Напуск газа в вакуумную систему

Устройства для напуска газа в вакуумные системы (натекатели) [c.347]

Устройства для напуска газа в вакуумные системы (натекатели). .......... [c.430]

ВАКУУМНАЯ СИСТЕМА ГАЗОАНАЛИЗАТОРА И СИСТЕМА НАПУСКА ГАЗА [c.61]

Затравочный алмазный монокристалл крепился игольчатыми рениевыми держателями и помещался внутрь шарового кварцевого реактора, в который после вакуумной тренировки напускался углеродсодержащий газ. Оптическая система регулировалась таким образом, чтобы кристалл находился в фокальном пятне установки, размер которого был больше кристалла. За поверхностью монокристалла во время опыта можно было наблюдать в микроскоп. Его средняя температура измерялась с помощью оптического пирометра во время пауз освещения. В качестве углеродсодержащего газа в основном использовался метан, а также этан, гексан и октан. Затравками служили природные двойники алмаза, ограненные плоскостями (111). [c.104]

Все рассмотренные положения относились к установившимся системам, в которых давление в каждой точке системы не изменялось во времени. Однако в вакуумной технике не меньшее значение имеют расчеты времени откачки системы или времени повышения давления до заданного значения при напуске в нее газа. В такие периоды давление в любой выбранной точке системы непрерывно изменяется. Зная закономерности откачки газа из системы, можно подсчитать продолжительность откачки и в зависимости от этого выбрать соответствующие средства откачки. Далее под названием насос подразумевается насос любой конструкции или ловушка, или отверстие, характеризующиеся скоростью откачки 5] при давлении у входа в насос рь Если в камере находится газовая смесь, то рассуждение следует вести для парциального давления рассматриваемого газа. Пусть пропускная способность трубопровода равняется Ь S — скорость откачки у входа в откачиваемый объем р-—давление в этом объеме ро—предельное давление, до которого может происходить откачка. Величина ро зависит от типа применяемого насоса и от натекания во всей системе. Натекание происхо-.дит через неплотности в аппаратуре, а также за счет десорбции внутренних поверхностей и выделения воздуха из жидкостей и твердых тел, находящихся внутри вакуумной системы. [c.59]

Напускная часть вакуумной системы предназначена для понижения давления анализируемого газа перепуском его из малого объема переходной трубки в значительно больший объем баллона напуска, откуда газ подается в источник ионов. Эта часть состоит из двух одинаковых ветвей, по которым в источник ионов напускаются исследуемая проба и эталонное вещество, что позволяет точно анализировать компенсационным методом малые вариации изотопного состава газов. [c.16]

Вакуумная система стойки состоит из форвакуумного и диффузионного насосов, приборов для измерения давления на различных участках, подогревателей, системы быстросъемных ампул и ряда других вспомогательных узлов. Внешний вид и габаритные размеры стойки напуска тяжелых веществ в основном те же, что и у стойки напуска газов. [c.17]

Масс-спектрометр используют не только для обнаружения течи, но и во многих других областях, например для изучения газов при очень малых давлениях. Масс-спектрометр секторного типа представляет собой удобную конструкцию, широко] используемую для решения различных задач [915]. Например, изучение диффузии гелия через стекло [1522], обезгаживание металлов [887]. Условия работы и системы напуска, позволяющие работать с очень малыми количествами образца, были описаны в гл. 5. Однако во многих случаях более пригодны другие типы масс-спектрометров. Эдвардс [568] рассмотрел применение различных типов масс-спектрометров в исследованиях высокого вакуума. В некоторых случаях большими преимуществами обладает омегатрон благодаря высокой чувствительности в сочетании с малыми размерами, простой конструкцией и возможностью работы при высокой температуре. Это делает его пригодным для исследования вакуумной аппаратуры, в которой Возможна высокая температура. Альперт и Бюритц [40] использовали омегатрон в качестве манометра для измерения давления (чувствительность сопоставима с чувствительностью ионизационного манометра) при исследовании остаточного давления, которое может быть получено в стеклянной аппаратуре. Омегатрон имеет то преимущество, что при его помощи можно провести анализ остаточных газов, причем вакуум ограничивается диффузией гелия через стеклянные стенки системы. Это было сделано в изолированной вакуумной системе. В исследуемом спектре остаточный пик гелия увеличивался с течением времени, а пик, отвечающий азоту, не изменялся. Альперт и Бюритц получили для Не ток 2-10 а, соответствующий парциальному давлению гелия 5-10 мм рт. ст. Омегатрон использовали также при очень низких давлениях для определения веществ, образующихся в вакууме при работе масляных диффузионных насосов, с целью установить, состоит ли остаточный газ из продуктов десорбции или образован при разложении масла диффузионных насосов [1676], При помощи этого прибора измерялось также выделение кислорода с поверхности, покрытой окислами бария, стронция и магния, под действием бомбардирующих электронов, как функция энергии и плотности бомбардирующих электронов [2125]. Из полученных результатов следовало, что имеет место двухступенчатое электронное возбуждение твердых веществ, связанное с диссоциацией. Некоторое количество кислорода выделяется при очень низких энергиях электронов, вероятно, благодаря десорбции. [c.496]

