Вакуумные соединения и натекатели

Вакуумные соединения и натекатели [c.243]

Дозирование потоков в диапазоне 10 —2 мЗ-Па/с. Напуск газа (см. рис. 12.3) в вакуумную систему осуществляется с помощью натекателя 5, соединенного шлангом 3 с верхним концом бюретки 2. К верхнему концу бюретки припаивается также стеклянный кран /, соединяющий бюретку 2 и натекатель 5 с атмосферой. Нижний конец бюретки погружен в стакан 4 с вакуумным маслом. [c.243]

Коммутирующие элементы, включающие краны, затворы, клапаны, натекатели, трубопроводы, предназначены для соединения отдельных частей вакуумной системы со средствами откачки и выбираются в соответствии с требованиями по предельному давлению в вакуумной системе и в зависимости от степени автоматизации откачного оборудования. [c.263]

Как уже отмечалось, создание вокруг изделия 15 области с пониженным давлением (откачка по системе вакуум в вакууме ) предотвращает окисление внешней поверхности при нагреве изделия во время его обезгаживания и значительно снижает скорость проникновения газов из окружающей среды в стенки прибора и его внутреннюю полость. Давление в колпаке измеряется манометрическим преобразователем И. Напуск атмосферы в колпак перед его подъемом производится через электромагнитный клапан-натекатель 10. Предварительная откачка изделий осуществляется через кран 7, присоединенный к механическому вакуумному насосу 14 откачивающему колпак. По достижении заданного предварительного разрежения в изделии 15 кран 7 закрывается, и открывается высоковакуумный кран 3, который сообщает полость изделия с высоковакуумным насосом 1, снабженным маслоотражателем 4. Выпускной патрубок насоса 1 через электромагнитный клапан 6 соединен с механическим вакуумным насосом 2. Клапаны 12 и 13 служат для напуска атмосферного воздуха в насосы 2 я 14 после их выключения. Для измерения давления предусмотрены манометрические преобразователи 9 п 11. [c.267]

Схема экспериментальной установки показана на рис. П. Вакуумная камера представляет собой цилиндрический стальной резервуар высотой 350 мм и диаметром 415 мм. Цилиндр закрывают стальными крышками с резиновыми прокладками. Камеру обогревают электрическим нагревателем, который позволяет получить температуру воздуха в камере в пределах от 20 до 100° С. Снаружи камеру покрывают теплоизоляцией. В верхней крышке имелось стеклянное окно диаметром 150 мм, через которое происходила регистрация изменения массы исследуемого тела. В этой крышке были отверстия с уплотняющими втулками для соединения с вакуум-насосом, манометрами, вакуумметром, натекателем воздуха и измерителями температуры (отверстие для проводов термопар). Через отверстие в нижней крышке вводили ось, ко- [c.119]

Выбор конструктивных элементов (вентилей, затворов, натекателей, вакуумных вводов и соединений и т. п.). [c.494]

Регулируемый натекатель (рис. 6-114) содержит стеклянную трубку 1, нижний конец которой запаян второй конец трубки соединен с вакуумной системой, в которую нужно напустить газ. На трубке имеется продольная трещина 2. Трубка 1 герметично соединена с трубкой 3 с помощью притертого шлифа или резиновой прокладки. Трубка 3 заполняется ртутью, причем уровень последней может изменяться путем сжатия резинового контейнера 4 с помощью зансима 5. Газ поступает через отросток 6 и заполняет пространство между трубками 1 л 3. Когда ртуть опускается так, что над ее поверхностью оказывается часть трещины 2, то через последнюю напу-скае.мый газ проникает внутрь трубки 1, причем скорость натекания зависит от длины участка трещины, расположенного над уровнем ртути. [c.399]

Рабочая камера 1 выполнена в виде цилиндрического колпака из нержавеющей стали со смотровыми окнами 2, краном для напуска воздуха — натекателем 4 и манометрами 5 для измерения давления. Этот колпак устанавливается на базовой плите, через которую проходят все пророда от колпака. Вакуумно-плотное соединение рабочей камеры с базовой плитой достигается с помощью прокладки 7 из эластомера, обладающего незначительным газовыделением. [c.7]

Вся установка смонтирована на сварном каркасе, закрытом легкосъемными кожухами. В качестве рабочей камеры установки используется вакуумный колпак объемом 0,12 м , выполненный из нержавеющей стали. На наружной поверхности колпака имеется змеевик, предназначенный для охлаждения и прогрева его соответственно холодной или горячей водой. Подъем колпака осуществляется при помощи гидравлического механизма вакуумноплотное соединение основания колпака с базовой плитой достигается с помощью резиновой прокладки. На колпаке размещены два смотровых окна, игольчатый натекатель и кран для напуска воздуха. На базовой плите размещены карусель испарителей на пять позиций, заслонка с электромагнитным приводом и высоковольтный ввод. К базовой плите подсоединяется откачная вакуумная система. В случае необходимости в рабочем объеме установки могут быть размещены карусели подложек и масок, электроды ионной очистки, нагреватели подложек и др. Для этой цели на колпаке предусмотрены подсоединительпые фланцы, а на базовой плите — резьбовые гнезда для крепления стоек. [c.269]

Термодиффузионный натекатель водорода [ЭЗ] основан на термической диффузии водорода через палладиево-серебряный сплав (рис. 29,6 ). Из этого сплава изготовлена диффузионная трубка 6 с толщиной стенки 0,1 мм. Трубка 6 припаяна к стеклянной трубке 1 через коваровый переход 2. На трубку б надета кварцевая трубка 10 с вольфрамовым нагревателем 12, выводы которого через спаи 5 и >5 подсоединены к блоку электропитания. Стеклянный баллон Н соединен с вакуумной системой через выводную трубку 4. Термическое удлинение трубки 6 компенсируется стеклянной пружиной V. Водород, поступивший в термодиффузионный натекатель, циркулирует через него к выходу и через трубку 6 в вакуумную систему. [c.102]

Температура образцов измерялась микропирометром. При этом вводилась поправка на поглощение излучения стенкой реактора. Для вакуумирования реактора и наполнения его исследуемой газовой смесью использовался вакуумный блок, состоящий из форвакуумного и диффузионного насосов, измерительной системы, гребенки с различными газами. В качестве исходного вещества для получения карбида кремния применялся метилтрихлорсилан, который хранился в кювете, соединенной с вакуумной системой. Перед опытом метилтрихлорсилан замораживался жидким азотом и неконденсирующий остаток скачивался. Водород, используемый в экспериментах, очищался пропусканием через палладиевый натекатель. [c.28]

Справочник химика 21

Химия и химическая технология