Высоковакуумная откачка

ЮТ работе прибора при высоких увеличениях. Эти поля имеют частоты от 50 до 200 Гц и вблизи электронно-оптической колонны должны быть уменьшены по величине до значений 5— 10 мГс. Попытка свести к минимуму эти эффекты была описана в работе [8]. Для того чтобы уменьшить влияние загрязнений настолько, насколько это возможно, для высоковакуумной откачки используют ионный насос и при этом соприкосновение системы с маслом сводится к минимуму. Использующийся при работе с очень высоким разрешением столик объектов изготавливается таким образом, что механический контакт между образцом и основанием камеры во время исследований отсутствует за счет того, что вибрации снижаются ниже уровня детектирования. Низкочастотные механические вибрации (2—10 Гц) могут вызывать вибрацию всего прибора. Прибор следует изолировать от воздействия этих вибраций, иначе нельзя достичь высокого разрешения. Все эти эффекты могут быть устранены при тщательном конструировании прибора, и поэтому они не являются очень важными при рассмотрении предельного разрешения. Однако они являются существенными при практической эксплуатации прибора. [c.20]

В первом случае измерения проводятся при постоянном давлении в системе. Схема простейшей установки показана на рис. IV.2. Основной частью установки является сорбционная трубка 1, в которой на чувствительной спирали подвешено одно зерно или чашечка с несколькими зернами сорбента. Навеска сорбента эвакуируется высоковакуумной откачкой при нагревании, и затем при закрытом кране 2 в системе прибора создается требуемое давление газа, измеряемое манометром Маклеода 3 или С/-образным манометром 4. Далее кран 2 открывается и в сорбционной трубке и в остальной части прибора устанавливается одинаковое давление. Этот момент считается началом опыта. Через определенные промежутки времени отсчетным микроскопом измеряются удлинения спирали и по калибровочной кривой определяется привес адсорбента. [c.158]

Высоковакуумная откачка камеры Проверка системы (холостое положение) [c.395]

Зерно угля в форме цилиндра диаметром 5 мм и длиной от 6 до 9 мм помещалось в сорбционную ячейку из плексигласа, как показано па рис. 49. Герметизация крепления зерна достигалась притиранием его боковой поверхности к стенке трубки. Зерно угля обдувалось с торца потоком паровоздушной смеси из азота и паров бромистого этила и через определенные промежутки времени облучалось рентгеновскими лучами. На рентгеновской пленке фиксировалось положение фронта адсорбции внутри зерна. Для исключения влияния неоднородности структуры и свойств поверхности различных зерен угля серия опытов проводилась с одним и тем же зерном, которое после отработки регенерировалось непосредственно в трубке высоковакуумной откачкой при комнатной температуре в течение 72 час. Полнота регенерации контролировалась рентгеновским просвечиванием. Опыты проводились при концентрации паров бромистого этила 20,7 и 75,9 мг л, скорости паровоздушной смеси 1,8 и 13,6 л мин-см и температуре 20 0,5° С. Источником рентгеновских лучей служила рентгеновская трубка с медным антикатодом. Напряжение на аноде 30 кв, сила тока 10 ма, расстояние до объекта 30 см. Скорость продувания азота через зерно составляла 28 см /мин, что соответствовало перепаду давлений на [c.129]

Функции насоса заключаются не только в том, чтобы удалять начальный запас газа непосредственно из объема системы — этот этап откачки заканчивается сравнительно быстро. Высоковакуумная откачка происходит, когда насос удаляет газы, поступающие в результате газоотделения и течей, при этом Снас>Ст + Сг и давление медленно понижается. Основным режимом считается асимптотическое равновесие по уравнению (50) откачиваемого потока газа и потоков газовыделения и натекания, когда предельное давление постоянно, пока работает насос. [c.31]

Масс-спектрометрическая камера 1 предварительно откачивается через кран 11 механическим вакуумным насосом 9. Высоковакуумная откачка камеры до давления 10 —10 Па производится через кран 2, азотную ловушку 3, кран 6 пароструйным диффузионным насосом 7, выпускной патрубок которого через кран 8 соединен с насосом 9. [c.259]

В вакуумной системе, построенной по схеме 1 табл. 14.2, предварительная откачка изделия производится механическим вакуумным насосом 7, снабженным сорбционной ловушкой 13, через цельнометаллический прогреваемый кран 9 и электромагнитный клапан 12. Высоковакуумная откачка осуществляется через цельнометаллический кран 3 пароструйным диффузионным насосом 1, снабженным прогреваемой двухъярусной жалюзийной ловушкой 2. Обезгаживание ловушки 2 производится в два этапа сначала прогревается вся ловушка без подачи жидкого азота затем в нижний ярус подается жидкий азот, в то время как верхний ярус ловушки продолжает нагреваться. Через 30— 40 мин выключается нагрев верхнего яруса, и в него также подается жидкий азот. [c.271]

Высоковакуумная откачка изделия 1 производится через прогреваемый кран 6 турбомолекулярным насосом 7. Насос 7 в свою очередь откачивается через кран 10 механическим вакуумным насосом 16. Откачка защитной камеры 2 производится через кран 15 механическим вакуумным насосом 17. Иногда защитная камера 2 заполняется через кран 14 инертным газом, например аргоном. [c.277]

