Натекание, быстрота

При увеличении натекания быстрота откачки сначала остается постоянной или даже несколько повышается, пока не наступит прорыв струи одного или нескольких сопел вследствие слишком больших перепадов давления. [c.89]

Однако вспомогательный насос выполняет полезную работу только тогда, когда быстрота откачки достаточна для поддержания допустимого выпускного давлепия высоковакуумного насоса. Таким образом, при расчете вспомогательных насосов графики зависимости давления на стороне высокого вакуума от натекания (фиг. 31) более полезны, чем кривые натекание — быстрота откачки. [c.93]

Оценим необходимое время выдержки Т. Масс-спектрометр реагирует собственно не на поток пробного газа, а на пропорциональную ему величину — парциальное давление гелия в камере течеискателя. Оно приблизительно равно полному давлению Р в камере 4 установки, поскольку камера была предварительно откачана. Давление Р увеличивается во времени благодаря натеканию Q гелия через течи при одновременной откачке насосом течеискателя. Поток откачиваемого газа насосом РЗз, где 5э — эффективная быстрота откачки. Таким образом, изменение количества пробного газа в камерах 4 и ионного источника масс-спектрометра определяется так [c.87]

В горизонтальных микробюретках нет ошибок натекания, но остаются ошибки, связанные с быстротой вытекания, — чем больше скорость вытекания раствора, тем больше его остается на внутренних стенках таких бюреток. [c.144]

Высоковакуумные вентили. Такие вентили располагают между камерой и высоковакуумным насосом. Основное требование, предъявляемое к ним, — обеспечение высокой пропускной способности для сохранения максимальной быстроты откачки насоса. Кроме того, поскольку внутренние элементы открытого вентиля экспонируются внутрь высоковакуумной системы, то они должны иметь минимальные утечки и газоотделения. Для уменьшения сорбции атмосферных газов на внутренних поверхностях вентиля, он устанавливается таким образом, чтобы при напуске воздуха в камеру эти поверхности оставались под вакуумом. Наибольшее распространение в вакуумной технике получили высоковакуумные вентили (затворы) шиберного типа. Хотя внешние механизмы управления затворов различных марок могут существенно отличаться, принцип действия их остается одним и тем же. Этот принцип иллюстрируется рис. 83. Перекрытие устройства осуществляется с помощью диска с закрепленной в канавке круглой кольцевой прокладкой. Диск прижимается к проходному отверстию за счет передачи усилия от опускаемого каким-либо образом вниз штока через рычажный механизм. Для облегчения скольжения штока вдоль направляющей стенки корпуса часто используются шарикоподшипники. При подъеме штока диск опускается на несущие шасси. Для представленного на рис. 83 варианта включения затвора внутренние его поверхности, за исключением поверхности самого диска, при напуске воздуха в камеру остаются под вакуумом. Этот случай более предпочтителен, хотя в нем для фиксации диска необходимо прилагать значительные механические усилия, превышающие по величине силу, обусловленную атмосферным давлением на диск. Для уплотнения штока обычно используют либо двойные круглые кольцевые прокладки, либо устройства типа Вильсона (см. рис. 79). Натекание через них при неподвижном штоке пренебрежимо мало. Увеличение натекания при открывании или закрывании затвора находится в допустимых пределах, так как оно происходит или в самом начале вакуумного цикла, или непосредственно перед напуском воздуха. Применение полностью герметичных устройств для движения штока оправдано только в специальных случаях, например, в системах ионного распыления, в которых затвор приводится в действие в наиболее критические моменты рабочего процесса. Для регулировки быстроты откачки камеры высоковакуумным насосом затвор перекрывается лишь частично (дросселирование). В этой ситуации натекание газа при перемещении штока приводит к нежелательному загрязнению рабочего газа. Корпус затвора и его внешние детали изготавливаются обычно из мягких или нержавеющих сталей, а также из алюминиевых сплавов. Соединение затворов с вакуумной си- [c.287]

Это дает быстроту откачки насоса, выран енную через увеличение давления за счет натекания . Если и ДР измеряются [c.56]

Предполон<им теперь, что в системе имеется некоторое натекание, следствием чего является наличие предельного давления / о. ниже которого давление в системе не понижается. Это может быть течь в насос или в любую другую часть системы. В любом случае эффективная быстрота откачки будет равна [c.58]