ОБЩЕЕ ОПИСАНИЕ ВАКУУМНОЙ СИСТЕМЫ И СИСТЕМЫ НАПУСКА АНАЛИЗИРУЕМОГО ГАЗА [c.61]

На рис. 4.2.1 приведена блок-схема масс-спектрометрического прибора 3-5]. Назначение первых двух элементов этой схемы и натекателей — создание направленного пучка ионов с минимальными углом расхождения и разницей энергии для ионов с данным отношением т/е. В анализаторе сформированный ионный луч тем или иным способом разлагается на составляющие по т/е, интенсивность которых затем и регистрируется. Рабочее давление во всех этих блоках прибора различается на много порядков величины, и для обеспечения нужных давлений служит вакуумная система. При этом рабочее давление в системе напуска колеблется в диапазоне 1,5 ч-350 Па, давление в ионном источнике не превышает 1,5 мПа, а в анализаторе и приёмнике ионов — 0,15 мПа. Кроме того, при подготовке прибора для проведения анализа ионный источник, анализатор и приёмник ионов откачиваются до остаточного давления 1,5-ь 15 мкПа (часто — с прогревом ) для минимизации последующего рассеяния пучка ионов и фона прибора от остаточных газов. Натекатели 6 обеспечивают контролируемую скорость подачи газа в ионный источник и анализатор. При этом по типу натекателя, установленного между системой напуска и ионным источником приборы подразделяются на химические (отечественная маркировка — МХ) и изотопные (МИ). В приборах типа МХ реализуется молекулярный режим натекания газа, когда скорость натекания компонентов газовой смеси не зависит от её состава, в приборах типа МИ — вязкий режим, при котором скорость натекания компонентов смеси зависит от её вязкости и, следовательно, состава. [c.90]

Для проверки чувствительности течеискателя предусмотрена калиброванная гелиевая течь 14, которая подсоединяется к вакуумной системе через кран 13. Кран 10 служит для напуска газа в систему при выключении насоса 9 или вскрытии камеры 1. [c.259]

Вакуумная система (рис. 1) состоит из стандартных элементов ловушки, охлаждаемой жидким азотом, термопарной манометрической лампы, кранов К1 — для соединения системы с форвакуумным насосом и напуска воздуха в него и К2 — для напуска инертного газа в камеру. Остаточное давление в рабочем объеме при охлаждении ловушки жидким азотом составляло 1,3-10- Па. Для отбора проб газообразных продуктов, выделяющихся из образца в процессе нагрева, используются ампулы, соединяющиеся с вакуумной системой краном КЗ. [c.91]

Методика разрабатывалась на хроматографе Цвет-102 с двумя детекторами — пламенно-ионизационным (ДИП) и катарометром. Пробы вводились с помощью вакуумной системы напуска. Для предотвращения адсорбции система обогревалась нагревателями электросопротивления. Дозирование осуществлялось с помощью ртутного манометра. Газом-носителем при работе с ДИП был азот, очищенный от кислорода до 4-10 4 % об. и влаги до % об. [2] при работе с [c.56]

