Титаново-испарительный насос ТИС

Рис. 2-28. Спектр масс остаточных газов в рабочем объеме напылительной установки при откачке только паромасляным насосом (не заштриховано) и при совместной работе паромасляного и титанового испарительного насосов (заштриховано).

Быстрота действия титанового испарительного насоса (семейство кривых 3 на рис. 2-26) также снижается с увеличением давления в откачиваемом объеме, и насос обладает селективностью при откачке газовой смеси. 130 [c.130]

Применение титанового испарительного насоса в установке УБН-2М дало возможность почти на 60% сократить время откачки уста- [c.285]

Работа, ,Титаново-испарительный насос ТИС-8 [c.194]

Рис. 103. Титаново-испарительный насос ТИС-6

Титаново-испарительный насос ТИС-6 (рис. 108) [c.209]

Магнитный электроразрядный насос Два титановых испарительных геттерных насоса. Один механический вакуумный насос [c.275]

Предварительная откачка изделия 2 осуществляется через цельнометаллический прогреваемый кран 5 и кран 12 с резиновым уплотнением безмасляной системой, состоящей из механического вакуумного насоса 15 с адсорбционной ловушкой 10 и титанового испарительного геттерного насоса 9. Вначале изделие откачивается механическим вакуумным насосом 15 до давления 5 Па, а затем — испарительным геттерным насосом до давления 10 —10 Па. [c.277]

С этой же целью в ряде конструкций устанавливают в рабочей камере дополнительные титановые испарительные геттерные насосы или криосорбционные насосы, охлаждаемые жидким гелием. Для напуска воздуха или газа в рабочую камеру предусмотрены электромагнитный натекатель 5 и ручной натекатель 3. [c.288]

В Испарительном геттерном насосе титан конденсируется на внутренней стенке цилиндрического экрана 6, охлаждаемой жидким азотом, подаваемым из сосуда Дьюара 2. Испаритель титана 3 содержит запас титановой проволоки и механизм для ее периодической подачи в водоохлаждаемый медный тигель — анод. Испарение титана происходит путем разогрева титановой проволоки электронной бомбардировкой с помощью имеющейся в испарителе электронной пушки. Такой спо-138 [c.138]

Рис. 3.11. Влияние режима напуска водорода на быстроту действия испарительного титанового насоса в зависимости от количества поглощенного газа

Одйим из возможных путей частичной модернизации yщe fвyющиx напылительных установок является встраивание в их рабочие объемы малогабаритных титановых испарительных насосов. При этом значительно снижается парциальное давление таких вредных компонентов, как тяжелые углеводороды, окись углерода, пары воды и гидроксильная группа, и по сути дела основной [c.128]

На рис. 2-29 приведены кривые откачки непрогреваемой напылительной установки с помощью магнитно-электроразрядного и титанового испарительного насосов [Л. 104 [c.131]

Рис. 2-29. Кривые откачки непрогреваемой напылительной установки с помощью магнитного электроразрядного и титанового испарительного насосов.

Предварительная откачка производится с помощью двух (участок 1), а затем одного (участок 2) цеоли-тового насоса, после чего открывается вакуумный затвор и для откачки рабочего объема используется магнитно-электроразрядный насос (участок 3). В момент времени 4 затвор закрывается, и производится прогрев титанового испарителя для его обезгаживания. В момент времени 5 затвор вновь открывается, и дальнейшая откачка на участке 6 производится как магнитно-электро- разрядным, так и титановым испарительным насосом. После 2 ч непрерывной откачки в рабочем объеме не-9 131 [c.131]

Приведенные здесь задания на выполнение типовых лабораторных работ в практикуме вакуумной техники составлены по следующей схеме 1) цель работы 2) аппаратура 3) содержание работы 4) предупреждения 5) расход времени. Здесь же даны методические рекомендации по выполнению этих работ, а также описания особенностей эксплуатации вакуумного обо1 удования, инструкции по измерению быстроты откачки высоковакуумных агрегатов инструкция по запуску титаново-испарительных насосов пояснение относительно измерения давлений в охлажденных вакуумных системах, а также схемы лабораторных установок. [c.169]

Одной из особенностей экранов является подвижная часть с вертикальными поворотными створками, разделяющая экраны двух отсеков. Это позволяет изолировать экраны обоих отсеков между собой во время вакуум-температурных испытаний, т.е. без действия имитатора Солнца. При этом экран дополнительной камеры используется как азотный криоконденсационный насос с температурой 80 К. Температура экрана основной камеры в ходе этих испытаний может изменяться от 100 до 360К. Система вакуумной откачки является полностью "безмасляной". Предварительная откачка осуществляется двумя параллельными форвакуумными линиями, оснащенными двухроторными насосами с объемной быстротой действия 1200 м /ч с прогреваемыми цеолитовыми ловушками и отсекающими клапанами. При достижении давлений около Ша начинают охлаждение жидким азотом экранов дополнительной камеры. После достижения давлений примерно 10" Па насосы предварительной откачки отсекаются клапанами и отключаются. При достижении давления 5-10 Па включают криогенный и турбомолекулярный насосы, располагающиеся снаружи дополнительной камеры. При давлении примерно 5-10" Па включают титановые испарительные насосы основной откачки. Титан напыляется на панели. Рабочее давление 5-10 Па. Для изменения температуры экранов путем прокачки через них газообразного или жидкого азота используется тепловой генератор. [c.66]

Второе направление, интенсивно развившееся за последние 5—10 лет, основано на использовании принципиально новых откачных средств. К ним относятся тур-бомолекулярные насосы, адсорбционные угольные и цио-литовые насосы, титановые испарительные, электро-разрядные насосы и конденсационные насосы. [c.86]

Фирма Уаг1ап (США) в своих напылительных сверхвысоковакуумных установках использует комбинацию магнитно-электроразрядного, титаново-испарительного и криогенного насосов, что позволяет после 5-часового прогрева и 50 ч непрерывной откачки получить в рабочем объеме установки предельный вакуум 10- ° мм рт. ст. [c.134]

Изображенный на рис. 13 ионно-испарительный насос представляет собой вертикальную цилиндрическую камеру, стенки которой охлаждаются водой, непрерывно циркулирующей по змеевику. По оси камеры расположена катушка с титановой проволокой, которая непрерывно разматывается с помощью специального подающего механиэма. Проходя через кольцеобразную нить накала (которая имеет отрицательный потенциал относительно проволоки), титановая проволока интенсивно бомбарда-руется электронами, эмитируемыми нитью накала, и почти мгновенно испаряется (в других конструкциях насосов испарение титана осуществляется за счет его соприкосновения с графитовым стержнем, разогреваемым до высокой температуры в результате электронной бомбардировки). [c.28]

Справочник химика 21

Химия и химическая технология