Спектральное определение трихлорсилане

Связывание бора в нелетучий комплекс маннитом предложено Шафраном [1], разработавшим спектрофотометрический метод определения бора в остатке после разложения двуокиси кремния фтористоводородной кислотой. Кроме маннита для связывания бора можно вводить в растворы, подлежащие упариванию, фруктозу или другие многоатомные спирты. Метод концентрирования бора, предложенный Шафраном, использован Василевской с сотрудниками [2] при разработке химико-спектрального определения бора в кремнии, двуокиси кремния, тетрахлориде кремния и трихлорсилане. При этом 52 [c.72]

Химико-спектральное определение примесей галлия, никеля, олова, свинца и цинка в трихлорсилане основано на спектральном анализе концентратов этих примесей в газоразрядной трубке с полым катОдом, работающей в атмосфере чистого гелия [1]. [c.32]

Химико-спектральное определение бора в кремнии, двуокиси кремния, кварце, тетрахлориде кремния и трихлорсилане. ......... 86 [c.522]

Химико-спектральное определение серебра, алюминия, магния, индия, молибдена, циркония, железа, титана, меди, марганца, никеля, свинца, хрома, олова, висмута, галлия, кальция, цинка и сурьмы в трихлорсилане без применения гидролиза........... ..... 88 [c.522]

Для определения ЗЬ в кремнии, кварце, карбиде кремния, стеклах, тетрахлориде кремния и трихлорсилане наиболее часто применяют методы спектрального анализа (табл. И). Для определения ЗЬ в кремнии и его соединениях высокой чистоты пшроко используются также активационные методы. Особенно удобны те из них, которые позволяют определять ЗЬ без ее выделения [212, 468, 762, 932, 950, 989, 1144, 1361, 1366, 1540). Ме- [c.133]

Описан химико-спектральный метод одновременного определения двадцати двух примесей в кремнии, двуокиси кремния, тетрахлориде кремния, трихлорсилане с интервалом концентраций 10- — [c.12]

В лаборатории физико-химических методов анализа разработаны высокочувствительные химико-спектральные методы определения примесей в различных кислотах, двуокиси кремния, трихлорсилане, тетрахлориде германия и других веществах. [c.28]

Спектральный метод. Метод основан на определении интенсивности спектральных линий примесных элементов в парах. Он широко распространен в исследовательской и производственной практике благодаря высокой чувствительности и сравнительной легкости выполнения. Другим его достоинством является то, что возможно одновременное определение многих элементов в одной пробе и отсутствие, поправки на холостой опыт. Спектральным методом определяют около 20 примесей в теллуре высокой чистоты и 20-22 элемента в трихлорсилане, тетрахлориде и двуокиси кремния. Средняя же чувствительность обычного спектрального анализа оценивается 10 — —10" %. Таким образом, требования к чистоте полупроводниковых материалов выходят за пределы возможности обычных методов спектрального анализа. Все же при концентрациях, доступных спектральному методу, заменять его другими, более трудоемкими, методами анализа нецелесообразно. [c.87]

К ВОПРОСУ о ХИМИКО-СПЕКТРАЛЬНОМ ОПРЕДЕЛЕНИИ МИКРОПРИМЕСЕЙ В БОРЕ, ДВУОКИСИ КРЕМНИЯ И ТРИХЛОРСИЛАНЕ [c.121]

Для определения следов элементов в различных препаратах в качестве экстрагента часто применяют четыреххлористый углерод, используемый также при химико-спектральном определении микропримесей в трихлорсилане. Требования к чистоте обоих продуктов по минеральным примесям весьма высоки. Выпускаемый в настоящее время четыреххлористый углерод на заводах химических реактивов нельзя использовать для указанных целей из-за большого содержания в нем различных элементов-примесей. [c.223]

Химико-спектральное определение примесей серебра, меди, марганца, алюминия, титана, железа, магния, молибдена, индия, циркония, никеля, свинца, хрома, олова, висмута, галлия, кальция, цинка, сурьмы в трихлорсилане выполняется без проведения гидролиза трихлорсилана. Способ основан на непосредственном выпаривании трихлорсилана с угольным порошком, причем трихлорсилан предварительно смешивают с безводным очищенным четыреххлористым углеродом, имеющим температуру кипения более высокую, чем трихлорсилан, и хорошо растворяющим последний. Этот метод приводит к уменьшению возможностей внесения примесей в пробу с реактивами (плавиковой кислотой и водой), так как количество плавиковой кислоты резко снижается, а вода со вершенно исключается из схемы анализа. Применение в данном методе значительного количества четыреххлористого углерода высокой чистоты оправдывается более легким его получением по сравнению с плавиковой кислотой той же степени чистоты. [c.27]

Применение безгидролизного химико-спектрального метода анализа трихлорсилана дало возможность за счет снижения величины глухого опыта увеличить чувствительность определения примесей в трихлорсилане до 110 —Ы0" %. Одновременно с усовершенствованием приемов обогащения (Г. А. Певцов, Т. Г. Манова) проведены работы и по повышению чувствительности прямого спектрального анализа. С этой целью исследованы аналитические характеристики разряда в полом катоде. [c.28]

Флуориметрией можно определить в 51С14 1 10 % меди. При этом ошибка в 10 раз меньше, чем при определении меди в тетрахлориде кремния спектральным методом. Флуориметрическим методом можно также определить до 10" —10 % галлия и индия в трихлорсилане и ОеС14. Несмотря на это, флуориметрия для анализа сверхчистых материалов не получила большого распространения главным образом из-за того, что флуоресцентные реакции известны для ограниченного числа элементов. [c.84]

Справочник химика 21

Химия и химическая технология