Газовыделения вакуумных материалов скорость

Кажущиеся течи опреде.пяются как фиктивный источник повышен.ия давления в вакуумной системе, вызываемого в действительности медленным выделением сорбированных тазов. В настоящее время считается, что нижний предел газовыделения с 1 см лучшего материала после длительной откачки составляет не менее I 10 л мм рт. ст. сек. При расчете вакуумных систем обычно принимают следующие величины скорости газовыделения с поверхности различных материалов в л-мм рт. ст. сек см для керамики — 10 , для эластомеров — 10 . [c.10]

Поливинилхлорид используется в вакуумной технике (табл. 2-14) в качестве материала для прозрачных труб форвакуумных линий высоковакуумных и низковакуумных систем (рис. 1-1) или в низковакуумных системах, где допустима высокая скорость газовыделения (табл. 2-7). [c.41]

Специфической особенностью работы вакуумных напылительных установок является резкое увеличение газовыделения каждый раз, как только начинается интенсивный прогрев очередного распыляемого материала. Это газовыделение должно быть скомпенсировано за счет большой скорости откачки используемого насоса. Кроме того, при циклической работе напылительной установки неизбежно периодическое сообщение ее рабочего объема с воздухом, имеющим высокую относительную влажность, вследствие чего стенки рабочей камеры и поверхности находящихся в ней механизмов могут сорбировать влагу. Эти обстоятельства заставляют предъявлять определенные требования к откачным средствам в части минимальной длительности пускового периода, большой скорости откачки и ее постоянства в широком диапазоне давлений, а также незначительного количества загрязнений, вносимых из насоса в откачиваемый объем. [c.126]

Скорость газовыделения у полиэтилена почти такая же, как и у фтороуглеродов, но область его рабочих температур более узка. Этот материал может работать при максимальной температуре 80— 100 °С. При помещении полиэтилена в вакуумную камеру, откачиваемую диффузионным насосом с охлал<-даемой твердой углекислотой ло-вущкой, давление в камере повышается лишь на 20%. В чистых полиэтиленовых контейнерах давление 10 мм рт. ст. может держаться целые сутки. Для улучшения очистки от окклюдированных газов можно использовать низковольтную высокочастотную разрядную катушку (трансформатор Тесла ). Недопустим контакт полиэтиленов с открытым пламенем, так как температура их плавления составляет лишь 110°С. [c.40]

В случае длительной эксплуатации полиимиды сохраняют механические и электрические свойства только до 250° [30, 31]. В работе [32] сообщается о полиимиде, длительно теплостойком до 370 и кратковременно — до 480°. Этот клей отличается повышенной устойчивостью к термостарению и окислению. Полиимиды обладают для вакуумной техники очень ценным качеством уровень газовыделения их мал. Так, для полиимида Мопзап1о Зку-gard 700 скорость газовыделения при 155° (после 6-часовой откачки) оказалась менее 5-10 л-мм рт. ст./сек.-см [33]. Теплостойкость этого материала 300°. [c.16]

Эластомеры. Скорости выделения газов эластомерами и другими органическими материалами были измерены рядом исследователей. В табл. 8 приведены некоторые данные для наиболее интересных с точки зрения вакуумной технологии материалов этого типа. Дополнительная информация о кривых обезгаживания для эластомеров и эпоксидных смол может быть получена в работах [234] и [235]. После прогрева скорость газовыделения эластомеров имеет значения 10" —10 мм рт. ст.<л-с > см- . Газовыделение тефлона значительно ниже, но, к сожалению, этот полимер не склеивается и течет под давлением, см. разд. 4 Б, 2) и табл. 17. Важное значение при выборе из имеющихся в наличии эластомеров материала для прокладок имеет их термическая стабильность. В идеальном случае эластомер должен выдерживать без разложения нагрев до 400° С, т. е. до температур, требуемых для обезгаживания стекла и металлов. Такого материала не существует. Витон А, сополимер гексафторпропилена и фтористого вини-лидена обладает наиболее приемлемыми компромиссными свойствами. Его можно прогревать до 200° С, т. е. до значительно более высокой температуры, чем выдерживают большинство других синтетических каучу-ков. Как следует из табл. 8, слабый прогрев при температурах 100 — 200° С уменьшает газовыделение эластомеров на один — два порядка. Основным компонентом выделяемых газов являются пары воды в количествах, эквивалентных 100 и более монослоев. Вода сорбируется в тело эластомера и выделяется посредством диффузии. В случае использования ви-тона этот процесс при экспозиции его на воздухе с нормальной влаж- [c.237]

Справочник химика 21

Химия и химическая технология