Очистка силана

Площадь электродов может быть принята равной 0,5Р. При этом упрощаются заготовка электродов, их замена и очистка. Сила тока дол- [c.564]

Полупроводниковый кремний, получаемый из силана, не должен содержать некоторых примесей, например бора, в количествах больших, чем 10 %. Все это делает проблему очистки силана весьма сложной. Независимо от дальнейшей очистки силан обычно подвергают низкотемпературной ректификации при атмосферном или пониженном давлении [24, 99, 100]. [c.553]

Эффективная очистка силана от фосфина и арсина достигается при помощи экстрактивной ректификации с применением в качестве разделяющего агента триэтоксисилана [101]. Этот растворитель выбран потому, что коэффициенты разделения для пар [c.553]

Приемы, позволяющие предотвратить загрязнение силана дибораном в процессе восстановления галогенидов кремния гидридами, описаны выше. Разработан ряд специальных способов очистки силана от диборана. Примесь диборана разрушается уже при добавлении следов воды [102]. При получении кремния пиролизом силана 0,1—1,0% воды подают в зону разложения. Соединения бора удаляются при пропускании чистого силана или в смеси его с аммиаком над Na-цеолитом [103]. На цеолит рекомендуют наносить металлический натрий и пропускать через него силан при 370—400° С [104]. [c.554]

Опыты проводились на колонне с питанием сверху. Было установлено, что с повышением температуры в низу ко.тонны в зоне отбора (куб полного испарения) и при увеличении скорости отбора эффективность очистки силана возрастает, последнее на первый взгляд является пародоксальным. Авторы объясняют эти факты тем, что при малой скорости отбора содержащиеся в сила-не примеси (спирт, триэтоксисилан, тетраэтоксисилан) могут достигать таких концентраций в зоне отбора, когда вполне реальной становится их конденсация в паровой фазе с образованием аэрозоля. На примере примеси тетраэтоксисилана авторами показано, что действительно в ходе процесса имеют место различные формы ее существования в парообразном силане в зависимости от концентрации и температуры среды. [c.135]

В литературе имеются сведения о сорбционной очистке силана и некоторых других гидридов [2]. На основании литературных данных можно сделать вывод, что основные затруднения при разработке методики сорбционной очистки заключаются в малой термической стойкости гидридов и значительной сорбционной емкости сорбентов по отношению к основному компоненту. Кроме того, промышленные сорбенты, вследствие их невысокой механической прочности, загрязняют гидриды нелетучими примесями. [c.75]

Довольно часто эффекты электроочистки сочетаются с гравитационными (рис. 81) и центробежными (рис. 82), силами. Это позволяет интенсифицировать процессы очистки. Силы гравитации используют практически во всех конструкциях электрогидрататоров. Большинство электрогидрататоров оборудуют сборниками отстоя. Устройство, сочетающее электрическое и центробежное силовое поле, представляет собой центрифугу непрерывного действия. Ротор центрифуги изготовлен из диэлектрика. При трении ротора о накладки, изготовленные из стеклоткани, войлока, возникает потенциал, создающий электрическое поле. Это поле действует совместно с центробежным и эффективно очищает нефтепродукты от загрязнений. В роторе имеется внутренний стакан для тонкослойного центрифугирования. Неоднородность электрического поля создается кольцевыми выступами и пазами на внутренней поверхности ротора. [c.281]

Очистка силана от диборана достигается также при пропускании силана над никелем Ренея или платиной при обычных температурах. В этих условиях диборан разлагается почти полностью, а силан лишь в незначительной степени [108]. [c.554]

Очистка силана от диборана и гидридов элементов V группы может быть проведена пропусканием его через раствор натрия в аммиаке (табл. XIII. 4) [109]. [c.554]

С целью получения кремния высокой чистоты изучались способы приготовления и очистки силана ЗШ и его термическое разложение. Количественный выход силана был получен при восстановлении тетрахлорида кремния алюмолитиевым гидридом. Процесс термической диссоциации силана оценивался по чистоте получаемого кремния и скоростям разложения и осаждения. Разложение силана проводилось на индукционно нагреваемом монокристалле кремния. Осажденный микрокристаллический кремний высокой чистоты подвергали нейтронному активационному анализу. [c.24]

Наиболее эффективная очистка силана осуществлялась методом химической абсорбции. При выборе абсорбента необходимо учитывать его кислотные и основные свойства. Молекулу силана можно считать нейтральной, гидриды элементов П1 группы (ВгНб) — кислыми, а гидриды элементов V группы (РНз) —основными. Атом кремния имеет больше четырех связывающих орбит, и поэтому некоторые из четырехвалентных соединений кремния подвержены нуклеофильному действию сильных оснований. В связи с этим для очистки от диборана путем абсорбции в качестве абсорбента необходимо подобрать основание, по отношению к которому силан будет устойчив. [c.30]

Для очистки силана может быть использована его относительная термическая стойкость по сравнению с гидридами примесей. Несмотря на то что термин температура разложения не является вполне приемлемым по отношению к изученным соединениягМ, в табл. 4 приведены приблизительные температуры, необходимые для осуществления быстрого разложения гидридов. [c.31]

Повышение температуры приводит к уменьшению или исчезновению области существования аэрозоля, что, по-видимому, и обусловливает большую глубину очистки силана. Увеличение же скорости отбора соответствует более быстрому удалению концентрата взвешенных частиц, вследствие чего эффективность очисткп также повышается. Разумеется, отсюда никоим образом не следует делать вывод о том, что очистку веществ от таких частиц всегда следует проводить при больших скоростях отбора. [c.135]

Справочник химика 21

Химия и химическая технология