Газохроматографический анализ проводили на установке, схема которой приведена в работе [5]. Образец вводился в хроматографическую колонну Е виде пара с помощью вакуумной системы ввода проб, которая при анализе бромида кремния обогревалась. Газом-носителем служили водород или азот, тщательно осушенные от влаги на молекулярных ситах. Детекторы—ионизационно-пламенный, термоионный и катарометр. Масс-спектрометрические измерения проводили иа масс-спектрометре МИ 1305 с термостатируемой стеклянной системой напуска [6], которая перед анализом промывалась исследуемым образцом. [c.61]

Методика аиализа разрабатывалась на хроматографе серии Цвет-100 , переоборудованном для работы с гидридами. Для ввода проб применялась вакуумная система напуска [6]. Дозирование проб осуществлялось с помощью ртутного манометра. В качестве газа-носителя использовался азот, предварительно осушенный и очищенный от кислорода, пли гелий высокой чистоты (при работе с пироэлектрическим детектором). Во всех случаях скорость газа-носителя поддерживалась равной 30 мл/мин. Хроматографические колонки изготовлялись пз трубок молибденового стекла с внутренним диаметром 4 мм. [c.72]

Основными элементами вакуумной системы термоядерного комплекса, например, крупнейшего в мире отечественного комплекса со сверхпроводящей обмоткой тороидального магнитного поля -токамака Т-15 являются разрядная камера, криостат, инжекторы быстрых нейтральных атомов и блоки откачки. В вакуумный тракт входят также элементы систем ВЧ-нагрева плазмы, напуска газа, криогенный и диагностический комплексы [2, 3]. Для формирования плазменного шнура и локализации областей взаимодействия плазмы со стенками внутри тороидальной разрядной камеры установлены подвижные и неподвижные диафрагмы из графито-содержащих композиций. [c.56]

Газы и жидкости с высоким давлением пара при комнатной температуре можно вводить в масс-спектрометр через холодную систему напуска, устройство которой показано на рис. 3.1. Образец вводят в следующей последовательности. Анализируемое вещество помещают в контейнер 2, который через вакуумное уплотнение присоединен к системе ввода. Контейнер охлаждают сухим льдом или жидким азотом. При перекрытых кранах 5 и 5 и открытых кранах 4, 6и7 создают высокий вакуум в резервуаре 1 и в канале между кранами 6 и 8. Перекрывая кран 7, отключают систему от вакуумной откачки. Затем открывают краны 4, 6 и 8. При этом исследуемое вещество в газообразном состоянии перетекает из контейнера 2 в резервуар 1. Применяют резервуар емкостью от 100 мл до 3 л. Резервуар большого объема необходим при длительной записи масс-спектра, чтобы поддерживать постоянное количество вещества, поступающего в ионный источник. Натекание вещества из резервуара 1 в ионный источник происходит при открытом кране 5. Для медленной подачи вещества из резервуара 1, где его давление составляет -10 торр, в ионный источник, где давление равно -10 торр, а также для поддержания в ионном источнике высокого вакуума применяют молекулярный натекатель 3. Обычно молекулярный натекатель - это металлическая фольга с отверстиями в несколько микрон. Часто используют фольгу из золота. [c.38]

В зависимости от свойств исследуемого вещества применяются три типа мишеней конденсационные, жидкостные и твердые. При работе с сильнолетучими веществами используются конденсационные мишени, которые приготавливаются в самом ВЭИ-источнике путем конденсации паров исследуемого вещества на охлажденную подложку. Если для исследования берется достаточно чистое вещество, то основным источником загрязнений мишени будут конденсирующиеся компоненты остаточного газа вакуумной системы. Степень загрязнения мишени в этом случае в основном определяется соотношением концентраций молекул исследуемого вещества и конденсирующихся молекул в остаточном газе. При исходном вакууме 10 Па и напуске паров исследуемого вещества до давления 10 Па (вода, аммиак, легкие спирты, бензол и др.) заметных загрязнений мишени не происходит. Этим способом могут быть приготовлены мишени, представляющие собой смесь нескольких веществ. Для этого в ВЭИ-источник напускается газовая смесь нужного состава. При этом надо иметь в виду, что не во всех случаях состав конденсационной мишени будет адекватно отражать состав газовой смеси вследствие различной скорости конденсации компонентов и возможной их кристаллизации, обусловливающей негомоген-ность пленки. [c.183]

