Напыление катодное

Эффективную противокоррозионную защиту оборудование обеспечивают покрытия, для получения которых могут быть использованы основные методы нанесения покрытий в вакууме катодное распыление, термическое напыление и ионное осаждение. Из них наиболее перспективным вследствие высокой эффективности защитного действия является метод ионного осаждения в вакууме. [c.125]

Вакуумные — катодное напыление или испарение в вакууме. [c.64]

Несмотря на пористость и высокое содержание окисей, внутренняя проводимость напыленного металлического покрытия, а также проводимость на межфазной границе между покрытием и основным слоем достаточно хорошая. Благодаря этому покрытие оказывает либо анодную, либо катодную защиту в зависимости от металлов, используемых в качестве основного слоя и [c.76]

Изделия, на которые наносится покрытие в вакуумной камере, обычно подвергают предварительной очистке, обезжириванию и тщательной просушке. Во время откачивания воздуха из вакуумной камеры удаляются газы, оставшиеся при обработке изделия. Процессы выведения газа и получения рабочего давления в камере можно обеспечить и ускорить, если покрыть изделие лаком. Металл осаждается тогда на поверхность, покрытую лаком. При использовании простого процесса конденсации в вакууме металлические и неметаллические изделия обрабатываются одинаково. При катодном напылении необходимо предварительно обработать неметаллические изделия лаками, проводящими ток, чтобы они смогли принять электрический заряд высокого напряжения. [c.103]

Многие алюминиевые сплавы (особенно содержащие медь, цинк и магний) менее устойчивы к действию коррозии, чем чистый алюминий. Кроме того, они подвержены таким особым видам коррозии, как растрескивание под действием внутренних напряжений и межкристаллитная коррозия. Но поскольку эти сплавы часто являются катодными (имеют более положительный потенциал по отношению к чистому алюминию), то они могут получить защитное действие при нанесении покрытия из чистого металла. Комбинированное покрытие также обладает большей природной коррозионной стойкостью, чем покрытие из чистого алюминия, сохраняя большую механическую прочность основного сплава. Как плакировка, так и напыление покрытия этого типа обеспечивают долгий срок службы деталей из алюминиевых сплавов, подвергаемых атмосферным воздействиям или эксплуатируемых в питьевой воде. [c.109]

Методом, подобным вакуумному напылению, является катодное напыление, когда предмет, на который наносится покрытие, размещается в электрическом поле вблизи катода. [c.204]

Многочисленные результаты наблюдений и экспериментов, связанных е коррозией стальных свай в морской воде, собраны в обзоре литературы [137]. подготовленном в одном из исследовательских центров ВМС США. В этом обзорном докладе обсуждаются причины коррозии, влияние окружающих условий, скорости коррозии незащищенной стали, результаты испытаний защитных покрытий, применение катодной защиты и защитных бетонных оболочек. Отмечено, что наилучшие результаты среди всех исследованных покрытий были получены в случае газопламенного напыления цинка с последующей герметизацией сараном или винилом. Очень эффективны правильно спроектированные и изготовленные бетонные оболочки. Хорошие результаты дает применение катодной защиты, но лучше всего сочетать катодную защиту с нанесением защитного покрытия или бетонной оболочки. [c.178]

Неорг. аморфные О.м. получают конденсацией из парогазовой фазы, химическими транспортными реакциями, кристаллизацией и хим. осаждением из р-ров, облучением кристаллич. материалов и др. методами органические-полимеризацией в блоке, р-ре и т.д. Для снижения оптич. потерь в волокнах из аморфных органических О.м. до 10" -10" см используют мономеры, предварительно подвергнутые очистке. Покрытия из О.м. наносят термич. вакуумным напылением, испаряя исходный материал в электропечах или потоком электронов (катодное, магнетронное распыление). [c.393]

По способу получения металлические покрытия делятся на гальванические, диффузионные, контактные, горячие, ваку-умно-и катодно-напыленные, плакированные и т. д. Особое значение гальванических покрытий в решении проблемы защиты металлов от коррозии заставляет выделить их в отдельную главу. [c.193]

Несмотря на пористость и высокое содержание оксидов, внутренняя проводимость напыленного металлического покрытия, а также проводимость на межфазной границе между покрытием и основным слоем достаточно хорошая. Благодаря этому покрытие оказывает либо анодную, либо катодную защиту в зависимости от металлов, используемых в качестве основного слоя и покрытия. Однако пористый характер покрытия, получаемого методом металлизации, способствует возникновению коррозии внутри покрывающего слоя, хотя продукты коррозии могут задерживаться, закупоривая поры и замедляя дальнейшую коррозию. [c.45]

