Насосы вакуумные допустимое натекание

Высоковакуумные вентили. Такие вентили располагают между камерой и высоковакуумным насосом. Основное требование, предъявляемое к ним, — обеспечение высокой пропускной способности для сохранения максимальной быстроты откачки насоса. Кроме того, поскольку внутренние элементы открытого вентиля экспонируются внутрь высоковакуумной системы, то они должны иметь минимальные утечки и газоотделения. Для уменьшения сорбции атмосферных газов на внутренних поверхностях вентиля, он устанавливается таким образом, чтобы при напуске воздуха в камеру эти поверхности оставались под вакуумом. Наибольшее распространение в вакуумной технике получили высоковакуумные вентили (затворы) шиберного типа. Хотя внешние механизмы управления затворов различных марок могут существенно отличаться, принцип действия их остается одним и тем же. Этот принцип иллюстрируется рис. 83. Перекрытие устройства осуществляется с помощью диска с закрепленной в канавке круглой кольцевой прокладкой. Диск прижимается к проходному отверстию за счет передачи усилия от опускаемого каким-либо образом вниз штока через рычажный механизм. Для облегчения скольжения штока вдоль направляющей стенки корпуса часто используются шарикоподшипники. При подъеме штока диск опускается на несущие шасси. Для представленного на рис. 83 варианта включения затвора внутренние его поверхности, за исключением поверхности самого диска, при напуске воздуха в камеру остаются под вакуумом. Этот случай более предпочтителен, хотя в нем для фиксации диска необходимо прилагать значительные механические усилия, превышающие по величине силу, обусловленную атмосферным давлением на диск. Для уплотнения штока обычно используют либо двойные круглые кольцевые прокладки, либо устройства типа Вильсона (см. рис. 79). Натекание через них при неподвижном штоке пренебрежимо мало. Увеличение натекания при открывании или закрывании затвора находится в допустимых пределах, так как оно происходит или в самом начале вакуумного цикла, или непосредственно перед напуском воздуха. Применение полностью герметичных устройств для движения штока оправдано только в специальных случаях, например, в системах ионного распыления, в которых затвор приводится в действие в наиболее критические моменты рабочего процесса. Для регулировки быстроты откачки камеры высоковакуумным насосом затвор перекрывается лишь частично (дросселирование). В этой ситуации натекание газа при перемещении штока приводит к нежелательному загрязнению рабочего газа. Корпус затвора и его внешние детали изготавливаются обычно из мягких или нержавеющих сталей, а также из алюминиевых сплавов. Соединение затворов с вакуумной си- [c.287]

При проектировании любого вакуумного аппарата обычно задается величина допустимого натекания атмосферного воздуха внутрь аппарата через неплотности. Например, для высоковакуумных и сверхвысоковакуумных насосов и агрегатов допустимую величину натекания выбирают из соотношения [45] [c.559]

Вакуум-сушилка обычно состоит из сушильной камеры, конденсатора и вакуумного насоса. В зависимости от конкретных условий может быть применен смешивающий или поверхностный конденсатор. Необхо- димая производительность насоса выбирается, исходя из допустимой величины натекания атмосферного воздуха в сушилку и возможного газовыделения продукта. Если производительность насоса отнести к 1 поверхности нагрева сушилки, то рекомендуется принимать производительность насоса в м 1ч-м (при давлении всасывания) [c.255]

Условие (13.3) показывает, что суммарное натекание можно считать допустимым, т. е. требуемое давление р1 в вакуумной системе будет обеспечено и при наличии натекания, если соответствующим образом подобраны быстрота действия насоса 5и и проводимость вакуумного трубопровода и. [c.247]

Если же давление в изоЛ ированной-от вакуум-насоса системе возрастает, то в системе имеется натекание атмосферного воздуха. Следует отметить, что при всей тщательности выполнения вакуумных систем в целом щевоз-МОЖ1Н0 достигнуть полного отсутствия натекания. Можно лишь добиться, чтобы натекание оставалось в пределах допустимого. Поэтому при проектировании вакуумных установок необходимо задаваться величиной допустимого натекания. [c.89]

Приведенные ниже уравнения конденсации дают возможность непосредственно рассчитать величину необходимой поверхности конденсатора и правильно расположить эту поверхность по отношению к потоку пара при конденсации чистого пара без примеси неконденсирующегося газа. В действительности всегда существует примесь неконденсирующегося газа. Однако уравнениями, полученными для чистого пара, можно пользоваться и для нахождения поверхности конденсации в ряде реальных процессов. Например, при проведении сушки сублимацией процессу сушки всегда предшествует откачка иеконденсирующихся газов из всей системы за исключением сублиматоров. При предельном вакууме в системе воздух остается только в сублимационной камере. Когда начинается процесс сушки, то количество газа, которое требуется откачать из сублиматора, ничтожно мало по сравнению с проходящим по трубопроводу количеством пара. А так как воздух откачивается вакуумными насосами, то его относительное количество во всей паро-воздушной смеси непрерывно уменьшается и не оказывает существенного влияния на кинетику движения всей массы паро-воздушной смеси. При этом вакуумная система должна быть изготовлена и смонтирована с минимально допустимым натеканием через неплотности из атмосферы внутрь аппарата. Перед монтажом установки необходимо все отдельные детали и узлы проверять на плотность специальным течеискателем. После сборки всего агрегата он также проверяется на вакуумную плотность. Чувствительность течеискателя такова, что он определяет присутствие одной части гелия в 10 частях воздуха. Проверка агрегата приборами такой чувствительности позволяет вести расчет сублимационных конденсаторов по уравнениям, полученным для чистого пара. [c.230]

Величина допустимого натекания зависит от технологических требова ний к аппарату, объема вакуумной системы и производительности откачи вающих аппаратов. Нужно учесть, что при работе промышленных вакуум ных аппаратов воздух откачивается вакуумными насосами непрерывно т. е. здесь имеем динамическую вакуумную систему. Величину допустимого натекания следует выбрать такой, чтобы принятая система насосов успевала откачивать натекающий в систему газ. При очень больших объемах аппаратов достижение малых значений натекания представляет значительные трудности. [c.559]

Пример. В рабочем объеме вакуумной установки необходимо поддерживать устойчивое давление / , = 10- мм рт. ст. быстрота действия насоса 3 при давлениях 10- —10- мм рт. ст. равна 0,5 л/сек, пропускная способность трубопровода V =56 см 1сек. Определить максимально допустимую быстроту натекания. [c.260]

Справочник химика 21

Химия и химическая технология