Разложение алкоксисоединений

Исследованию механизма термического разложения алкоксисоединений кремния при осаждении пленок 8Ю из паровой фазы посвящены работы [84, 87]. [c.344]

Показано, что при сравнительно невысоких температурах разложения возможно осаждение полимерных пленок за счет неполного разложения алкоксисоединений и полимеризации образующихся радикалов. [c.344]

Образование полимерных кремнийорганических соединений на блюдается также при термическом разложении алкоксисоединений [c.128]

Образование углеводородов, спирта и ацетона при разложении алкоксисоединения указывает па то, что последнее претерпевает распад по связи О—Hg и С—Hg [c.9]

Свойства спиртовых растворов алкоксисоединений гафния аналогичны соответствующим соединениям циркония. Осаждение гидроокиси гафния и формирование пленок протекает быстрее. Окончательное разложение соединений гафния осуществляется только при температуре, не ниже 250° С. Пленки двуокиси гафния отличаются высокой прочностью и хорошей адгезией. [c.65]

При получении оловоорганических перекисей в качестве исходных веществ удобно применять алкоксисоединения олова [244—248]. Преимущество этого способа заключается еще и в том, что при получении солей гидроперекисей как исходных соединений, последние в ряде случаев подвергаются каталитическому разложению [383, 384]. [c.415]

Изучению диэлектрических свойств пленок двуокиси кремния, полученных термическим разложением в паровой фазе алкоксисоединений кремния, [c.344]

Для получения высокочистых окислов металлов успешно используется гидролитическое разложение их алкоксисоединений. Запатентован способ получения высокочистых окислов магния, алюминия и титана [35], описано [c.399]

IV. ТЕРМИЧЕСКОЕ РАЗЛОЖЕНИЕ И РЕАКЦИОННАЯ СПОСОБНОСТЬ РТУТЬОРГАНИЧЕСКИХ АЛКОКСИСОЕДИНЕНИЙ [c.7]

Термическое разложение и окисление ртутьорганических алкоксисоединений [c.8]

Такое отличие в поведении арильных алкоксисоединений ртути от алкильных производных обусловлено, по-видимому, тем, что для первых менее характерен процесс индуцированного разложения. В частности, для них реакция (12 6) невозможна. [c.10]

Термическим разложением алкоксисоединений часто получают также и аморфные пленки АЬОз. В зависимости от природы алко-ксигруппы эта реакция протекает при различных температурах. Например, пропилат алюминия разлагается при 420° С [158], эти-лат алюминия — при 550—800° С [176], а триизобутилат алюминия— при 250—500° С [177]. При термическом разложении алк-оксйсоединений алюминия получают смесь постепенно распадающихся соединений А1(0К)з-+A1(0R)20H + AI(OR) (ОН)г+ [c.39]

Для микроопределения алкоксильных групп в германийорганических соединениях Климова и сотр. [9] рекомендуют видоизмененный метод Цейзеля — Фибека. Анализируемое вещество нагревают с концентрированной иодистоводородной кислотой, образовавшийся иодистый алкил отгоняют и окисляют бромом в йодноватую кислоту, которую определяют иодометри-чески. Чтобы избежать употребления иодистоводородной кислоты, разлагающейся при хранении, авторы рекомендуют метод микроопределения алкоксильных групп, в котором для разложения алкоксисоединений применяют смесь иодистого калия с ортофосфорной кислотой (при нагревании образуется иодистоводородная кислота). [c.162]

Путем гидролиза МОС в растворе могут быть осаждены в высокочистом состоянии многие окислы металлов с субмикронпыми размерами частиц, которые находят применение в процессах изготовления керамики, ферритов и т. п. В качестве примера укажем на работы [175—177], в которых описано получение порошков окиси гафния и циркония, а также на патенты [153, 178—180], описывающие способ гидролитического разложения алкоксисоединений для получения высокочистых окисей магния, алюминия, иттрия и титана. Известно также получение высокочистых порошков соединений типа [c.390]

Исходя из термической устойчивости и летучести алкоксисоединений титана, циркония н гафния, для получения окиспых пленок разложением их в паровой фазе предпочтение следует отдавать соединениям с разветвленной цепью, содержащей не менее трех атомов углерода. [c.332]

Пиролиз алкоксисоединений кремния приводит при определенных условиях к образованию кремнийсодержащих радикалов, которые, будучи направленными на поверхность подложки, могут образовывать на ней сплошные окиспые покрытия с хорошей адгезией. Таким образом, хотя пиролиз обычно требует относительно высокой температуры, взаимодействие радикалов протекает при относительно низких температурах. Этот механизм допускает осаждение аморфных пленок двуокиси кремния при температуре подложки от 150 до 250° С [76—84]. Процесс проводится при пропускании крем-нийорганических соединений в токе инертного газа (аргон или азот) через нагретую трубку, оканчивающуюся соплом, из которого газ-носитель и продукты пиролиза в виде струи направляются на подложку, удаленную на 2 мм от сопла. Как и следовало ожидать из характера реакции осаждения, интервал условий, которые приводят к осаждению подходящих пленок, является достаточно узким и определяется в основном составом используемого соединения. Если температура разложения соединения слишком низка (ниже 650° С), пиролиз является неполным и могут осаждаться маслоподобные слои, состоящие из полимеризованных силанов. Пленки, получаемые при таких низких температурах, представляют собой органические полимеры кремния, которые, достигнув толщины свыше 2 мкм, растрескиваются, а при нагреве до 250° С и выше — отслаиваются от кремниевой подложки [84]. Если же температура разложения слишком высока (выше 750° С), полный пиролиз до двуокиси кремния протекает уже в газовой фазе, и на подложке осаждается белая порошкообразная пленка Si02 с плохой адгезией. Пригодные температуры пиролиза для ряда силанов приведены в табл. 8-9. [c.340]

Так как тетраэтоксицирконий не пригоден для осаждения из его растворов пленок двуокиси циркония ввиду его исключительно малой растворимости в обычных полярных растворителях, для этой цели предложено использовать дихлордиэтоксицирконий [148]. Окончательное разложение этого соединения происходит на подложке, нагретой до 250° С. Аналогичны в этом отношении и спиртовые растворы алкоксисоединений гафния, а пленки, полученные из них, отличаются высокой прочностью и хорошей адгезией. [c.390]

Ароксисоеяинения более стойки, чем алкоксисоединения разложение их начинается лишь при 280° и количественно протекает при 400° в атмосфере водорода. При этом происходит полное расщепление их молекул на соответствующий фенол и элементарный кремний [c.167]

Справочник химика 21

Химия и химическая технология