Схема манометра Бурдона 1-нссле-дуемое в-во, 2- карманы для термопар, 3-серповидная мембрана, 4-шток, 5-указатель нулевого тюложе-ння, 6-К вакуумной системе, 7-напуск компенсирующего газа, 8-трубка для загрузки образца, 9-место перепайки под вакуумом [c.521]

Ионизованные молекулы и атомы по их массам разделяют в масс-спектрометре, схема основных узлов которого приведена на рис. 12.1. Он состоит из устройства для ввода пробы 1, в которое газы вводят непосредственно, а жидкости испаряют заранее или в приборе. Задача системы напуска заключается во вводе такого количества газообразной пробы, чтобы обеспечить давление 10" —10" мм рт. ст. в ионном источнике 2, где молекулы иониз1фуются. При ионизации электронным ударом электроны испускаются раскаленньпй катодом, соударяются по пути к аноду с молекулами введенного вещества и часть этих молекул электроны ионизуют. Образующиеся ионы выводятся из зоны ионизации, ускоряются электрическим полем и одновременно фокусируются в пучок (узел ускорения и фокусировки ионов 3). Нейтральные молекулы удаляются вакуумным насосом. Все узлы прибора находятся под высоким вакуумом (вакуумная система 4), который обеспечивает необходимую длину свободного пробега ионов. Поток ускоренных ионов попадает в масс-анализатор 5, где ионы разделяются по массе. Разделенные пучки ионов затем попадают в детектор б, где ионный ток преобразуется в электрический сигнал, который усиливается усилителем 7 и обрабатывается ЭВМ 8. [c.365]

В игольчатом затворе нужная величина пропускной способности устанавливается с помощью рычажного устройства. Для точной регулирсвки величины пропускной способности рекомендуется последовательно соединить два ггольчатых затвора, расположив между ними небольшой промежуточный объем. Это дает возможность избежать затруднений, связанных с явлением гистерезиса. Это явление часто возникает при использовании игольчатого затвора для регулирования потоков газа весьма малой величины (З- Ю- л-мкм рт. ст. сек). При применении двух последовательно соеди ненных затворов один из них устанавли вают па более зысокое значение пропуск ной способности, чем это необходимо тре буемая величина натекания устанавливает ся с помощью второго затвора. Этим способом возмокно напускать газ внутрь вакуумной системы при давлении 10 — 10" мм рт. ст., причем воспроизводимость величины образующегося внутри системы давления поддерживалась в пределах 10—20%. [c.406]

Диффузионные иатекатели. Для напуска некоторых газов в тщательно откачанные вакуумные системы могут использоваться так называемые диффузионные на-текатели, принцип действия которых основан на явлении проницаемости газов. В табл. 6-32 приведены данные о скорости диффузии различных газов через перегородки из различных материалов. В этой таблице коэффициент диффузии О представляет собой количество газа (в см при нормальных условиях), которое протекает за одну секунду через перегородку с поверхностью [c.407]

При работе на газоаналитическнх масс-спектрометрах чаще всего применяют динамический режим. Анализируемый газ напускают в трубу масс-снектрометра с постоянной скоростью и с такой же скоростью откачивают. Равновесное давление в ионном источнике определяется скоростью откачки и вакуумным сопротивлением напускной системы. Тако11 метод работы требует сравнительно большого количества анализируемого газа, однако он имеет то преимущество, что непрерывная откачка трубы масс-спектрометра удаляет газы, выделяющиеся из стенок вакуумной системы. Олдрич и Нир [7] при исследовагми отношения Не/ Не в гелии заменили форвакуумный насос ловушкой с углем и получили возможность очищенный таким путем гелий вновь направлять в ионный источник масс-спектрометра. Такой квазистатический метод работы увеличил эффективную чувствительность прибора примерно в 100 раз. [c.497]

Рис. 10. Стойка напуска газио I — вентили вакуумной системы 2, 4 — пульты управления 3 — ртутный манометр 5 — блок измерения давления 6 — щиток предохранителей 7 — форвакуумный насос

