Вакуумная камера обнаружение течи

При контроле способом гелиевого щупа вместо вакуумной камеры (см. рис. 3.5) через вентиль 6 присоединяют к течеискателю щуп на гибком шланге. Контроль проводят в следующем порядке. Систему течеискания откачивают механическим насосом при закрытом вентиле 6, затем его приоткрывают так, чтобы при совместной откачке насосами течеискателя и вспомогательным 13 давление на входе течеискателя было не более 30 Па. В изделие (которое находится вне камеры) подают гелий. Щуп перемещают со скоростью не более 2 мм/с "в непосредственной близости от поверхности изделия, его снабжают насадками, повторяющими форму изделия. Контроль начинают с нижних участков поверхности изделия для более точного обнаружения мест течи. [c.89]

Идентификация вакуумных течей. Задача идентификации небольших течей в вакуумной камере усложняется обычно наличием так называемых виртуальных течей, также дающих вклад в атмосферу остаточных газов. Эти течи обусловлены небольшими объемами газа, захваченного в карманы внутри самой системы и медленно выделяющегося из них при снижении давления в камере. Источниками виртуальных течей могут быть глухие резьбовые отверстия с винтами, из которых газ просачивается в вакуум, некачественно выполненные спаи или уплотнения с двойными прокладками, а также другие детали элементов, изолирующие некоторый объем газа, связанный с высоким вакуумом через очень узкие отверстия. Ответственными за аномально высокое давление остаточных газов могут стать также и материалы, обладающие большой адсорбционной емкостью, например, смазка, активно сорбирующая газы, или пористые материалы, равно как и некоторые сорта керамики или дерево, случайно оставленное в системе. Подобно виртуальной течи могут действовать также вымораживающие ловушки, поскольку давление паров таких конденсаторов, как вода или Oj при обычных температурах вымораживания в условиях высокого вакуума становится уже существенным [227, 228]. Поиск действительной течи при наличии в системе виртуальных источников может оказаться очень продолжительным и безуспешным. Таким образом, первоочередной задачей поиска является обнаружение именно виртуальных течей. К сожалению, проблема разделения течей является очень трудной. Для выделения вкладов конденсируемых и обычных газов иногда полезно внимательно просле- [c.311]

Испытание на течь заключается в наполнении фреоном вакуумной установки или ее изолированной части и в обнаружении с помощью галоидной лампы следов фреона, выделяющегося из течи. В зависимости от размеров вакуумного сосуда и требуемой чувствительности, наполнять испытуемый сосуд фреоном можно либо после предварительной откачки сосуда, либо без нее. Для трубок малого сечения предварительная откачка требует много времени и невыгодна при работе же с большими камерами предварительная откачка желательна, так как делает возможным наполнение сосуда чистым фреоном, который после испытания можно перекачать в фреоновый баллон для нового использования. Многие большие стальные вакуумные камеры, которые испытывались на течь по этому способу, наполнялись фреоном до давления всего около 1,5 ат. Если сосуд наполняется фреоном до этого давления без предварительной откачки, то фреон составляет около /з полученной в сосуде смеси и для испытания сосуда, имеющего объем 850 л, требуется около 2,3 кг жидкого фреона. Этим же количеством фреона можно наполнить до указанного давления предварительно откачанный сосуд объемом 285 л, причем фреон, оставшийся в сосуде, после испытания может быть снова использован. Водопроводные трубы в большинстве случаев можно испытывать при баллонном давлении фреона, т. е. давлении его паров при комнатной температуре (5,72 ат). В соответствии с этим, если трубы наполняются без предварительной откачки, то смесь на 5/6 будет состоять из фреона и потеря в чувствительности будет незначительной. [c.212]

Если же спустя достаточное время после включения пароструйного насоса давление в системе продолжает оставаться достаточно высоким, что не дает возможности включить ионизационный манометр или непосредственно присоединенный к системе гелиевый течеискатель, необходимо применить один из методов обнаружения течи, описанный выше. Если дефект заключается в самом пароструйном насосе, то это можно установить, отключив пароструйный насос от вакуумной системы и измерив быстроту натекания в систему. После того как давление достигает таких значений, что уже можно пользоваться ионизационным манометром, но еще нельзя проводить в камере рабочий процесс, следует воспользоваться любым известным способом определения течи при низких давлениях. Наиболее быстро удается определить течь при помощи гелия и течеискателя, присоединенного к системе. Если такой прибор отсутствует, то можно использовать метод, основанный на изменении показания ионизационного или какого-либо другого манометра при обдувании системы пробным газом. Если этим способом [c.243]

Применение масс-спектрометра с вольфрамовым катодом в ионизационной камере ограничено рабочими давлениями, хотя обычно он не связывается непосредственно с вакуумной системой, в которой давление нельзя рт. ст. Это давление может быть повышено, если в качестве ионного источника использовать ионизационный манометр Филипса [2126]. Типичное устройство для обнаружения течи изображено на рис. 185. Система, в которой производится испытание на течь, может быть эвакуирована двумя способами либо через масс-спектрометр, либо через байпасную систему. Если течь велика, то левый кран почти полностью закрывается, открывается правый кран настолько, чтобы давление в масс-спектрометре можно было установить ниже безопасного рабочего уровня. После того как большие течи найдены и устранены, правый кран постепенно закрывают, открывают другой до тех пор, пока весь газ, входящий в вакуумную систему, не пройдет через масс-спектрометр и не будет получена максимальная чувствительность. [c.495]

Течеискатель представляет собой масс-спектрометр, настроенный на обнаружение индикаторного газа (гелия), которым обдувается испытываемый объект, присоединяемый к вакуумной системе прибора. Помимо обдува, могут быть использованы и другие методы подачи индикаторного газа. При наличии в испытываемом объекте течи в камеру масс-спек-трометр лческого анализатора течеискателя вместе с молекулами других газов попадают во время откачки молекулы гелия. Блок-схема течеискателя приведена на рис. 50, [c.61]

Справочник химика 21

Химия и химическая технология