Игольчатый натекатель

Рис. 6-124. Различные типы игольчатых натекателей.

Для плавной регулировки напуска газа в систему при давлениях от атмосферного до 1 10 тор используют цельнометаллические дроссели (натекатели). Наибольшее распространение получили металлические игольчатые натекатели (рис. 7.12). Клапаны этих натекателей изготовляют из твердой инструментальной стали в виде длинной иглы конической формы с углом заточки 6°. Коническая поверхность клапана должна быть тщательно отполирована. Седло клапана обычно изготовляют из [c.417]

Рис. 6-123. Различные виды перекрывающих систем в игольчатых натекателях.

Например, для стабилизации давления кислорода применяют игольчатый натекатель с наружным расположением регулирующего элементу в виде проволоки из нержавеющей стали диаметром 1 мм Предварительная установка производится с помощью дифференциального винта так, чтобы обеспечить заведомо завышенную подачу газа. Управляющее напряжение от устройства стабилизации поступает на регулирующий элемент, который удлиняется, и игла перекрывает отверстие на необходимое время и в необходимой степени. Инерционность составляет 5 с. Управляющее напряжение мало (3 В) и безопасно для обслуживающего персонала [80]. [c.159]

Игольчатый натекатель 10-2—1,0 — См. разд. 6, 1-4 [c.403]

Игольчатый натекатель >6-10- = 10-4—10-6 Сильфонное уплотнение [c.403]

Игольчатый натекатель >10- — Седло из политетрафторэтилена [c.403]

Обнаружение места течи в водяных трубопроводах. Был опробован специальный метод поисков течи в водяных трубопроводах. Он заключается в том, что трубопровод наполняется гелием под давлением, а затем снаружи обнюхивается специальным щупом, представляющим собой игольчатый натекатель, присоединенный к вакуумному входу течеискателя посредством трехметровой вакуумной трубки. Эксперименты показали, что метод этот крайне чувствителен, точен и обеспечивает малое время установления отсчета и очистки. [c.242]

Игольчатые натекатели. В игольчатом натекателе имеется отверстие, которое закрывается конической иглой. По мере открытия вентиля увеличивается сечение кольцевого зазора между иглой и корпусом и изменяется количество газа, проникающего в вакуумную систему, Натекатели различаются способом уплотнения движущейся иглы. На фиг. 259, а уплотнение осуществляется за счет смазки резьбы, на фиг. 259, б игла перемещается вместе с резиновой диафрагмой, на фиг. 259, в показано уплотнение с резиновой прокладкой. В натекателе с сильфониым уплотнением, показанном а фиг. 259, г, игла, -имеющая угол заточки 6°, изготовляется из твердой инструментальной стали 1Х18Н9Т и тщательно полируется. Седло делается из мягкого материала, например свинца или красной меди. Плавное перемещение иглы осуществляется при помощи штока с дифференциальной резьбой. Ход штока за один оборот маховика вентиля составляет примерно 0,05 мм. [c.399]

Вакуумная система, изготовленная по схеме 2 табл. 14.4, используется в установках для производства многослойных тонкопленочных элементов микросхем методом ионного испарения материалов. В качестве основного средства откачки применен бустерный насос 16 с азотной ловушкой 17, который откачивает рабочую камеру 1 до давления 5-10 3 Па через затвор 19. Затем из смесительного бака 5, который может быть предва- рительно откачан через кран 8, с помощью игольчатых натекателей 2, 3 к 4 газ или смесь газов подается в рабочую камеру, и давление в ней возрастает до 15—5х Х10-1 Па. [c.288]

Конструкция игольчатого натекателя с ручным управлением по схеме 4 табл. 16.6 приведена на рис. 16.9. Поток газа регулируется погружением тонкой стальной закаленной конической иглы 10 с углом конуса 2° в отверстие медного седла 3. Перемещение иглы в осевом направлении осуществляется вращением гайки 9 с дифференциальной Рис. 16.9. резьбой, люфт в которой выби- натекатель. рается пружиной 5. В качестве [c.349]

Для напуска воздуха в вакуумную систему в регулируемых количествах применяются специальные вентили, так называемые натекатели. Игольчатый натекатель показан на фиг. 140, натекатель с резиновым уплотнением — на фиг. 141. [c.316]

Возможность введения контролируемого количества паров МОС в реактор может быть обеспечена при использовании игольчатого натекателя с точно регулируемым ходом. [c.190]

При получении тонких пленок из МОС, имеющих высокое давление паров уже при комнатной температуре, эти пары обычно вводят в вакуумную камеру через игольчатый натекатель с точно регулируемым ходом. [c.205]

Пример применения катодного распыления — нанесение покрытий из двуокиси кремния на поверхность полупроводниковых приборов [37]. Реактивное распыление кремния проводилось в атмосфере кислорода. Предварительно подготовленные кремниевые и германиевые пластины помещались сначала в шлюзовую камеру для их обезгаживания, которое производилось в течение 30 мин при давлении 5-10 мм рт. ст. После этого с помощью штока пластины вводились в рабочий объем, в котором создавалось давление 1-10" мм рт. ст. Далее через игольчатый натекатель в рабочий [c.241]

