Рентгеновский локальный анализ при помощи электронного зонда

Рентгеноспектральные методы анализа являются весьма перспективными и в последнее время все чаще используются для определения ЗЬ вследствие высокой экспрессности и хорошей точности. Они пригодны как для определения малых содержаний ЗЬ при использовании больших количеств анализируемого материала, так и для очень малых количеств материала при больших содержаниях ЗЬ. Как и в эмиссионном спектральном анализе, рентгеноспектральные методы позволяют определять ЗЬ одновременно с рядом других элементов. Рентгеновский локальный анализ при помощи электронного зонда позволяет анализировать пробы объемом до 1 мкм . Он удобен для исследования однородности распределения ЗЬ по объему анализируемого образца, позволяет выявлять включения с аномальными концентрациями как ЗЬ, так и других элементов в ЗЬ и ее сплавах. [c.86]

Рентгеновский локальный анализ при помощи электронного зонда удобен для анализа микропроб (объем 1 мк ) с высокой локальной концентрацией элемента. Этим методом можно исследовать однородность распределения малых концентраций элементов по объему пробы или выявить локальные агрегаты с большими концентрациями. Пределы обнаружения элементов этим методом составляют 0,05—0,1%. Существенно, что при этом можно определить до 10 3 элемента в пробе. [c.167]

А. РЕНТГЕНОВСКИЙ ЛОКАЛЬНЫЙ АНАЛИЗ НРИ ПОМОЩИ ЭЛЕКТРОННОГО ЗОНДА [c.236]

Если объект представляет собой монолит, то проводят его локальный или послойный анализ без предварительного разрушения. Наиболее детальный анализ поверхности можно провести с помощью ионного зонда. С помощью специальных технических приемов можно получить на телевизионном экране или фотопленке увеличенное изображение поверхности объекта, образованное ионами выбранного элемента. Повернув ручку настройки масс-анализатора, получают изображение того же участка поверхности, образованное ионами другого элемента. Набор таких фотоснимков представляет собой полную топографию интересующих элементов в выбранной области поверхности образца. Прибор, работающий по- такому принципу, называется ионным микрозондом и является аналогом электронного микрозонда, или электронно-зондового рентгеновского микроанализатора (см. гл. 5). Его преимуществами являются более высокая чувствительность, особенно к легким элементам, а также возможность изучать не только элементный, но и изотопный состав образца. [c.216]

Разрешение по глубине. Предельная локальность масс-спек-тро.метрического микрозокда оказывается недостаточноР для большинства практических применений. В этом отношении искровая. масс-спектрометрия, вероятно, не сможет конкурировать с рентгеновским методом локального анализа с помощью электронного зонда [15], а также масс-спектрометрией с бомбардировкой поверхности образца сфокусированным ионным пучком [16, 17] эти методы позволяют исследовать на повер.хности образца области микронны.х размеров. [c.157]

ЭЛЕКТРОННОЗОНДОВЫЕ МЕТОДЫ, физические методы исследования и локального анализа тв. тел с помощью пучка сфокусированных электронов (зонда). После взаимод. электронного зонда с в-вом можно регистрировать 1) электронные сигналы, т. е. электроны, прошедшие через образец (в методах просвечивающей электронной микроскопии, микродифракции электронов, спектроскопии, характеристич. потерь энергий электронов и др.), отраженные электроны (в электронографии на отражение, методе дифракции медленных электронов, зеркальной электронной микроскопии и др.), вторичные электроны, в т. ч. Оже-электроны (в методах электронной Оже-спектроскопии, растровой электронной микроскопии) 2) электрич. сигналы — ток в образце (поглощенные электроны), наведенный ток и наведенную эдс в полупроводниках 3) электромагн. излучение — рентгеновское (в методах рентгеноспектрального микроанализа, спектроскопии пороговых потенциалов), катодолюминесценцпю (в катодолюминесцентном микроанализе). Наиб, распространены рентгеноспектральный [c.700]