Сущность способа заключается в следующем вакуумная установка или часть ее изолируется от насоса соответствующим клапаном, задвижкой или крапом, и при помощи какого-либо манометра измеряется быстрота возрастания давления в изолированной части. Понятно, что при этом предпочтительнее пользоваться манометром непрерывного действия, например ионизационным манометром, нежели манометром разового действия, вроде манометра Мак Леода. Тип измерительного прибора определяется областью давлений, в которой производят измерения. Так, например, если давление в установке не опускается ниже 100 [х Hg и включать пароструйный насос нельзя, то измерять возрастание давления можно теплоэлектрическим манометром Пирани, термопарным манометром или компрессионным манометром соответствующего типа. Прежде всего следует отключить вакуумную установку от насоса и измерить быстроту возрастания давлепия. Если полученная величина мало отличается от нормы для вакуумно-плотной системы (предполагается, что эта норма известна) или достаточно мала, чтобы обеспечить в данной установке при данном насосе нужное давление, то это указывает не на течь в установке, а на плохую работу пасоса или на наличие в нем течи. Предположим, что быстрота возрастания давления указывает на наличие течи в самой вакуумной установке. Тогда можно определить приблизительную величину натекания с.ледующим образом пусть вакуумная установка имеет объем 1000 л и скорость возрастания давления равна 5 [Л Hg за 10 сек при начальном давлении 100 [л Hg. Тогда общее натекание равно около 500 микрон-л/сек. Это, конечно, значительно превышает нормальное натекание вакуумно-плотной системы. Знание общего натекания установки позволяет при испытании отмечать главные течи. [c.208]

Фиг. 32. Зависимость быстроты откачки 6-дюймового вспомогательного насоса от мощности подогрева (при постоянном натекании 1 ат.см /сек и атмосферном давлении).

Если построить график зависимости давления от натекания, то наклон кривой соответствует эффективной быстроте откачки насоса. Обычно и пользуются такими графиками, хотя на них быстрота откачки выражена неявно. [c.104]

Другой возможный способ имитации натекания в трубопроводе предварительного разрежения — просто дросселировать его, пока давление перед дросселирующим вентилем не возрастет соответственно изменению эффективной быстроты откачки предварительного насоса. Этот способ менее удобен приходится довольно долго выжидать, пока давление установится. [c.105]

Сварка стальных стенок должна быть такой, чтобы любые течи, появившиеся в результате плохой сварки во время производства или повреждений во время перевозки, могли быть обнаружены и устранены. На фиг. 59 показана типовая сварка, дающая хороший результат. Листы стенок камеры свариваются у концов, как показано внутренняя и наружная сварки производятся независимо. Пространство между двумя швами разделяется перегородками, установленными на некотором расстоянии одна от другой. Между каждыми двумя перегородками внешний шов просверливается, причем отверстие нарезается и закрывается пробкой. При испытании камеры на герметичность испытывают последовательно каждый отсек, либо откачивая их по очереди и измеряя каждый раз быстроту натекания, либо по засасыванию мыльной пленки в рассверленные отверстия. Нагнетание сжатого воздуха в пространство между швами и опробование мыльной пеной позволяет точно определить место течи. Любой из этих способов позволяет убедиться в герметичности внутреннего шва. [c.155]

Испытание гелиевой камерой. Испытание водяных трубопроводов. Общее натекание любой детали можно определить, покрыв деталь колпаком и наполнив этот колпак гелием. Сама деталь может быть откачана либо одним механическим насосом предварительного разрежения, либо в комбинации с пароструйным. Отсчет течеискателя зависит не только от размеров течи, но также и от количества гелия под колпаком, давления под колпаком, быстроты откачки насоса предварительного разрежения, давления внутри прибора и времени, прошедшего после того, как подали гелий под колпак. Поэтому для каждого случая испытания методом гелиевой камеры должны быть установлены специальные правила, которых необходимо придерживаться. [c.239]

Если же спустя достаточное время после включения пароструйного насоса давление в системе продолжает оставаться достаточно высоким, что не дает возможности включить ионизационный манометр или непосредственно присоединенный к системе гелиевый течеискатель, необходимо применить один из методов обнаружения течи, описанный выше. Если дефект заключается в самом пароструйном насосе, то это можно установить, отключив пароструйный насос от вакуумной системы и измерив быстроту натекания в систему. После того как давление достигает таких значений, что уже можно пользоваться ионизационным манометром, но еще нельзя проводить в камере рабочий процесс, следует воспользоваться любым известным способом определения течи при низких давлениях. Наиболее быстро удается определить течь при помощи гелия и течеискателя, присоединенного к системе. Если такой прибор отсутствует, то можно использовать метод, основанный на изменении показания ионизационного или какого-либо другого манометра при обдувании системы пробным газом. Если этим способом [c.243]