Наиболее широко в последнее время применяется напыление и напаривание металла в вакууме 0,06—1 Па. Эти методы называют также вакуумной металлизацией . Испарение металла из молибденового и графитового тигля или вольфрамовой спирали проводят в вакууме ( 0,06 Па) для того, чтобы увеличить длину свободного пути для атомов металла и по возможности исключить столкновения с посторонними молекулами. При катодном напылении, когда металл распыляется бомбардировкой потока положительных ионов, можно работать и при менее глубоком вакууме (1 Па). Промежуточный интервал неглубокого вакуума используют при ионном внедрении, когда образовавшиеся в газовом разряде ионы металла ускоряются и, бомбардируя покрываемую поверхность, застревают в ней. [c.14]

Платиновый ступенчатый ослабитель состоит из кварцевой пластинки (окошка), вмонтированной в металлическую пластинку, входящую в прорезь для фигурной диафрагмы перед щелью спектрографа (рис. 56, 57). На кварцевую пластинку методом катодного напыления наносится платина на 9 ступеней (участков) высотой 0,3 мм, обеспечивающих различную пропускаемость света (рис. 59) . [c.142]

Селеновый фотоэлемент принадлежит к классу фотоэлементов с запирающим слоем. Основанием фотоэлемента служит стальная пластинка 2, на которую наносится непрозрачный для световых лучей слой селена На поверхность селена методом катодного напыления наносится тончайший слой золота или платины 4, пропускающий световые лучи. На слой золота (платины) накладывается металлическое кольцо 5, которое соединяется с отрицательной клеммой гальванометра I. При попадании света на поверхность фотоэлемента из слоя селена высвобождаются электроны, которые в результате образования между селеном и золото (платиной) запирающего слоя могут двигаться лишь в одном направлении — от селена к золоту, и в цепи люксметра возникает электрический ток в направлении, обратном движению электронов, величина которого регистрируется гальванометром 1. Сила тока пропорциональна величине светового. потока, попадающего на поверхность селенового фотоэлемента, т. е. пропорциональна освещенности в плоскости расположения фотоэлемента. Это позволяет шкалу гальванометра градуировать в единицах освещенности (люксах). [c.40]

Напыление в высоком вакууме и катодное [c.406]

Метод катодного распыления аналогичен методу напыления в высоком вакууме. При катодном распылении возникает электрический разряд в газе в результате приложения высокого напряжения, при этом проходящий ток распыляет металл катода. Часто напыление в высоком вакууме комбинируют с катодным распылением. [c.407]

Эффективным способом снижения парциальных давлений химически активных составляющих остаточных газов является также использование предварительного геттерного катодного распыления того же самого материала, высокочистую пленку которого в дальнейшем необходимо получить. В процессе геттерного распыления испаряемый материал помещается на катод, а подложка закрывается специальной заслонкой. Пленка испаряемого материала, осаждаясь на заслонке и стенках рабочей камеры, поглощает химически активные газы. Когда парциальное давление этих газов снижается до безопасных пределов, заслонка поворачивается и производится напыление того же самого материала на подложку. [c.84]

В технике напыления тонких пленок теплоэлектрические манометры применяются в основном для измерения предварительного разрежения, создаваемого механическими насосам . Для этой цели обычно нет необходимости добиваться высокой точности измерений и вполне достаточна та невысокая точность, которую могут обеспечить термопарные манометры ЛТ-2 и ЛТ-4 в диапазоне давлений 10 2—10 мм рт. ст. Однако требования к точности измерения давления существенно возрастают в том случае, если, нацример, необходимо получить воспроизводимые параметры танталовых пленок, изготовляемых путем катодного распыления в среде инертного газа. Еще большие требования к точности измерения давлений предъявляются при катодном распылении тугоплавких металлов при получении пассивных микроэлементов, когда к основному инертному газу добавляется тот или иной реактивный газ (кислород, азот, метан И др.), подачу которого необходимо точно дозировать. [c.148]

Подобный материал (рис. VI. 4) был предложен несколько ранее [пат. Великобритании 1563010], причем в качестве светочувствительного слоя рекомендованы различные композиции. Связующими могут служить гомо- и сополимеры (как двойные, так и тройные) винилхлорида, винилацетата, малеинового ангидрида, акрилонитрила, винилового спирта. При экспонировании адгезия светочувствительного слоя к металлу становится меньше адгезии слоя металла к подложке, поэтому при отделении светочувствительного слоя после засветки на подложке сохраняется металлический рельеф, соответствующий экспонированным участкам слоя, а на светочувствительном слое создается рельеф металла, отвечающий рисунку шаблона. Металл на подложку наносят вакуумным напылением, катодным осаждением, электролизом или гальванопластикой применяют А1, 2п, Ag, Аи, а также ПОг, Сг15 толщина слоя металла до 100 мкм. [c.204]

