Высокочастотный разряд с внешними или внутренними электродами

Высокочастотный тлеющий разряд. Высокочастотный тлеющий разряд возникает при включении разрядного промежутка в контур высокой частоты посредством внутренних или внешних электродов. По внешнему виду разряд разделяется на несколько частей. Положительный столб располагается в средней части между электродами, а оба электрода играют роль катодов, у которых образуются все катодные части разряда. Электроны совершают колебательное движение в разрядной трубке. [c.48]

В зависимости от частоты возбуждающего генератора связь разрядного промежутка с колебательным контуром осуществляется по-разному. До частот порядка 2500 Мгц для подвода энергии к разрядному промежутку используют внешние или внутренние электроды (исключение представляет безэлектродный кольцевой разряд) при частотах больших 2500 Мгц разрядная трубка помещается внутри волноводного тракта. Вид связи определяет характерные особенности высокочастотного разряда, так как он обусловливает величину мощности, передаваемой разряду. Принято различать два вида высокочастотных разрядов при пониженном давлении высокочастотный тлеющий разряд и кольцевой разряд [c.48]

Форму разряда, вызванную наличием высокочастотного электрического поля между электродами (внешними или внутренними— безразлично), мы будем называть высокочастотным разрядом. [c.385]

Высокочастотный разряд с внешними или внутренними электродами. В этой форме разряда последний получается при помещении трубки с разрежённым газом в высокочастотное электрическое поле (например, между обкладками конденсатора, включённого в цепь высокочастотного генератора тока). В отличие [c.23]

Высокочастотный разряд с внешними или внутренними электродами. Отчётливое разделение отдельных областей высокочастотного. разряда в разрежённых газах происходит лишь при питании разряда незатухающими колебаниями. При питании затухающими колебаниями (применявшимися неизменно примерно до 1930 г.) вся картина смазана. Помещение электродов внутрь трубки не вносит существенных изменений в разряд при исследованных частотах, однако отзывается на потенциале зажигания разряда. [c.645]

Было исследовано образование ацетплена в высокочастотных разрядах пз смесей СН и Н2 [62], каменноугольного газа [63] и из метана и этана [64] (см. стр. 344). В другом исследовании [65] реакции метана при 6 лг.и рт. ст. и 0° С в трубке нз боросиликатного стекла (62 X 5,8 см) были использованы внешние электроды, выполненные в виде коаксиальных катушек длиной 7 см и внутренним диаметром 7,2 см с алюминиевой проволокой диаметром 5 мм. Разряд имел следующие параметры 4,3 кв, 0,1 а, 600 кгц. Выход ацетилена сильно зависел от скорости подачи газа и расстояния между электродами и проходил через резкий максимум, величина которого равнялась 25% от теоретического выхода для реакции 2СН4 С2Н2 - - ЗН2. Углерод не образовывался, однако возникали жидкие продукты, содержащие циклоиентадиен, инден и желтое твердое вещество в виде хрупких пластинок. Этот твердый продукт соответствовал формуле С Н (ге > 1). Он был устойчив к действию температуры (до 350° С) и химических реагентов, не растворим более чем в шестидесяти органиче- [c.372]

Плазма. Плазма представляет собой состояние ионизованного газа, при котором беспорядочное движение электронов преобладает над их направленным движением. Газ в состоянии плазмы заполняет собой целые более или менее обширные области разрядного промежутка. К таким областям принадлежат положительный столб в тлеющем разряде и в дуговом разряде, отшну-рованный полон ительный столб в дуговом разряде при больших давлениях светящаяся область высокочастотного разряда с внутренними и внешними электродами при малых давлениях газа, светящееся кольцо в безэлектродном кольцевом разряде развившийся главный канал в искровом разряде и в молнии почти всё пространство между электродами в дуговом разряде низкого давления с раска.лённым катодом. [c.283]

Первой работой, положившей начало исследованиям высокочастотного распыления, по-видимому, явилась статья Робертсона и Клаппа, опубликованная в 1933 г. [120]. Авторы наблюдали удаление материала с6 стенок стеклянной газоразрядной трубки, когда в ней при помощи внешних электродов зажигался высокочастотный разряд. Продолжая их исследования, Хэй [121] установил, что удаление материала было обусловлено его распылением, и что оно происходило только в тех случаях, когда используемая частота была- достаточно высокой. Однако причину этого явления понять не удалось. Спустя десять лег Лодж и Стюарт [122] получили дополнительные данные, свидетельствующие о том, что материал удалялся путем распыления, и связали это распыление с появлением отрицательного заряда на поверхности диэлектрика, находящейся под высокочастотным электродом. В 1957 г. Левитскнй [123] провел зондовые измерения потенциала и исследовал распыление материала в высокочастотном разряде с внутренними металлическими электродами. В 1962 г. Андерсон с сотрудниками [124], на основании предположения, выдвинутого ранее Венером [125], показали, что в трехэлектродной распылительной разрядной трубке с помощью внешнего высокочастотного электромагнитного поля можно осуществлять очистку внутренних поверхностей стенок, и предположили, что подобным образом можно наносить и диэлектрические пленки. Впоследствии этот общий принцип был положен в основу разработанного Дэвидсом и Майсселом метода, позволяющего достаточно быстро наносить диэлектрические пленки на подложки большой площади [54, 126]. Авторы показали также, что трехэлектродная система ионно-плазменного распыления для этой цели совсем не обязательна и что можно использовать устройство, сходное с системой ионного распыления на постоянном токе. [c.444]

Для возбуждения аналитического спектра используют разлршные типы газового разряда. Электрический — высокочастотный, импульсный, постоянного тока микроволновый разряд лазерная искра. При этом применяются разные устройства — кварцевые трубки с внешними или внутренними электродами факел индуктивно связанной плазмы в потоке аргона. Аналитические линии или полосы выделяются специальными приборами — монохроматорами, а также многослойными интерференционными фильтрами. Интенсивность спектральных линий и полос регистрируются фотоэлектронными умножителями (ФЭУ) или фотодиодами. [c.920]

Ири помощи метода зоидоьых характеристик установлено, что в высокочастотном разряде с внешними или внутренними электродами имеет место своеобразное распределение пространственных зарядов, зависящее от детальных условий опыта, в том числе от давления газа. [c.386]

Высокочастотные разрядные детекторы, основной принцип действия которых описан Карменом и Боуменом [ПО], используют для детектирования разряда в цилиндрической камере. К электродам подключается переменный ток с частотой 20— 40 МГц и напряжением около 2 кВ (внешний электрод — цилиндр, внутренний — проволока, расположенная по оси цилиндра). [c.471]