Магнетронные манометры

Рис. 5. 8. Инверсный магнетронный манометр ММ-14

Рис. 5. И. Магнетронный манометр со вспомогательным термокатодом

Отечественная промышленность выпускает инверсно-магнетрон-ный манометр ММ-14С, предназначенный для измерения давления в диапазоне 10- —мм рт. ст. Отдельные экземпляры манометров имеют значения токовой чувствительности от 0,2 до 0,45 а/мм рт. ст. Показатель степени (п) остается в пределах точности измерений постоянным и приблизительно равен 1, т. е. имеет место линейная зависимость разрядного тока от давления. Чувствительность инверсно-магнетронного манометра по различным газам близка к чувствительности ионизационного манометра, и те незначительные отличия, которые при этом имеют место, вполне укладываются в пределы ошибок, допускаемых при измерении давлений манометрами обоих типов. [c.146]

Сергеев А. Ф., Инверсно-магнетронный манометр, Передовой научно-технический и производственный опыт , вып. 2, 1963. [c.307]

В 1961 г. Лафферти [46 и 47] разработал конструкцию магнетронного манометра с горячим катодом, работающего при очень малых токах эмиссии. На рис. 4. 6 показана конструкция преобразователя такого манометра. Вольфрамовый катод диаметром 0,2 мм и длиной 19 мм расположен в центре цилиндрического анода диаметром 24 мм и длиной 29 мм. Коллектор ионов расположен в верхней части манометра. Вся система электродов находится в осевом магнитном поле напряженностью около 300 э. Экран служит отражателем электронов. Напряженность магнитного поля Н превышает критическую величину, равную в данном случае 100 э. [c.89]

Рис. 5. 7. Магнетронный манометр с экранировкой катода

ИНВЕРСНЫЙ МАГНЕТРОННЫЙ МАНОМЕТР [c.130]

Рис. 5. 9. Траектории электронов в инверсном магнетронном манометре

Рис. 5. 10. Распределение потенциалов в инверсном магнетронном манометре

Был разработан магнетронный манометр прямого типа с центральным холодным катодом. Он имеет область линейности 10-5—10 " тор и постоянную преобразователя 10 мка/тор. Достоинства такого манометра — сравнительно малые габариты и вес магнитной системы, [c.116]

Инверсно-магнетронный манометр ММ-14 Магнетронный манометр с горячим катодом Электронный СВ В манометр ИМ-12 4.10 > 8-101 1,5-101 2-10-12 2,5-10-1 2-10-1 [c.117]

Рис. 50. Сравнительные характеристики магнетронного манометра с горячим катодом (кривая 1) и манометрами ИМ-12 (кривая 2) и ММ-14С (кривая 5).

Каков принцип действия инверсно-магнетронного манометра [c.237]

Н и ч и п о р о в и ч Г. А. Сравнительная калибровка ионизационного магнетронного манометра и магнитного электроразрядного манометра в условиях сверхвысокого вакуума. Приборы и техника эксперимента , № 6, 150 (1966). [c.270]

Для измерения сверхвысокого вакуума (давлений ниже 10" мм рт. ст.) применяют манометры, конструкция которых пр,еду-сматривает псдавление фоновых токов, ограничивающих чувствительность при весьма низких давлениях (например, инверсо-магнетронные манометры типа Редхеда). [c.530]

Имеется два основных типа манометров, в принципе пригодных для применения их в качестве детекторов во флеш-десорбционной спектроскопии, а именно магпетронный манометр и несколько видоизмененный манометр Байярда — Альперта. Магнетронный манометр, разработанный Редхедом [43], представляет собой ионизационный манометр с холодным катодом, магнитным полем и радиальным электрическим полем он пригоден для измерения давлений в диапазоне 10 — 10 мм рт. ст. Показано [43, 66], что [c.232]

