему и манометрическую лампу тщательно обезгазить. Откачанная насосами до возможно более низкого давления и обезгаженная вакуумная система изолируется от насосов (вентилем) если течи нет, то откачка продолжается при помощи ионизационного манометра. [c.245]

Если вакуумную систему с испытываемым на натекание прибором откачать до достаточно низкого давления, так чтобы можно было включить подолреватель, то в маномет-ричеокой лампе будет наблюдаться определенное установившееся давление если теперь испытываемый прибор обдувать струей водорода, то в момент, когда обдуватель окажется над течью, водород проникнет в вакуумную систему, и далее через нагретую стенку металлической трубки в манометрическую лампу повышение давления, отмечаемое при этом ионизационным манометром, и является сигналом о наличии течи именно в том месте, которое обдувалось в момент повышения давления в лампе. [c.268]

Магнитный (электроразрядный) вакуумметр, как и описанные ранее термопарный и ионизационный, состоит из манометрической лампы и вторичного прибора. В СССР выпускается магнитный вакуумметр типа ВМБС-1, работающий с датчиком ММ-8. Пределы его измерения 1,0—1-10 мм рт. ст. Вакуумметр комплектуется записывающим прибором и имеет блок-контакты, которые могут использоваться для сигнализации или регулирования. [c.47]

В практике советских лабораторий используют манометрические лампы следующих типов термопарные ЛТ-2 и ЛТ-4М и ионизационную ЛМ-2. Давление контролируют по ионизационно-термопарному манометру ВНТЛА. — Прим. ред. [c.61]

Справочник химика 21

Химия и химическая технология