На рис. 11 представлены схемы кювет для исследования адсорбции при низких температурах. Кювета, использованная Шеппардом и Йейтсом (1956) и приведенная на рис. И, а, изготовлена из металла. Тяжелый медный блок i, в котором имеется цилиндрический образец из пористого стекла, присоединен к охлаждающему сосуду Дьюара. Кювета может разбираться с разъединением конического шлифа 3 для введения образца. Через охлаждающие рубашки 4 циркулирует вода для предотвращения образования льда на кювете при проведении эксперимента при низкой температуре. Кювета присоединена к вакуумной системе через трубу 2, которую используют также для напуска адсорбирующихся газов. К кювете прикрепляются окошки из Na l. [c.51]

Вводные замечания. С точки зрения интенсивности газовых нагрузок вакуумные системы разделяются на закрытые и открытые. К закрытым системам относятся те, в которых не происходит напуска газов извне во время проведения технологического процесса (например, в откачных постах при обезгаживании электровакуумных приборов). Обычно закрытые системы характеризуются необходимым достигаемым предельям давлением. [c.138]

УСТРОЙСТВА ДЛЯ НАПУСКА ГАЗА В ВАКУУМНЫЕ СИСТЕМЫ 1ИАТЕКАТЕЛИ) [c.346]

Конструкция детектора представлена на рис. 2. На керамической пластинке 5 укреплена камера ионизации 4 и держатели катода 8. Последние ориентированы таким образом, чтобы катод располагался против щели в камере ионизации. Вакуум-плотные электровводы 6 изолированы от фланца 11 стеклом. Трубка для напуска газа 7 приварена к фланцу и подводится к камере ионизации через отверстие в пластинке 5. Коллектор 3 укреплен на вакуум-плотном выводе 1, который изолирован от корпуса стеклом. Детектор соединяется с вакуумной системой вакуум-плотным разъемом 9. В вакуумную систему детектора входят ртутный диффузионный насос ДРН-10, форнасос ВН-461 и система вакуумных вентилей и соединений. [c.49]

Приготовление образцов для крекинга бутана. Чтобы избежать каких-либо пере-иощений катализатора и его контакта с влагой, активирование проводилось в специально сконструированном реакторе (рис. 10). Этот реактор представлял собой кварцевую и-образную трубку 1. Одна сторона ее, предназначенная для катализатора 2 (диаметр 15 мм, длина 40 см), имела внизу небольшое сужение для поддерживания катализатора и сверху присоединялась к крану, запирающему трубку 3. Другая сторона трубчатого роактора 4 (диамэтр 7 мм, длина 35 см) присоединялась к крану с коваровыМ спаем для напуска газа 5. На дно трубки для катализатора помещали немного кварцевой ваты в, на нее насыпали 10 г катализатора в таблетках (диаметр 3 мм, толщина 4,5 мм), и присоединяли реактор к вакуумной системе. Одна серия цеолитов LaY и NaY активировалась в вакууме 16 час при 550°С, а другие образцы LaY и NaY после такой же активации нагревались еще 2 час нри 700 С. Как и в предыдущем случае, активировали контр ольпые [c.123]

Проведение опытов по крекингу и изомеризации бутана. Реактор со свежим активированным катализатором отъединялся от вакуумной системы и помещался в печь, нагретую до 450°С. Коваровый переход на входе реактора присоединялся при помощи свагелоковской арматуры через трубку из нержавеющей стали к измерителю скорости тока газа, предохранительному клапану, барботеру с силиконовым маслом и осушительной трубке со свежеактивированным цеолитом 13Х для удаления воды из впускаемого бутана. Пока система напуска полчаса промывалась бутаном через предохранительный клапан, кран па входе в реактор оставался закрытым. Затем газ медленно напускали в реактор, регулируя его приток входным краном и наблюдая за бар-ботером, так чтобы давление в реакторе медленно поднялось до атмосферного. Закрыв предохранительный кланан, создавали в реакторе небольшое избыточное давление и, открывая кран па выходе из реактора, устанавливали скорость потока см 1мин. [c.124]