Катодное поведение электростатических и электрофоретических алюминиевых покрытий подобно поведению чистого алюминия. Они сильно поляризуются уже при малых плотностях тока и имеют достаточно высокое перенапряжение вьщеления водорода. Электрофоретические алюминиевые покрытия обладают наибольшим значением перенапряжения водорода по сравнению с покрытия.ми, пол>ченны. ш ikj собом электростатического и вакуумного напыления. При получении покрытий из порошковых материалов на электрохимические свойства [c.81]

Контакт стали с алюминием разблагораживает ее потенциал до менее значительных величин. По данным В.В. Герасимова, алюминиевое покрытие с толщиной 0,3 мм, полученное газопламенным напылением, обеспечивает катодную защиту стали марки ОХ18ШОТ в хлорсодержащих средах. В контакте со сталью скорость коррозии алюминия растет на порядок и близка к измеряемому току пары, равному 19,1 мкА/см . Потенциалы стали, В (по н,в.э),.в центре непокрытого участка в зависимости от его диаметра приведены ниже. [c.85]

Покрытия из органических материалов подразделяются на две группы тонкослойные и толстослойные. Четкое разграничение между обеими этими группами невозможно. К тонкослойным относятся разнообразные покрытия из жидких смол и порошков, когда толщина слоя обычно составляет не более 300 мкм, а иногда доходит до 500 мкм. Обычно жидкие смолы наносят распылением с растворителем или без растворителя и затем подвергают отверждению. Порошковые смолы осалсдают электростатическим способом или наносят методом вихревого напыления. Для представляющего здесь интерес сочетания со способами катодной защиты могут быть названы следующие области применения строительные сооружения в пресной и морской воде, суда, резервуары для питьевой воды, а в последнее время также и трубопроводы [1]. Кро- [c.145]

Прочность сцепления с подложкой (адгезия) пленки, полученной ионно-плазменным методом, очень высока, что объясняется высокой энергией попадающих на подложку распыленных атомов. Эта энергия примерно в 20 раз больше энергии атомов, попадающих на подложку при термическом испарении в вакууме. Высокая адгезия пленки объясняется еще и тем, что при ионноплазменном методе удается предварительно хорошо очистить поверхность подложки тлеющим разрядом до напыления на нее материала мишени. При катодном распылении, где распыление начинается сразу же после возбуждения разряда, такую очистку осуществить трудно. [c.27]

Проводники М] и М2 изготавливают из платины, иногда из серебра, путем вакуумного или катодного напыления. В сенсорах для определения галогенов применяют графит, стеклоуглерод или диоксид рутения КиОг. Форма и размеры сенсоров весьма различны и зависят от природы твердых электролитов. В табл. 17.1 приведены основные характеристики потенциометрических сенсоров на основе твердых электролитов. [c.557]

Тонкие пленки получаются многими способами [272], но из всех этих методов для нанесения покрытий на образцы, предназначенные для РЭМ я РМА, пригодны только термическое напыление в вакууме и катодное распыление. Прежде чем обсуждать эти методы, нужно рассмотреть свойства идеальной пленки. Такая пленка не должна обладать какими-либо структурными оо0 беипо1стям1и на уровне разрешения 3—4 нм, для того чтобы не создавать нежелательных артефактов на изображении. Идеальная пленка должна быть однородной по толщине независимо от топографии образца и не должна вносить изменений в измеряемый химический состав образца или ощутимо влиять на интбнсивн о сть рентгеновского излучения, испускаемого образцом. [c.185]

В области электрохимии пповодилось изучение кинетики реакций быстро-го переноса заряда [216] и реакций адсорбции методами хронопотенциометрии и полярографии с использованием восстановления комплекса Т1(1) - дицик-логексил-18-краун-6. Сообщается также, что потенциал полуволны при двухэлектронном полярографическом вогстановлении Mg + [2, 2, 1]-криптата в карбонате пропилена быд более катодным, чем при восстановлении сольватированного катиона Mg + [ 218]. В тонкой пленке дибензо-18-краун-6, помещенной между двумя электродами, покрытыми напыленным серебром, наблюдалось электронное переключение между двумя электропроводящими состояниями [2191. [c.258]

