Криогенные конденсационные насосы

ТЕПЛОВЫЕ РАСЧЕТЫ КОНДЕНСАТОРОВ КРИОГЕННЫХ КОНДЕНСАЦИОННЫХ НАСОСОВ [c.143]

Область применения криогенных конденсационных насосов не ограничивается приведенными. выше примерами. Отсутствие движущихся частей делает конструкции крионасосов простыми и надежными, отсутствие рабочих веществ позволяет им создавать абсолютно чистый вакуум. Эти положительные качества крионасосов позволяют им быстро завоевывать прочные позиции в таких отраслях науки и техники, как электроника, металлургия, техника получения сверхчистых и полупроводниковых материалов и многих других. Способность же крионасосов откачивать агрессивные газы и пары позволяет использовать их в химических производствах, а также для откачки плазмохимических реакторов, выхлопов ракет и тому подобных объектов, где все другие средства откачки просто не годятся. [c.84]

Глава 4. КРИОГЕННЫЕ КОНДЕНСАЦИОННЫЕ НАСОСЫ [c.82]

Водород используют в процессах синтеза аммиака, метилового и изобутилового спиртов, при гидрогенизации топлив. В последние годы наблюдается значительное расширение областей применения жидкого водорода. В качестве хладоагента жидкий водород применяют в различных термобарокамерах, в криогенных конденсационных и адсорбционных вакуум-насосах, позволяющих достигать глубокого вакуума. Физику твердого тела изучают в условиях низких температур [6]. [c.7]

Разнообразие областей применения криогенных конденсационных насосов привело к разработке многочисленных их конструкционных разновидностей, отвечающих той или иной специфике приложения. Дать описание всех известных схем крионасосов потребовало бы объема солидной монографии и вряд ли было бы оправдано. В небольшой по объему главе имело смысл рассмотреть лишь те вопросы, которые не получили развития в известных работах [30] и [33]. [c.84]

Успехи криогенной техники позволяют в настоящее время реально обсуждать возможности применения криогенных конденсационных насосов для откачки напылительных установок. Достоинством насосов этого типа является то, что они обеспечивают возможность получения значительных скоростей откачки при сравнительно небольших размерах откачивающей части насоса (конденсатора). Одним из существенных отличий криогенных иасосов от обычных средств откачки является то, что конденсатор может непосредственно устанавли-132 [c.132]

Сверхвысоковакуумные установки для напыления фирмы Эдвардс (Англия) с диаметром камеры 355 мм дают возможность получать давление 5 10 мм рт. ст. Камеру изготовляют из коррозионностойкой стали, допускающей высокотемпературный прогрев. В рабочей камере предусмотрены специальные отверстия с фланцами для присоединения криогенного насоса, датчика ионизационного манометра, масс-спектрометра и других необходимых устройств. Криогенный (конденсационный) насос (см. рис. 378) опускают в камеру через отверстие, расположенное сверху. Вся система откачивается распылительно-ионным и титановым сублимационным насосами, предварительная откачка производится либо последовательно соединенными сорбционными насосами, либо двухступенчатым вращательным насосом с ловушкой. Мощность печи для прогрева камеры порядка 6,75 кВт. Нормальная температура прогрева 300° С, а при наличии прокладок из золота может достигать 400° С. [c.236]

В качестве насосов основной откачки используются насосы поверхностного действия, использующие в максимально возможной степени внутреннюю поверхность установки. Главным образом, основная откачка осуществляется встроенными криогенными конденсационными насосами. В качестве насосов вспомогательной откачки в современных установках используются комбинации насосов различных типов, в которых каждый тип насоса используется, главным образом, для откачки одного (или двух) определенных газов. Например, в [c.64]

Для получения еще более высокого вакуума применяют криогенные (конденсационные) насосы. [c.470]

В качестве хладоагента жидкий водород применяется в различных термобарокамерах, в которых имитируются условия космического полета, в криогенных конденсационных и адсорбционных вакуум-насосах, позволяющих достигать глубокого вакуума (остаточное давление до 10 2 мм рт. ст.) [1, 2]. [c.5]

Жидкий В. применяется как горючее в ракетной и космич. технике, для заполнения пузырьковых камер, в кач-ве хладагента в криогенных конденсационных и адсорбционных вакуум-насосах. [c.401]

Конденсационные (криогенные) насосы обеспечивают теоретически максимальную скорость откачки газов в области давлений, превышающих упругость пара при рабочей температуре конденсатора. В области давлений, характерных для вакуумной техники, конденсационный насос, охлаждаемый жидким водородом, не откачивает гелий, водород и неон при охлаждении жидким гелием не откачивается лишь один гелий. [c.4]

Конденсационные насосы поглощают газы за счет их конденсации, т. е. перевода в твердую фазу на поверхностях, охлаждаемых до температур жидкого водорода и гелия. Иногда их называют криогенными. [c.47]

Одним из наиболее важных параметров, определяющих степень эффективности криогенного вакуумного насоса, является его внутренняя геометрическая структура — взаимное расположение различных элементов, конденсационных криопанелей, панелей с нанесенным сорбентом и др. [c.212]