При вводе в эксплуатацию высоковакуумных систем обычно сталкиваются с тем фактом, что быстрота их откачки значительно отличается от расчетной в худшую сторону, а требуемый вакуум не достигается. Эти симптомы свидетельствуют, как правило, о наличии в системе течей. Газовый поток в вакуум через узкие поры или каналы по своему механизму обычно бывает молекулярным или молекулярно-вязкостным, см. разд. 2Б, 5), гл. 1. И хотя количество натекающего газа относительно невелико, оно существенно меняет рабочие характеристики системы. Например, молекулярно-вязкостный поток атмосферного воздуха через канал диаметром 10 мкм и длиной 1 мм равен 5 10 3 мм рт. ст. л с [6]. Пусть быстрота откачки системы равна 500 л Б этом случае скорость натекания газа сравняется с быстротой его откачки при давлении 10" мм рт. ст. На практике из-за дополнительного выделения газа за счет десорбции получаемое предельное разрежение будет еще хуже. Для получения или восстановления оптимальных характеристик вакуумной системы необходимо выяснить наличие и точное местоположение течи с тем, чтобы ее можно было устранить. Существует целый ряд методов поиска течей. Подробный обзор этого вопроса может быть найден в литературе [325, 326]. [c.311]

После того как удалось установить, что в вакуумной системе действительно имеется натекание атмосферного воздуха через неплотности, с помощью соответствующих затворов и вентилей изолируют ее отдельные участки и вновь производят измерение быстроты возрастания давления уже в каждом из изолированных участков системы. Таким путем можно быстро обнаружить тот участок системы, в котором имеются главные течи. При этом нет необходимости в каждом изолированном участке обязательно иметь свой манометр о наличии течи в нем [c.52]

Если все же быстрота натекания вак> мной системы превышает допустимую, то необходимо отыскать негерметичное место и устранить натекание. [c.261]

Для обеспечения заданного времени предварительной откачки при проектировании откачных систем с крионасосом исходным моментом выбора быстроты откачки вспомогательной системы служит известное уравнение газового баланса при откачке замкнутого объема. Так как предварительная откачка крионасоса производится до давления 10- —1 Па, то можно допустить отсутствие натеканий и газовыделений в системе. Тогда [c.115]

В тех случаях, когда Q или 5о меняются в процес-ее откачки, весь период откачки разбивают на отдельные участки по давлению, внутри каждого из которых газовыделение, натекание, характер продесса расширения газа и эффективную быстроту откачки можно условно принимать постоянными. При этом общее время откачки [c.48]

Условие (13.3) показывает, что суммарное натекание можно считать допустимым, т. е. требуемое давление р1 в вакуумной системе будет обеспечено и при наличии натекания, если соответствующим образом подобраны быстрота действия насоса 5и и проводимость вакуумного трубопровода и. [c.247]

Рассчитывают время предварительной откачки при этом учитывают предельное остаточное давление насоса предварительного разрежения, газовыделение и натекание, а также изменение быстроты действия насоса и проводимости трубопроводов в зависимости от давления. [c.388]

С другой стороны, в насосе имеют место некоторые процессы, устанавливающие предельное давление, пиж которого система не может быть откачана. В механических насосах при каждом цикле возвращается обратно в систему некоторое количество газа, переносимого маслом. В самом деле, масло, подвергающееся не-продолзкительному действию атмосферного воздуха, переносится ротором к вакуумной области и там отдает часть растворенного газа. Таким образом, газ возвращается в систему с некоторой определенной быстротой, не зависящей от Р. В пароструйном насосе рабочая н идкость, соприкасающаяся с газом при относительно высоком выпускном давлении, возвращается в высоковакуум-вую часть насоса и может отдавать некоторое количество растворенного газа. В обоих случаях это эквивалентно некоторому малому натеканию о- Помимо этого, любой реальны насос может иметь малую течь, реальную или эффективную, влияние которой больше, чем влияние растворенного газа. [c.53]

Как и у высоковакуумных насосов, быстрота откачки всиомо-гательного насоса зависит от мощности подогрева. Фиг. 32 показывает, что при увеличении подогрева быстрота откачки несколько уменьшается. Однако для расчетов имеет значение только быстрота откачки в режиме максимального натекания. [c.95]

При всей тщательности выполнения вакуумных систем в целом невозможно достигнуть пошного отсутствия натекания. Можно добиться того, чтобы натекамие оставалось в пределах допустимого. Для этого необходимо уметь провести количественную оценку герметичности вакуумной системы, т. е. измерить быстроту натекания. [c.257]