Напыление суспензии из частиц BI2O3 размером 0,1—0,5 мм в среде связующего на маску с образованием отражающих электроны пленок, имеющих однородное распределение частиц, использовано при изготовлении цветных катодных лучевых трубок [515]. Газообразные галогениды висмута предложено использовать для сухой чистки твердых поверхностей, прежде всего полупроводников. Метод отличается простотой, соверщенством и высокой воспроизводимостью и рекомендован к применению в производстве электронных приборов [516]. Оксид висмута BI2O3 используют в качестве добавки к AI2O3 при изготовлении деталей электронной техники [517]. Висмут используют в качестве компонента в устройствах для записи информации с ультравысокой плотностью записи. Так, записывающая среда представляет собой ферроэлектрический слой, включающий буферный слой на подложке, а также цирко-нат титаната свинца, ламеллярный висмут или полимерный ферроэлектрический материал [518]. Замещение Sn—РЬ-покрытий для производства электронных модулей на Sn—Bi-покрытия целесообразно по экологическим причинам. Показано, что нет проблем и для технического применения Sn—Bi-покрытий в промышленности [519]. [c.322]

Для защиты от атмосферной коррозии и коррозии в некоторых агрессивных средах используют лакокрасочные покрытия. Широко применяют гальванические покрытия, химические осаждения защитной пленки из растворов и расплавов, напыление покрытий различными способами, гуммирование поверхности резиной. В последнее время все больщее применение получают двухслойные стали с плакирующим защитным слоем из высоколегированной стали, а также стали с защитным полимерным покрытием. Для снижения электрохимической коррозии используют катодную или анодную защиту конструкции. [c.84]

Самоподдерживающиеся пленки из металлов или графита. Тонкие металлические пленки могут быть изготовлены путем осаждения металлического слоя на поверхиость подложки с последующи.м отделением этого слоя от подложки путем погружения последней в воду (рис. 7-7) или же путем удаления этой подложки травлением. Осаждение тонкого металлического слоя на под-южку обычно проводится либо методом напыления в вакууме, либо методом катодного распыления. [c.430]

Состав недиффузионных покрытий необходимо выбирать таким образом, чтобы обеспечить совместимость материала покрытия и основы при температурах эксплуатации, а также высокую адгезию покрытия с основой. Эти покрытия наносят методами химического осаждения из газовой фазы, а также различными методами напыления (пламенного, плазменного, детонационного). В последние годы развиваются методы электронно-лучевого напыления покрытий в вакууме, а также напыление различных элементов и соединений с использованием электрических и магнитных полей (ионно-плазменное, в том числе магнетрон ное, катодное напыление, нанесение покрытий в тлеющем и высокочастотном разряде и т. д.). При достаточно высокой температуре процесса часть напыленного покрытия может превратиться в диффузионное. [c.432]

При распылении с геттерированием [23, 24], прежде чем начинается образование пленки за счет катодного распыления, из газа за счет реактивного распыления удаляются (геттерируются) химически активные составляющие. Такой метод дает пленки очень высокой чистоты. В типичной установке для напыления с Геттерированием в системе кроме обычной подложки, анода, имеется второй анод. Этот анод имеет форму экрана, окружающего катод и подложку. Сначала подложку закрывают заслонкой, чтобы предотвратить осаждение пленки, и все химически активные газы внутри экрана удаляют за счет поглощения в металле, распыленном из катода и осевщем на стенках сосуда. В результате этого давление химически активных газов в системе можно уменьшить до 10" мм рт. ст. Чтобы достичь такого давления в обычной системе, требуются сложные насосы и длительное обезгаживание. После геттерирования заслонку отводят и катод распыляют на подложку. Выделение газов из стенок сосуда сдерживается напыленными слоями металлических соединений. Экран делают плотно прилегающим к катоду и аноду, так что диффузия примесей из остальной части системы затруднена. Рабочее напряжение обычно составляет 1,0—1,5 кВ при токах 2—10 мА. Сначала систему откачивают до 10" мм рт. ст. и при температуре приблизительно на 50° выше температуры осаждения производят обезгаживание подложки. Вообще говоря, необходимо независимое регулирование температуры подложки. В качестве газа обычно используют Аг, и реактивного распыления в течение 15—30 мин обычно достаточно, чтобы очистить атмосферу. Стойрер и Хозер [24] на стадии разложения использовали давление Аг в интервале (31 -f- 185)-10"- мм рт. ст. До сих пор специального упора на выращивание монокристаллов не делалось, и это потребует, вероятно, более высоких температур подложки и применения монокристальных подложек. Распыление с геттерированием дает возможность изучать механизмы роста кристаллов в сверхчистых условиях, а также получать сверхчистые пленки. [c.247]

Метод механической маски. При использовании этого метода применяются металлические маски, изготовленные из нержавеющей стали или никеля, на которые напылен титан. Для получения требуемого рисунка катодным распылением необходима особо плотная посадка маски на подложку, поскольку при наличии щели между маской и подложкой диффузный поток атомов проникает в щель и, осаждаясь на подложке, дает размытый рисунок деталей микроэлементов. Это происходит из-за больших размеров источника распыления, а также в результате рассеяния некоторой части распыляемых атомов. [c.63]