Нами разработан газохроматографический анализ тетрахлоридов кремния и германия, трихлорида фосфора и трибромида бора на содержание примесей органических и неорганических веществ. Анализ проводился по методике, описанной в [1]. Осушка газа-носителя производилась путем фильтрации от кристаллов воды через фильтр из ткани Петрянова ФПП-0,5-25 [2]. Ввод образца в газохроматографическую колонку осуществлялся пз ампулы посредством вакуумной системы напуска, выполненной нз стекла и фторопласта либо через испаритель микрошприцем, приспособленным для агрессивных веществ. Объем пробы составлял 1 —10 мкл и для вакуумной системы 40— 200 мм рт. ст. при объеме дозы 1мл. Детекторами служили катарометр, ионизационно-пламенный детектор, электронозахватный детектор и термоионный детектор поверхностной ионизации. Основной компонент отводился помимо детектора переключением кранов или связывался с комплексообразователями в предварительной колонке. Для лучшего хроматографического разделения примесей были подобраны колонки, заполненные силиконами Е-301 или СКТФТ-50Х в количестве 10—20% на хроматоне К-АШ-НМ05. Идентификация примесей осуществлялась совместным применением газохроматографического и ИК-спектроскопи-ческого методов анализа. [c.66]

Установка включает накатную и раскатную камеры 9 и 1), шлюзовые устройства 5 и 5), камеры активации (2) и прививки 4, 7). Разряд возбуждается на частоте 22 кГц с помоп] ью многоэлектродной системы. Необходимое давление в реакторе обеспечивается системой откачки и напуска газов, включаюп] ей вакуумные насосы 11, 10, баллон с (инертным) газом 12, источник паров мономера 6, расходомер 13, вауумные вентили 3 и датчики 2. [c.372]

Напыление геттерных пленок на корпус-анод в отдельных случаях нецелесообразно. К примеру, прт эксплуатации промышленно-технологического оборудования с частым напуском атмосферного воздуха геттерная пленка насыщается влагой и другими активными газами. Поэтому после каждой экспозиции вакуумной системы в атмосферном воздухе пленка должна подвергаться термическому обеэгаживанию. Однако иэ-эа большой массы корпуса его прогрев требует значительных затрат времени, что приводит к затягиванию технологического цикла и росту энергопотребления. [c.162]

Сравнительная оценка эксплуатационных характеристик насосов диодного и триодного типов позволяет сделать следующие вьшоды. Триодные насосы предпочтительнее при повышенных давлениях (5 10" Па и вьппе). При меньших давлениях более стабильны вакуумные параметры диодных насосов они имеют, в частности, больший ресурс в непрерывном режиме откачки. Триодные насосы целесообразно использовать в установках с частым напуском газа, а диодные — в сверхвакуумкых системах запуск диодных насосов при швы- шенных давлениях желательно сопровождать термическим напылением дополнительных геттерных пленок. Триодные насосы харак-. теризуются крайне слабым проязлением эффекта памяти по аргону даже после его длительной откачки и меньшей продолжительностью стартового периода. [c.195]

Развитие аналитических методов анализа вакуумных систем шло не только в направлении углубления и усложнения постановки традиционных задач вакуумной техники, таких как определение интегральных характеристик вакуумных систем, но и в направлении расширения спектра решаемых задач. С развитием криовакуумной техники актуальным стало изучение структуры намораживаемого слоя конденсата. А.М. Макаров сформулировал метод, позволяющий определять структуру намороженного слоя сконденсированного газа на криопанелях для различных типов источников напуска газа и геометрических характеристик системы. Полученные им соотношения позволяют быстро и без использования сложного математического аппарата получать информацию о структуре накопленного слоя. [c.19]

В результате решения второй задачи получены обширные данные по структуре пространственного распределения молекулярной концентрации и приведенного давления внутри системы вакуумной изоляции катушек тороидального поля ИТЭР, находящейся в существенно неравновесных условиях. Впервые для наиболее точного описания десорбционных процессов, формирующих газовую среду, была применена методика моделирования квазипостоянного напуска газа в систему. Полученные данные по структуре распределения молекулярной концентрации и приведенного давления переданы в команду проектировщиков ИТЭР, где они будут использованы для анализа целесообразности проведения структурной оптимизации конструкции вакуумной изоляции. [c.174]

Справочник химика 21

Химия и химическая технология