Высоковакуумная откачка изделия до давления Па осуществляется через кран 7 магнитным электроразрядным насосом 8. Краны 7 п 16 скомпонованы в единый блок. [c.283]

Высоковакуумная откачка рабочей камеры 2 до давления 5-10- Па производится ионно-геттерным насосом 17. Для обезгаживания рабочей камеры 2 прогревом до 700 К через ее тонкие стенки пропускают электрический ток при непрерывной откачке камер 1 и 2. [c.289]

На рис. 16.8 показана конструкция цельнометаллического блока кранов. На верхнем торце блока кранов укреплено откачное гнездо 3, предназначенное для соединения с металлическим штенгелем электровакуумного прибора. Предварительная откачка прибора производится через кран 2, а высоковакуумная откачка —через кран 4. Краны 2 и 4 имеют одинаковое конструктивное исполнение и отличаются лишь габаритами. Подвижное уплотнение штоков кранов выполнено на металлических сильфонах 5 и 7 (схема 1 табл. 15.4). Краны собираются в виде отдельных узлов, уплотняемых с корпусом I через медные уплотнители. Управление кранами осуществляется через червячные передачи, благодаря чему не требуется от оператора приложения чрезмерного усилия. [c.346]

Система откачки включает в себя два насоса ВН-2МГ и цеолитовый агрегат ЦВА-1-2 (предварительная откачка) два электроразрядных насоса НЭМ-300 и высоковакуумный агрегат ВА-05-5 (высоковакуумная откачка). [c.253]

Ни один тип ЭФН не является универсальным средством высоковакуумной откачки. В каждом конкретном случае их применения необходимы детальный анализ эксплуатационных условий и сопоставление характеристик насосов различных типов. [c.12]

Асимметричную проницаемость предложено формировать также ионной бомбардировкой мембраны. Расчетная модель такого устройства, названного твердотельным диффузионным насосом, дает примерно трехкратное соотношение прямого и обратного газовых потоков. Это соотношение не зависит от давления, что позволяет в принципе осуществлять высоковакуумную откачку газа. Данных об экспериментальной проверке такого предложения нет. [c.261]

Другим нетрадиционным методом высоковакуумной откачки является каталитическое окисление водорода каталитические насосы). В центральной части модели каталитического насоса установлены накаленные сетки из рениевой или иридиевой проволоки общей площадью 460 см . Сетки окружены экранами, покрытыми слоем закиси меди. Площадь экранов 1,23 м , их температура 530 К. Рядом с экранами размещена ловушка, охлаждаемая жидким азотом. Молекулы водорода с вероятностью около 0,4 диссоциируют на накаленных сетках. Образующийся атомарный водород с высокой скоростью восстанавливает закись меди. Выделяющиеся в процессе этой реакции водяные пары конденсируются на охлажденных поверхностях ловушки. Быстрота действия насоса — около 6 м /с, потребляемая мощность — свыше 13 кВт. Применение дорогостоящего рения или иридия связано с возможностью отравления обычно используемого вольфрама азотом и оксидом углерода. Кроме того, на скорость термической диссоциации водорода на вольфраме сильно влияет кислород. [c.262]

Высоковакуумная откачка рабочей камеры производится в два этапа вначале через обводную магистраль 12, а затем открывается высоковакуумный затвор б. Высоковакуумный затвор служит для герметичного перекрытия паромасляного насоса при напуске атмосферы в рабочий обьем и работает от пневмопривода, на корпусе которого расположены два микропереключателя, сигнализирующие об открытии или закрытий затвора. [c.86]

Управляющей программой предусматривается проведение диагностики работы агрегатов и устройств установки. При этом на экран дисплея (в его нижней части) могут выводиться, например, следующие диагностические сообщения Нет сжатого воздуха , Затвор закрыт Крионасос откачан , Кассета загрузки пуста , Плохой вакуум в камере , Не открыт шлюз загрузки , Не открыт шлюз выгрузки , Высоковакуумная откачка камеры и др. [c.99]

Рабочая 4 и высоковакуумные шлюзовые камеры 2 и 6. разделены между собой перегородками с каналами для прохождения конвей а. Между камерами установки и в шлюзовых устройствах применена открытая шлюзовая система.-При работе установки осуществляют непрерывную высоковакуумную откачку шлюзовых камер нагрева 2-и охлаждения 6. Для высоковакуумной откачки рабочей камеры 4 открывают затвор 8. [c.31]

В вакуумной системе (рис. 7.47, а) предварительная откачка изделия производится механическим вакуумным насосом 9 через цельнометаллический прогреваемый вентиль 7. Высоковакуумная откачка осуществляется через цельнометаллический вентиль 5 пароструйным диффузионным насосом 3, снабженным прогреваемой двухъярусной охлаждаемой ловушкой 4. Выпускной патрубок насоса 3 через вентиль 2 соединяется с механическим вакуумным насосом 1. Для измерения давлений предусмотрены манометрические датчики 6 и 8. Высоковакуумная часть системы, состоящая из пароструйного диффузионного насоса 3, ловушки 4, вентилей 5 и 7 и манометрических датчиков 6 и 8, собрана в один агрегат. [c.460]