В любой вакуумной установке должны быть натекатели, с помощью которых газ может подаваться в систему. Игольчатые натекатели показаны на рис. 53. В таком натекателе отверстие закрывается конической углом. По мере открытия увеличивается кольцевой зазор между иглой и корпусом. В промышленных установках часто применяются натекатели с резиновой прокладкой. Конструкция такого натекателя показана на рис. 54. [c.134]

В связи с высокой упругостью паров СггОз и УгОз (0,1 — 0,001 Па) выращивание кристаллов граната, активированного указанными оксидами, обычно ведется под давлением. Конструкция установок СГВК, Сапфир позволяет вести процесс выращивания в атмосфере инертного газа до 1 кПа. Основные особенности технологии выращивания монокристаллов ИАГ с хромом в аргоноводородной среде, в отличие от вышерассмотренной технологии выращивания розового граната, заключаются в том, что процесс кристаллизации граната ведется в атмосфере аргон + водород (9 1) при давлении около 140 кПа. Камера наполняется указанной газовой смесью следующим образом. При вакууме порядка 0,001 Па рабочая камера заполняется аргоном до —80 кПа. Затем напуском водорода давление поднимается до —90 кПа и далее аргона — до 100 кПа. При подъеме температуры давление газа в камере возрастает. Прн повышении давления до 140 кПа избыток газа удаляется через игольчатый натекатель. [c.180]

Особым типом вакуумной регулирующей арматуры являются так называемые натекателн, с помощью которых производится напуск в вакуумную систему воздуха или другой среды. Напуск необходим для исследовательских целей, для измерения скорости откачки, а также перед разборкой системы и для других целей. Применяются игольчатые и мембранные натекатели. Игольчатый натекатель (рис. 4.3) представляет собой игольчатый сильфонный вентиль с малым углом конуса иглы (6°). Для плавного и точного перемещения иглы используется дифференциальная резьба, при помощи которой за один оборот маховика игла перемещается на [c.61]

Вся установка смонтирована на сварном каркасе, закрытом легкосъемными кожухами. В качестве рабочей камеры установки используется вакуумный колпак объемом 0,12 м , выполненный из нержавеющей стали. На наружной поверхности колпака имеется змеевик, предназначенный для охлаждения и прогрева его соответственно холодной или горячей водой. Подъем колпака осуществляется при помощи гидравлического механизма вакуумноплотное соединение основания колпака с базовой плитой достигается с помощью резиновой прокладки. На колпаке размещены два смотровых окна, игольчатый натекатель и кран для напуска воздуха. На базовой плите размещены карусель испарителей на пять позиций, заслонка с электромагнитным приводом и высоковольтный ввод. К базовой плите подсоединяется откачная вакуумная система. В случае необходимости в рабочем объеме установки могут быть размещены карусели подложек и масок, электроды ионной очистки, нагреватели подложек и др. Для этой цели на колпаке предусмотрены подсоединительпые фланцы, а на базовой плите — резьбовые гнезда для крепления стоек. [c.269]

Схема экспериментальной установки показана на рис. 3-3. К впускному отверстию комбинированной от-качпой системы, состоящей из крионасоса 2 и магниторазрядного насоса 1, присоединен коллектор, снабженный патрубками, в которых помещены датчики давления 5 6. Кроме того, к коллектору 10 присоединены датчик парциалыюго давления И и игольчатый натекатель 7. Давление у впускного отверстия комбинированной системы измеряется датчиком 3, установленным в патрубке на уровне шевронного антирадиационного экрана. Для выравнивания интенсивности потока газа по сечению на входе коллектора 10 п у впускного отверстия системы [c.119]

Уровень рабочего давления в камере стабилизируется и регулируется как изменением потока газа, напускаемого через игольчатые натекатели, так и положени- ем заслонки 20, изменяющей эффективную быстроту откачки рабочей камеры 1. [c.288]

Для плавной регулировки напуска газа в систему при давлениях от 760 до 1 10 мм рт. ст. используют цельнометаллические дроссели (натекатели). Наибольшее распространение получили металлические игольчатые натекатели, представленные на рис. 104 и 105. Клапаны этих натекателей изготовляются из твердой инструмен- [c.117]

Игольчатые натекатели. В игольчатом натекателе имеется отверстие, которое]закрывается конической иглой. По мере открытия вентиля увеличивается сечение кольцевого зазора между иглой и корпусом и изменяется количество газа, проникающего в вакуумную систему. Натекатели различаются способом уплотнения движущейся иглы. В натекателе с сильфон-ным уплотнением (рис. 441, г) игла, имеющая угол заточки 6°, изготовлена из твердой инструментальной стали Х18Н9Т и тщательно отполирована. Седло делают из мягкого материала, например свинца или красной меди. Плавное перемещение иглы происходит с помощью штока с дифференциальной резь- [c.505]

Справочник химика 21

Химия и химическая технология