Метод ионного осаждения покрытий в вакууме

МЕТОД ИОННОГО ОСАЖДЕНИЯ ПОКРЫТИЙ В ВАКУУМЕ [c.125]

Эффективную противокоррозионную защиту оборудование обеспечивают покрытия, для получения которых могут быть использованы основные методы нанесения покрытий в вакууме катодное распыление, термическое напыление и ионное осаждение. Из них наиболее перспективным вследствие высокой эффективности защитного действия является метод ионного осаждения в вакууме. [c.125]

Метод ионного осаждения покрытий в вакууме основан на термическом напылении защитного металлического покрытия на защищаемую деталь в газовом разряде [70]. При этом обрабатываемая металлическая деталь (подложка) является катодом, испаритель — анодом тлеющего разряда. Металл, используемый в качестве покрытия (подложка), напревают любым методом электрическим, электронно-лучевым и др. Пары [c.125]

Ионное осаждение в вакууме позволяет получать почти беспористые покрытия толщиной порядка 1 мкм. Вследствие особенностей процесса ионного осаждения пористость, вызванную загрязнениями поверхности детали, можно регулировать либо вообще устранять. Низкая пористость ионных покрытий -связана также с тем, что атомы в осажденном покрытии имеют обычно плотную упаковку. Благодаря малой пористости по- крытия, полученные методом ионного осаждения в вакууме, имеют большую защитную способность, чем покрытия, полученные другими методами. [c.128]

Состав недиффузионных покрытий необходимо выбирать таким образом, чтобы обеспечить совместимость материала покрытия и основы при температурах эксплуатации, а также высокую адгезию покрытия с основой. Эти покрытия наносят методами химического осаждения из газовой фазы, а также различными методами напыления (пламенного, плазменного, детонационного). В последние годы развиваются методы электронно-лучевого напыления покрытий в вакууме, а также напыление различных элементов и соединений с использованием электрических и магнитных полей (ионно-плазменное, в том числе магнетрон ное, катодное напыление, нанесение покрытий в тлеющем и высокочастотном разряде и т. д.). При достаточно высокой температуре процесса часть напыленного покрытия может превратиться в диффузионное. [c.432]

Как было установлено, мищени из платины или сплава золота с палладием удовлетворяют требованиям обычной практики приготовления образцов для РЭМ. Можно использовать мищени из большинс-тва других благородных металлов и их сплавов, а также из таких элементов, как никель, хром и медь. Коэффициенты распыления разных элементов различны, и это следует иметь в виду при расчете толщины покрытия. При распылении мишени из углерода возникают трудности, так как, хотя и возможно очень медленно распылять мишень ионами аргона, скорость распыления падает довольно быстро. Такое уменьшение обусловлено либо присутствием форм углерода, имеющих энергию связи выше энергии ионов аргона, либо тем, что худшая проводимость углерода приводит к зарядке и понижению скорости распыления. Утверждение, что углерод можно распылять при низких напряжениях в диодном распылителе, по-видимому, является ошибочным. Осадки углерода , которые получаются, вероятнее всего, представляют собой углеводородные загрязнения, разлагаемые в плазме, а не материал, распыляемый из мишени. По-видимому, вероятность того, что будет разработан простой метод получения покрытия из алюминия распылением, мала. Окисный слой, который быстро образуется на поверхности алюминия, препятствует распылению при низких ускоряющих напряжениях, а довольно плохой вакуум затрудняет осаждение металла. Для получения детальной инфор- [c.203]