Лазерные сканирующие микроскопы (ЛСМ)

ЛАЗЕРНЫЕ СКАНИРУЮЩИЕ МИКРОСКОПЫ (ЛСМ) [c.518]

Минимально обнаруживаемый дефект достигает порядка 0,1 мм в диаметре. Применение металлического вращающегося зеркала увеличивает скорость сканирования в 4 раза по сравнению со стеклянным зеркалом. Возможно контролирование поверхности материала, двигающегося со скоростью свыше 15 м/с. Сканирующие лазерные системы бегущего луча могут также использоваться для получения изображения объектов контроля. Схема лазерного сканирующего инфракрасного микроскопа для контроля внутренних дефектов полупроводниковых материалов с механическим сканированием объекта контроля и неподвижным лучом лазера отличается низким быстродействием, но имеет высокую разрешающую способность. Схема с системой сканирующих зеркал отличается большим быстродействием (до 50 кад/с при 200., . 400 строках разложения телевизионного изображения), однако наличие полевых аберраций оптической системы приводит в этом случае к снижению пространственного разрешения. [c.509]

К настоящему времени созданы другие типы сканирующих микроскопов магнитно- и лазерно-силовой микроскопы, оптический микро- [c.303]

Для обеспечения успеха предстоящих поисковых работ необходимо еще выше поднять научно-технический уровень структурно-химического микроанализа. Помимо пшроко применяемого в лабораторной практике метода локального рентгеноспектрального анализа, должны найти дальнейшее развитие методы ионной масс-спектральной микроскопии, ОЖЕ-спектро-скопии и лазерной спектрографии. Новые возможности изучения поверхностных дефектов открываются при использовании сканирующего (растрового) электронного микроскопа. [c.266]

В последнее время предложена схема лазерного сканирующего микроскопа - зонда, в котором регистрируется не прошедшее через объект или отраженное от него излучение лазера, а возбужденный им в полупроводнике фотоэлектрический эффект (фотоответ). На экране кинескопа в этом случае наблюдают изображения, яркость отдельных точек которого пропорциональна величине фотоответов полупроводника на световое воздействие в соответствующих зонах. Метод перспективен для контроля интефальных схем. [c.509]

Непосредственное измерение фракционного состава порошка осуществляется при помощи разного рода микроскопов — обычных оптических, электронных, сканирующих, наприм1ер французской фирмы М11Ироге . Использование этих методов осложняется трудностыа изготовления микрошлифа, в плоскости которого частицы не должны перекрывать друг друга, однако применение телевизионной установки вместе с компьютером обеспечивает возможность их использования в будущем. Следует отметить появление оборудования, в котором используется принцип дифракции света, как, например, лазерный гранулометр. Микроскопия позволяет измерять частицы размером от 0,001 до 500 мкм. [c.34]

Оба способа ультразвуковой микроскопии, доведенные до стадии практической применимости (SAM и SLAM, раздел 13.13), были разработаны в начале 1970-х гг. Квейте с соавторами ( сканирующий акустический микроскоп ) и Корнелем и Кесслером с соавторами ( сканирующий лазерный акустический микроскоп ) [836, 916]. [c.196]

В принципе каждый из вышеописанных способов формирования изображения может быть применен и для ультразвуковой микроскопии при выборе достаточно высокой частоты контроля. Однако до стадии практической применимости доведены только два способа, сокращенно именуемые SLAM, (сканируютий лазерный акустический микроскоп) и SAM (сканирующий акусти- [c.312]

Необходимо отметить, что нанометровые объекты хорошо известны с прошлого и позапрошлого века, как, например, коллоиды или гетерогенные катализаторы, включающие наночастицы на поверхности носителей. Однако в последнее десятилетие двадцатого века произошло выделение таких понятий, как нанокластер, наноструктура, и связанных с ними явлений в отдельную область физико-химии. Это произошло главным образом в результате значительного прогресса в получении и исследовании нанообъектов, возникновении новых наноматериалов, нанотехнологий и наноустройств. Синтезированы новые гигантские нанокластеры ряда металлов, фуллерены и углеродные нанотрубки, многие наноструктуры на их основе и на основе супрамолекулярных гибридных органических и неорганических полимеров и т.д. Достигнут замечательный прогресс в методах наблюдения и изучения свойств нанокластеров и наноструктур, связанный с развитием туннельной и сканирующей микроскопии, рентгеновских и оптических методов с использованием синхротронного излучения, оптической лазерной спектроскопии, радиочастотной спектроскопии, мессбауэровской спектроскопии и т. д. [c.9]

Нанопроволоки растут перпендикулярно подложке в местах катализируемых нанокластерами золота. Диаметр проволок изменяется от 20 до 150 нм (95 % размеров находится в промежутке от 70 до 100 нм) и связан с дисперсностью нанокластеров золота. Длина нанопроволок может меняться от 2 до 10 мкм с помощью увеличения времени роста. Это позволяет изменять частотный спектр испускаемого лазером излучения. Вертикальный рост проволок ZnO обеспечивается эпитаксиальным взаимодействием между плоскостью (0001) гексагональных по форме проволок ZnO и плоскостью (ПО) подложки. Данные сканирующего микроскопа свидетельствуют о том, что концы проволок имеют форму правильного щестиугольника, что подтверждает рост таких проволок по направлению (0001). Правильная форма поверхностей таких проволок необходима для создания концентрированного лазерного излучения. [c.506]

Дефлекторы излучения. В ОПК сканирующего типа (лазерные микроскопы и т.п.) для перемещения луча в тфостранстве с высоким быстродействием (до 10 Гц) применяются дефлекторы, или сканаторы. На смену традиционным оптико-механическим системам (вращающиеся или вибрирующие зеркала, призмы и т.п.) приходят электронно-оптические и голофафические дефлекторы. Разработана гамма подобных устройств на различных физических принципах - акусто-оптические (основаны [c.490]

С помощью ЛСМ можно формировать изображения с более высокими разрешениями и большей глубиной резкости, чем в традиционной микроскопии, в частности, с использованием различных специфических методов типа динамической фокусировки. Кроме того, методы лазерного сканирования позволяют регистрировать свет, диффузно рассеиваемый малыми деталями поверхности, размеры которых гораздо меньше поперечного сечения падающего сканирующего лазерного пучка (например, с помощью сканирующего пучка лазерного излучения, сфокусированного в пятно размером 50. .. 100 мкм, можно обнаружить микрометровые дефекты на поверхности контролируемых изделий). [c.518]

Наиболее важной характеристикой аналитического метода, используемого при изучении поверхности, является эффективная глубина действия, поскольку метод измерения должен соответствовать изучаемому явлению. Например, связывание с поверхностью, смачивание и катализ затрагивают лишь несколько слоев атомов, а при обработке поверхности закалкой вовлекаются от 10 до 1000 таких слоев. Вот типичные эффективные глубины действия для наиболее важных аналитических методов исследования поверхности рассеяние ионов низкой энергии — один-два слоя атомов, масс-спектрометрия вторичных ионов — зА, оже-спектроскопия — 20А, ионное травление в сочетании с SIMS — lOOA. Лазерная масс-спектрометрия, рамановский микроанализатор и сканирующий электронный микроскоп могут использоваться на глубинах от 1000 до 10 ООО А (т.е. вплоть до 1 микрона). Чем меньше эффективная глубина действия метода, тем [c.239]

Справочник химика 21

Химия и химическая технология