Криогенные конденсационные вакуумные насосы (см. -Гл. 4), широко применяемые в настоящее время для создания безмасляного вакуума, обладают серьезным недостатком они могут работать лишь в том случае, если откачиваемый газ по отношению к температуре криоповерхности находится в состоянии перенасыщенного пара. Поэтому для откачки конденсацией, например, водорода при давлении 10 Па температура криоповерхности должна быть ниже 4 К, а при давлении 10 Па ниже 3,2 К-Для конденсации гелия требуются еще более низкие температуры. Так, упругости-насыщенных паров гелия 2,16-10 Па соответствует температура 0,5 К- Поскольку парциальные давления таких трудноконденсируемых газов, как неон, водород и гелий в воздухе соответственно равны 182-10 Па, 5-10 Па и 53-10 Па, то следовало бы ожидать, что охлаждение криоповерхности жидким водородом (20,4 К) не позволит сконденсировать эти газы и остаточное давление не будет ниже, чем сумма их парциальных давлений, т. е. ниже 2,4 Па. [c.77]

Конденсационные (криогенные) насосы [c.120]

Криогенные насосы, которые осуществляют откачку путем конденсации откачиваемых газов и паров на поверхностях, охлаждаемых до сверхнизких (криогенных) температур. Разновидностями криогенных насосов являются конденсационные и криосорбционные насосы. [c.84]

Основным отличием криосорбционных насосов от конденсационных, описанных выше, является способность путем криосорбции откачивать низкокипящие газы (гелий, водород), обеспечиваемая применением адсорбентов, охлаждаемых.до сверхнизких (криогенных) температур. В качестве адсорбента в криосорбционных насосах могут использоваться цеолиты, активированный древесный уголь, пористый никель, оксидная пленка алюминия и другие материалы. По конструкции криосорбционные насосы мало отличаются от конденсационных. При полном насыщении адсорбента газом криосорбционный насос становится конденсационным, однако при низких давлениях (10- —10 Па) он способен сотни и даже тысячи часов работать без использования вспомогатель- [c.157]

Конденсационные или криогенные насосы используются в качестве последних ступеней каскадных высоковакуумных установок и обладают большой скоростью откачки (до 1 ООО ООО л/сек) при давлении 1 -Ю "—1- Ю Ц мм рт. ст. [c.161]

Недостатки вакуумных откачных систем, состоящих из диффузионного и конденсационного криогенного насосов, заключаются в том, что при 20° К не откачивается водород (выделение иодорода при испытаниях составляет [c.305]

Основным достоинством конденсационных криогенных насосов является возможность получения высоких скоростей откачки и относительно низкая [c.431]

Рис. 378. Конденсационный криогенный насос фирмы Эдвардс (Англия)

Использование сорбционной способности слоев сконденсированных твердых газов является весьма заманчивым для снижения предельного давления в системах с криогенными конденсационными насосами. Адсорбент такого типа имеет хорощий тепловой контакт с охлаждающей поверхностью. Количество адсорбента и время его включения в работу (напыления) определяются оператором. Наконец, регенерация адсорбента или его полное удаление из системы часто требуют лишь незначительного повышения температуры криоповерхности по сравнению с рабочей температурой, при которой происходила откачка. [c.78]

Большой вклад в развитие криогенного метода получения высокой разреженности газа внесли сотрудники Харьковского Физико-технического института АН УССР под руководством Б. Г. Лазарева и Е. С. Боровика. Создание первого конденсационного вакуумного насоса ВК-4, в котором в качестве хладагента использовался жидкий водород [27], было не просто использование еще одного физического явления (конденсации газов и паров на криогенной поверхности) для снижения давления в замкнутом объеме, не просто создание физического прибора, основанного на этом явлении,— это было рождение новой области вакуумной техники — криогенного конденсационного вакуума. В 50—бО-х годах Е. С. Боровиком, его сотрудниками и учениками были построены оригинальные криогенные конденсационные насосы — рекордные как по предельному вакууму и чистоте создаваемых вакуумных условий, так и по быстроте действия. Они нашли широкое применение в различных экодерименталь-ных системах, особенно в ядерной физике. [c.83]

Из-за низкой температуры кипения водорода открывается возможность использования его в качестве низкотемпературного хладагента. При испарении жидкого водорода под вакуумом достигается температура 14—15 К, которая необходима для ряда научных экспериментов, например в термобарокамерах для моделирования условий космического полета, в криогенных, конденсационных и адсорбционных вакуум-насосах, позволяющих достигнуть вакуума порядка 133-10 Па [741]. Жидкий водород используют для исследований в области химии свободных радикалов, физики твердого тела, в пузырьковых камерах, в которых регистрируют следы заряженных частиц, в б Юлогии клеток. Жидкий водород необходим при глубоком [c.562]

В настоящее время научно-технический прогресс невозможен без использования криогенных жидкостей, в том числе жидкого водорода. В последнее десятилетие области применения жидкого водорода значительно расширились. В качестве хладагента жидкий водород применявзт в различных термобарокамерах, в криогенных конденсационных и адсорбционных ва-куум-насосах, повволяицих достигать глубокого вакуума. Физические свойства твердых тел изучают в условиях низких температур, создаваемых жидким водородом. [c.3]

Поглощательная способность поверхности конденсационного насоса — чистой и со слоем конденсата. — Вопросы атомной науки и техники. Сер. Низкотемпературная адсорбция и криогенный вакуум , вып. 1, Харьков, ФТИ АН УССР, 1971, с. 51—56.. Лвт. [c.150]

Холод Ю. В., Юферов В. Б. Откачка больших объемов от 760 тор до высокого вакуума водородными конденсационно-сорбционными насосами. — Вопросы атомной науки и техники. Сер. Низкотемпературная адсорбция и криогенный вакуум, 1971, вып. 1, с. 153—155. [c.158]

Справочник химика 21

Химия и химическая технология