Ионный микроанализ

Л. а. микровключений и микроучастков осуществляют электронно-зондовыми методами, ионным микроанализом и др. [c.611]

При подготовке монографии были опущены некоторые разделы предыдущего издания. В частности, были исключены главы Механизмы формирования контраста изображения и Ионно-ионный микроанализ по массам . Эти и некоторые другие темы будут освещены во втором томе с предположительным названием Специальные методы растровой электронной микроскопии и рентгеновского микроанализа , предназначенном уже для специалистов, освоивших вводный курс. [c.8]

Пространственное разрешение ограничено рассеянием бомбардирующих ионов по мере их проникновения в образец. Для большинства установок эта величина составляет 0,1—0,2 нм. Предельная локальность для ионного микроанализа может достигать 10 нм. Однако существенным фактором, ограничивающим разрешение, является зависимость чувствительности метода от диаметра зонда. Поскольку анализируемая площадь объекта пропорциональна квадрату диаметра зонда, то для сохранения того же объема распыляемого в ходе анализа вещества при уменьшении диаметра зонда требуется соответствующее увеличение толщины распыляемого слоя вещества. Так, если диаметр зонда уменьшается в 10 раз, то толщина этого слоя должна быть увеличена в 100 раз. [c.581]

Ионный микроанализ — метод локального анализа. Анализируемый объект облучают сфокусированным пучком первичных ионов (диаметр пучка 1 —100 мкм, энергия порядка 10 Дж, плотность тока 0,1 —10 А/м ). Эмиссия вторичных ионов, которую регистрируют масс-спектрометром, зависит при прочих равных условиях от концентрации определяемого элемента. Локальность по поверхности 1—10 мкм, по глубине 1—5 нм. Пределы обнаружения 10 —Ю % [54]. [c.16]

При взаимодействии ионного микрозонда с твердым телом регистрируют катодное распыление и вторичную ионную эмиссию— ионный микроанализ. Бомбардировку поверхности образца производят пучком ионов с энергией - 10 КэВ. Ионное изображение сепарируют при помощи масс-спектрометра и после преобразования наблюдают на экране ионного микроскопа. С помощью ионных микроанализаторов возможно определение всех элементов и их изотопов. Пределы обнаружения отличаются на несколько порядков (могут достигать 10 % при абсолютной чувствительности 10- г). Локальность послойного ионного микроанализа достигает нескольких десятков ангстрем. [c.102]

ИОННЫЙ МИКРОАНАЛИЗ, метод локального анализа. Исследуемый образец бомбардируют сфокусиров. пучком первичных ионов (диаметр пучка 1—100 мкм, энергня 10- — 10 Дж, плотность тока 0,1—10 А/м эмитированные из образца вторичные ионы регистрируют с помощью масс-спектрометра (см. Масс-спектрометрия). Одновременно происходит катодное распыление образца. Прибор для И. м. (ионный микроанализатор) состоит из источника ионов, систем сбора вторичных ионов и фокусировки ионных пучков, масс-анализатора и регистрирующего устройства. [c.225]

ИОННЫЕ РАДИУСЫ, см. Атомные радиусы ИОННЫЙ выход, см. Радиационно-химические реакции. ИОННЫЙ МИКРОАНАЛИЗ, метод локального анализа, основанный на регистрации масс-спектров вторичных ионов с микроучастков пов-сти твердых тел. Исследуемый образец в вакууме бомбардируют сфокусированным п>чком первичных ионов (Аг" , Oj, О , s диаметр пучка 1-100 мкм, энергия 10 — 10 Дж, плотн. тока 0,1-10 А/м ). Первичные ионы при взаимод. с пов-стью упруго и неупруго рассеиваются, перезаряжаются, испытывают многократные соударения с атомами твердого тела. При этом часть атомов вблизи пов-сти получает энергию, достаточную для их эмиссии в вакуум в виде нейтральных частиц (катодное распыление) или в виде вторичных ионов (вторичная ионная эмиссия) [c.260]

Реальную пов-сть анализируют методами оже-спект-роскопии, рентгеноэлектронной спектроскопии, спектроскопии рассеяния медленных ионов (см. Ионного рассеяния спектроскопия), масс-спегфометрии вторичных ионов в статич. режиме (см. Ионный микроанализ). Обычно анализ проводят в высоком вакууме (10 -10 Па) с помощью установок, позволяющих одновременно использовать неск. аналит. методов. В тех же установках проводят разрушающий послойный анализ субмикронных и поверхностных слоев, удаляя слои ионным травлением, лазером, искровым разрядом, хим. или электрохим. растворением. Затем определяют элементы в газовой фазе, р-ре или на протравленной пов-сти. [c.610]

Для H.a. примешпот методы рентгенофлуоресцентного, активационного, рентгенорадиометрич. анализа и др. Когда спец. подготовки образца х анализу не требуется, H.a. можно проводить методами локального анализа (ионный микроанализ, электронно-зондовые методы, методы фотоэлектронной и рентгеноэлектронной спектроскопии, масс-спектрометрия вторичных ионов и др.). [c.220]

ЛОКАЛЬНЫЙ АНАЛИЗ, определение хим. состава, гл. обр. элементного, микрообъемов или тонких слоев тв. тела. Характеризуется размерами области (площади, объема), в к-рой возможно определение элемента с заданной погрешностью. Размер этой области по глубине наз. продольной локальностью (Z-n). вдоль пов-сги — поперечной (Li). К методам Л. а. с низкими значениями как и, так и Li относятся рештеноспектральный микроанализ (см. Электроннозон-до<аые методы), катодолюминесцентный микроанализ (Lj. Lu =0,1—10 мкм), ионный микроанализ [Li = 1— 100 мкм, ill = (1—5)-10 мкм], лазерный микроанализ (Ln Li = 10—100 мкм), Оже-микрозонд (Li = = 5-10 мкм Ln = 1-10 мкм), спектроскопия характеристич. потерь энергии электронов (Li = 10 мкм, [c.305]

Наиболее сложные процессы, связываемые в первую очередь со взаимными влияниями элементов, происходят на поверхности атомизаторов. При этом неизбежно в реакциях участвуют материал атомизатора и компоненты атмосферы. Экспериментальную информацию о превращениях на поверхности атомизатора может дать сочетание qвJ)eмeнныx структурно-чувствительных методов, часть которых уже используется в малом объеме для интерпретации результатов электротермической атомизации проб дифференциально-термический [2, 3] и рентгеноструктурный анализы [2], оптическая и электронная микроскопия [3], ионный микроанализ [4]. [c.74]

Ограниченность применения для этой цели методов электронной микррскопии, электронно-зондового и ионного микроанализа, рентгеноэлектронной спектроскопии связана с использованием высокого вакуума и длительностью эксперимента, что существенно искажает реальную картину процессов. Наиболее информативными в таком случае представляются дифференциально-термический и рентгеноструктурный анализы. [c.75]

Справочник химика 21

Химия и химическая технология