Второй метод определения чувствительности при помощи калиброванной течи иначе называется динамическим . Представим себе, что сделана весьма малая течь, например при помощи сплющивания куска медного капилляра. Откалибровать ее можно, присоединяя к манометру и измеряя быстроту повышения давления. Если величина натекания равна А см /сек, то поток через щель равен 760 лткрон-л[сек. Лучше всего проводить калибровку непосредственно по гелию, так как при применении воздуха надо вводить поправочный коэффициент, взятый из фиг. 89. Затем этот натекатель можно присоединить к той же вакуумной системе, к которой присоединен течеискатель. Тогда, если — быстрота откачки насоса этой системы при давлении Р, общее количество газа— РЗ микрон-л/сек, то отношение смеси гелия и воздуха составит 760 А1Р8. [c.236]

Предположим, что вакуумная система откачивается после того, как в ней было атмосферное давление, или после какой-либо аварии. Если соединенный с системой манометр, способный измерять давления порядка миллиметров ртутного столба, показывает давление выше ЮТ [I. Hg, ясно, что диффузионный насос еш,е не может быть включен. Пзрвый шаг должен быть предпринят в направлении приблизительного определения места возможной течи. Это лучше всего сделать, перекрывая вентилями определенные части системы, соединенные с насосом предварительного разрежения, и измеряя быстроту натекания газа в систему. Сначала должна быть отсоединена от насоса предварительного разрежения основная часть системы, включающая пароструйный насос. Если в основной части системы течи нет, необходимо проверить масло механического насоса, так как его может быть мало или оно может быть грязное. Если установлено, что течь находится в основной части системы, то прежде всего необходимо проверить наиболее вероятные места течи, например фланцевые уплотнения. Если в этих местах течи нет, то в зависимости от давления в системе надо воспользоваться одним из описанных ранее способов определения течи. Ясно, что пользоваться в этом случае ионизационным манометром или мано-мет )Ом Кнудсена для определения давления невозможно. При обдувании такими газами, как метан, пропан или гелий, можно использовать теплоэлектрический манометр. Система также может быть проверена различными вариантами метода давления. Как только давление по компрессионному манометру или манометру сопротивления снизится до 100 [лНд, можно включать пароструйный пасос. [c.243]

Проблема обратного потока паров масла обычно решается установкой ловушек на линии предварительной откачки. Они могут действовать либо за счет коденсации паров на поверхностях, охлаждаемых жидким азотом, либо за счет адсорбции на поверхностно-активных материалов. Устройство адсорбционной ловушки в линии предварительной откачки показано на рис. 3. Для восстановления адсорбционной емкости сорбирующего материала ловушка должна периодически прогреваться. Холлэнд с сотрудниками [13 14]. провели сравнительные испытания на откачку для сист< м с ловушка.ми различных типов. Они обнаружили, что без ловуи ки скорость обратного натекания оказалась порядка 10 г см- с . Ловушка на жидком азоте уменьшила скорость натекания до значения, меньшего 0,1% ее величины для случая отсутствия ловушки. Адсорбционные ловушки на основе окиси алюминия оказались лучшими сравнительно с ловушками на основе цеолита или гранул активизированного древесного угля. Они сокращают обратное натекание на 99%, уменьшая при этом на 10—20% быстроту откачки. Как оказалось, при использовании для поддержания рабочего режима диффузионного насоса вращательного масляного насоса, пары последнего достигают вакуумной камеры, распро- [c.182]

Величину В (л-мтор1сек) называют натеканием и относят к стандартным условиям внешнее давление 760 тор, проходящий газ — воздух. Натекание выражается скоростью роста давления при неработающих насосах. Натекание ограничивает предельный вакуум, достижимый в системе Р р = й/5, где 5 — быстрота откачки насосов в условиях динамического равновесия. [c.129]

Для измерения быстроты натекания очевидно необходимо, чтобы вакуумная система была снабжена манометром и надежным краном или вентилем, которым можно перекрыть сообщение между ова1куумной шстемой и насосом. [c.257]

Пример. В рабочем объеме вакуумной установки необходимо поддерживать устойчивое давление / , = 10- мм рт. ст. быстрота действия насоса 3 при давлениях 10- —10- мм рт. ст. равна 0,5 л/сек, пропускная способность трубопровода V =56 см 1сек. Определить максимально допустимую быстроту натекания. [c.260]

Методом дифференциального манометра сопротивления можио обнаружить натекание, происходящее с быстротой 1 10 мм рт. ст. см 1сек. [c.267]

Методом ионизационного манометра можно обнаружить негерметичные места с быстротой натекания до 1 10 мм рт. ст. см 1сек. [c.267]

Для оценки быстроты натекания (течи) получают предельный вакуум Р1 и изолируют вакуумную систему от насоса, закрьш затвор. Считая момент закрытия затвора начальным, через некоторое время т измеряют давление в вакуумной шстеме. Зная объем V вакуумной системы над затвором, быстроту натекания (Па л/с) определяют по формуле [c.80]

Справочник химика 21

Химия и химическая технология