Высоковакуумная откачка осуществляется паромасляным насосом Н-5С. В связи с тем, что тигель и керамический экран значительно перекрывают сечение кварцевой трубы, откачка производится из нижней ее части и надтигельного пространства. Второй насос ВН-2 служит [c.46]

При такой сбарке печи разливка может производиться как выдергиванием керамической пробки, так и проплавлением металлической пробки в дне тигля путем опускания индуктора (во втором случае установки фланца со стопорным механизмом не требуется). Предварительная откачка печи производится одним вакуумным насосом типа ВН-1. Высоковакуумная откачка осуществляется из надтигельного пространства че(рез головку — бустерным насосом БН-1500 из камерьи разливки — паромасляным насосом Н-2Т. Второй насос ВН-1 служит для откачки насосов Н-2Т и БН-1500. Насосы ВН-1 могут заменять [c.49]

Перед проведением исследований методом дейтерообмена для подавления нежелательных фоновых эффектов, возникающих за счет обменоспособной воды и гидроксильных групп ОН на внутренней поверхности установки, всю установку (за исключением ячейки с адсорбентом 5) в нагретом состоянии промывают несколько раз с последующей высоковакуумной откачкой паром воды с изотопным составом, близким к концентрации [О] =50% (подробнее см. [2]). Для такой промывки используют заготовленный в ампуле 15 весовым методом соответствующий образец воды. [c.258]

Результаты проведенного исследования дают информацию о механизме низкотемпературной адсорбции, объясняют некоторые закономерности криоадсорбционной высоковакуумной откачки и позволяют высказать суждения о характере микропористой структуры карбонизованных углей. [c.143]

Разрядные насосы — одно из наиболее широко распространенных средств высоковакуумной откачки. Промышленными сериями выпускаются насосы с быстротой действия 5 10" - 10 м /с изготавливаются также единичные образцы большей производительности. Насосы различных фирм оптимизированы по конструктивным решениям электродной системы, магнитным и электрическим характеристикам, так что эти решения и характеристики можно рассматривать как типичные для современных МЭРН. [c.201]

Губчатый титан, его сплавы, другие нераспьшяемые геттеры в виде таблеток, втулок и дисков с пористой структурой традиционно используются для высоковакуумной откачки генераторных ламп, источников света, иных электровакуумных и электрофизических приборов. Технологические изыскания по их совершенствованию привели к созданию нераспыляемых геттеров нового типа - пористых композиций на основе металлов IV группы — циркония, титана, их сплавов активное вещество (сплав) наносится тонким слоем в виде мелкодисперсного порошка на металлические и диэлектрические подложки. Эти геттеры экономичны, надежны, имеют широкий интервал рабочих температур, устойчивы к воздействию внешних элект 1ческих и магнитных полей, вибрации, ударным механическим нагрузкам их сорбционная емкость и скорость поглощения активных газов существенно превышают аналогичные характеристики геттеров из чистых циркония и. титана. [c.230]

Основными частями установки являются рабочая камера, размещенная на каркасе агрегаты высоковакуумной откачки и откачки шлюзов нагреватель и устройство транспортирования шкафы питания магратронов, управления очисткой и установкой в наладочном и рз ом режимах, а также по восьми запрограммированным технологическим процессам в автоматическом режимё. [c.92]

Для обеспечения высоковакуумной откачки системы использовали три высоковакуумных агрегата (охлаждаемая жидким азотом ловушка и парортутный диффузионный насос), которые откачивали, соответственно, области регистрации, ионообразования и испарения. Испарение исследуемых образцов проводили из эффузионной камеры Кнудсена, нагреваемой печью сопротивления в молекулярном источнике, охлаждаемом водой. Доступ пара (или газа) в ионный источник перекрывали заслонкой. Эффундируемый из камеры Кнудсена исследуемый пучок после прохождения зоны ионизации конденсировался на охлаждаемой жидким азотом ловушке емкостью 0.5 л. [c.181]

В вакуумной системе (рис. 7.46, в) выпускной патрубок пароструйного диффузионного насоса 2 с маслоотражателем 3 в отличие от вышеописанных схем присоединен к вспомогательному (бустерному) насосу 10, работающему на форвакуумный бачок 8 и механический вакуумный насос 1. Установка бустерного насоса между пароструйным и механическим вакуумным насосами обеспечивает возможность проведения технологического процесса с интенсивным газоотделением и получение разрежения порядка (3-4-5)10- тор. Важным преимуществом этой системы является хорошее обезгаживаиие рабочей жидкости пароструйного диффузионного насоса. Высоковакуумная откачка изделия производится через вентиль 5. Байпасная откачка изделия осуществляется механическим вакуумным насосом 1 через вентиль 4. Во время этой откачки угловой вентиль 9 закрыт, а насос 10 работает на форвакуумный бачок 8. [c.459]

Справочник химика 21

Химия и химическая технология