Сорбционно-конденсационные насосы

СОРБЦИОННО-КОНДЕНСАЦИОННЫЕ НАСОСЫ [c.77]

Рис. 28. Сорбционно-конденсационный насос

Сверхвысоковакуумные установки для напыления фирмы Эдвардс (Англия) с диаметром камеры 355 мм дают возможность получать давление 5 10 мм рт. ст. Камеру изготовляют из коррозионностойкой стали, допускающей высокотемпературный прогрев. В рабочей камере предусмотрены специальные отверстия с фланцами для присоединения криогенного насоса, датчика ионизационного манометра, масс-спектрометра и других необходимых устройств. Криогенный (конденсационный) насос (см. рис. 378) опускают в камеру через отверстие, расположенное сверху. Вся система откачивается распылительно-ионным и титановым сублимационным насосами, предварительная откачка производится либо последовательно соединенными сорбционными насосами, либо двухступенчатым вращательным насосом с ловушкой. Мощность печи для прогрева камеры порядка 6,75 кВт. Нормальная температура прогрева 300° С, а при наличии прокладок из золота может достигать 400° С. [c.236]

Насосы, позволяющие достигать столь низких давлений, это в первую очередь диффузионные масляные насосы со специальными ловушками и ртутные диффузионные насосы, затем молекулярные, ионные, сорбционные, геттерные, геттероионные и конденсационные насосы. [c.398]

Конденсационно-сорбционные ловушки. При сверхвысоком вакууме ловушки, охлаждаемые ожиженными газами, пе улавливают все нежелательные примеси, попадающие в объем прн работе масляных насосов. Желательно вообще исключить применение диффузионных паромасляных и фор-вакуумных масляных насосов, чтобы гарантировать отсутствие масляных [c.341]

Принцип действия сорбционно-конденсационного насоса следующий. Объект, к которому подсоединен данный насос, вначале откачивается вспомогательными форвакуумными насосами механическими или адсорбционными. После достижения предварительного разрежения захолаживаются экраны 3 и 11. Холодные поверхности экранов не только защищают конденсатор от теплового излучения, но и служат конденсаторами для паров воды. Затем захолаживается конденсатор, на пластине и внешней по. [c.81]

Использование сорбционной способности слоев сконденсированных твердых газов является весьма заманчивым для снижения предельного давления в системах с криогенными конденсационными насосами. Адсорбент такого типа имеет хорощий тепловой контакт с охлаждающей поверхностью. Количество адсорбента и время его включения в работу (напыления) определяются оператором. Наконец, регенерация адсорбента или его полное удаление из системы часто требуют лишь незначительного повышения температуры криоповерхности по сравнению с рабочей температурой, при которой происходила откачка. [c.78]

По принципу действия промышленные вакуумные насосы подразделяют на следующие фуппы объемные, струйные, молекулярные и тур-бомолегсулярные, ионные, сорбционные, конденсационные [6]. [c.287]

Холод Ю. В., Юферов В. Б. Откачка больших объемов от 760 тор до высокого вакуума водородными конденсационно-сорбционными насосами. — Вопросы атомной науки и техники. Сер. Низкотемпературная адсорбция и криогенный вакуум, 1971, вып. 1, с. 153—155. [c.158]

Конденсационно-сорбционные ловушки. При сверхвысоком вакууме ловушки, охлаждаемые ожиженными газами, не улавливают всех нежелательных примесей, попадающих в объем при работе масляных насосов. Различные схемы откачки имеют своей целью вообще исключить применение диффузионных паромасляных и форвакуумных масляных насосов для того, чтобы гарантировать отсутствие масляных паров в области сверхвысокого вакуума. Однако в некоторых случаях можно преодолеть это затруднение применением конденсационно-сорбционной ловушки. Ряд авторов предлагают различные конструкции ловушек, которые, по их мнению, обеспечивают полное улавливание паров масла. Принцип действия таких ловушек тот же, что и сор бционных насосов. Если применить в такой ловушке яспарение титана, то благодаря высокой сорбционной способности распыленного титана, в особенно- сти при низких температурах, слой титана будет интенсивно поглощать метан, водород, окись углерода, аргон и другие газы. [c.426]

Явление криосорбции дает возможность создания эффективного способа откачки, сочетающего в себе преимущества криоконденсационной и криоадсорбционной откачки. В литературе этот способ иногда называют конденсационно-адсорбционной откачкой 1-24]. Криосорбция по своей физической сущности мало отличается от адсорбции, поскольку отвердевшие газы, как и обычные сорбенты, представляют собой микропористые структуры [1-25]. По сравнению с гранулированными сорбентами, применяемыми в адсорбционных насосах (углями, цеолитами, селикагелями), слои легкоконденсируемых отвердевших газов, обладая сравнимой с ними сорбционной способностью, имеют ряд достоинств хороший тепловой контакт с криопанелью оптически прозрачны, и малый коэффициент поглощения теплового излучения высокий коэффициент теплопроводности (по сравнению с углями) не оставляют пыли и загрязнений в откачиваемой системе. [c.46]