Перечисленные характеристики делают магнетронный манометр, по-видимому, идеально подходящим для исследования взаимодействия реакционноснособных газов, таких, как этилен, ацетилен, аммиак и водород, с поверхностями металлов методом мгновенного накаливания нити. Однако имеются и существенные ограничения. Редхед [46] считает, что манометры с холодным катодолг непригодны для точных измерений давления в связи с тем, что пока не разработано доступного способа, позволяющего уменьшить их высокую скорость откачки. Авторы наблюдали различные скорости откачки, зависящие от состояния загрязнений манометра. Кроме того, авторы наблюдали, что ионный ток в манометре почти при всех условиях изменяется как по частоте, так и по амплитуде. В нашем опыте нестабильность в работе манометра и неустойчивое поведение ионного тока делают этот тип манометров малопригодным для измерений методом мгновенного накаливания нити. [c.233]

В пространстве дрейфа от катода 3 до анода 2 электроны, закручиваемые магнитным полем, проходят путь, значительно превышающий размеры прибора. В связи с тем, что пучок электронов не возвращается в пространство дрейфа, нет опасности возникновения в этом преобразователе магнетронных колебаний и можно работать при больших токах эмиссии, чем в обычных магнетронных манометрах. Чувствительность такого прибора при Па = 600 б, = —180 б, Я = 280 э, /, = 5 жа и Р = = 10 мм рт. ст. составляла 4000 1ммрт.ст.,т. е, ионный ток в этом случае равен 0,02 мка. [c.112]

На рис. 5. 7 показан магнетронный манометрический преобразователь [75 ] со вспомогательными катодами 3, предназначенными для экранировки основного катода 2 от большей части тока авто-электронной эмиссии, возникающего в области наибольших значений напряженности электрического поля между анодом 1 и катодом 2. Большая часть тока автоэлектронной эмиссии в этом случае не проходит через измерительный прибор. При размерах электродов = 1,45 мм, / = 20 мм, = 15 мм, = 14 мм, напряжении на аноде 6 кв и магнитной индукции 1000 гс постоянная такого манометрического преобразователя была в 45 раз выше, чем постоянная преобразователя Баярда —Альперта и составляла 9 а мм рт. ст. Такой магнетронный манометр в диапазоне давлений 10 4-5-10" мм рт. ст. имеет линейную градуировочную характеристику. При давлении ниже 5-10" мм рт. ст. [c.129]

Редхедом и Хобсоном разработана упрощенная теория манометра [76] и проведено экспериментальное сличение [77] инверсного магнетронного манометра с термоэлектронным манометром Баярда — Альперта. Было установлено, что отношение между [c.130]

Нижний предел измерения магнитных манометров ограничивается нестабильностями газового разряда при низких давлениях. Отмечено [78 ], что разброс экспериментальных точек при давлении 10 мм рт. ст. для магнетронного манометра в 2—3 раза больше, чем для манометра Баярда—Альперта. Флуктуации разрядного тока в манометре достигают 20—30% и объясняются нестабильностью эмиссионных центров холодного катода и возможными скачками разрядного тока из-за наличия искажений распределения потенциала между катодом и анодом (рис. 5. 2). Для улучшения [c.131]

Еще одно потенциальное ограничение рабочего диапазона для магнетронного манометра Рэдхеда удается преодолеть с помощью дополнительных катодов, экранирующих диски основных катодов от воздействия сильных электрических полей на их периферии. В результате автоэмиссионный ток не дает вклада в ток коллектора ионов, а просто уходит на заземленные вспомогательные катоды. Было показано, что такой манометрический датчик может быть использован в интервале давлений 10 з — 10 мм рт. ст. В этой области наблюдается слабая нелинейность характеристик типа [c.329]

Н и ч и л о р о в и ч Г. А., Ханина И. Ф. Магнетронный манометр с холодным катодом. Приборы и техника эксперимента , [c.270]

Н и ч и п о р о в и ч Г. А., Ханина И. Ф. Магнетронный манометр с холодным катодом для работы в изменяющемся по направлению магнитном поле. Приборы и техника эксперимента , № 1, 133 (1969). [c.271]

В е к щ и н с к и й С. А., Н и ч и и о р о в и ч Г. А. Сверхвысоковакуумный ионизационный магнетронный манометр с контролируемым режимом работы. Приборы н техника эксиеримента , № 4, 144 (1969). [c.271]

Справочник химика 21

Химия и химическая технология