Насос ионно-геттерный

Каратаев [276] описал быстродействующий вакуумный шлюз. Эберт [157] использовал ионно-геттерный насос. Сери и Верно [447] сконструировали устройство для поддержания постоянного питания ловушек с жидким азотом. [c.654]

Поскольку в масс-спектрометре используют поток газообразных ионов, дающих четкие траектории вследствие комбинаций электростатического и магнитного полей, то очень важно, чтобы все узлы прибора — от источника ионов до детектора — были вакуумированы. Остаточное давление не должно обычно превышать порядка 10 Па (около 10- мм рт. ст.). Для этого необходимо эффективное и длительное откачивание с помощью либо ион-геттерного, либо масляного диффузионного насоса с ловушкой, охлаждаемой жидким азотом. Важно иметь чувствительный и точный прибор для измерения давления. На рис. 22-2 показана типичная вакуумная система. [c.449]

Высоковакуумные насосы работают в области давлений 10 —10 Па, сверхвысоковакуумные—в области давлений ниже 10 Па. К ним относятся молекулярные диффузионные паромасляные, диффузионные парортутные, турбомолекулярные, сорбционные (испарительные геттерные, электродуговые гет-терные, ионно-геттерные, магнитные электроразрядные) и криогенные насосы. Таким образом, для получения высокого и сверхвысокого вакуума могут использоваться насосы одинакового типа. [c.88]

ИОННО-ГЕТТЕРНЫЕ НАСОСЫ Принцип действия [c.142]

В современных ионно-геттерных насосах обычно совмещены геттерные и ионные методы откачки. Принцип действия ионно-геттерных насосов основан на поглощении газов периодически или непрерывно наносимой пленкой титана и улучщении откачки инертных газов и углеводородов путем ионизации и улавливания положительных ионов. Испарение титана в ионно-геттерных насосах происходит, как правило, из твердой фазы. [c.143]

Принципиальная схема ионно-геттерного насоса представлена на рис. 7.37. Испарение титана на стенки водоохлаждаемого корпуса 4 насоса производится из твердой фазы с прямонакальных испарителей 2, пред- [c.143]

Рис. 7.37. Схема ионно-геттерного насоса.

Рис. 7.38. Состав остаточных газов в ионно-геттерном насосе.

В составе остаточных газов ионно-геттерных насосов (рис. 7.38), помимо обычно присутствующих в вакуумных системах водорода (массовые числа 2 и 1), паров воды (массовые числа 18 и 17), а также азота и окиси углерода (массовое число 28), наблюдаются аргон (массовое число 40) и метан (массовые числа 16 и 15). [c.144]

Быстрота действия насоса в зависимости от впуск-го давления для воздуха представлена на рис. 7.39 увеличение быстроты действия при откачке ионно-геттерного насоса дополнительным диффузионным насосом [c.144]

Рис. 7.39. Зависимости быстроты действия ионно-геттерного насоса от впускного давления для воздуха.

Рис. 7.40. Орбитронный ионно-геттерный насос.

Дальнейшим развитием ионно-геттерных насосов с испарением титана явились орбитронные ионно-геттерные насосы, в которых удачно сочетаются простота конструкций с высокой стабильностью работы. Схема орбитронного ионно-геттерного насоса показана на рис. 7.40. [c.145]

Так же, как и в предыдущей конструкции ионно-геттерного насоса, откачка активных газов орбитронным ионно-геттерным насосом идет путем поглощения их пленкой титана, непрерывно наносимой на внутреннюю поверхность корпуса насоса. [c.146]

В отличие от описанного выше ионно-геттерного насоса в орбитронном ионно-геттерном насосе благодаря увеличению длины свободного пути электронов (до нескольких метров) быстрота откачки инертных газов значительно увеличена. [c.146]

В вакуумной системе, построенной по схеме 2 табл. 14.2, в качестве сверхвысоковакуумного насоса используется ионно-геттерный или магнитный электроразрядный насос 1, который производит откачку изделия через цельнометаллический прогреваемый кран 2. [c.271]

Ионно-геттерный насос. Пароструйный диффузионный насос. Механический вакуумный насос [c.286]

Высоковакуумная откачка рабочей камеры 2 до давления 5-10- Па производится ионно-геттерным насосом 17. Для обезгаживания рабочей камеры 2 прогревом до 700 К через ее тонкие стенки пропускают электрический ток при непрерывной откачке камер 1 и 2. [c.289]

Совершенно так же параллельно ионно-геттерным насосам могут подключаться пароструйные или турбомолекулярные насосы, которые обеспечивают откачку инертных газов и метана. [c.381]

Приложение 19 Технические характеристики ионно-геттерных насосов [c.420]

Сорбционные вакуумные насосы применяют дпя создания предварительного разряжения в ионно-геттерном насосе (см. ниже) и для удаления газов, выделяемых конструкционными материалами высоковакуумных установок. В таких насосах газ, как правило, остается в насосе в связанном виде на поглощающих поверхностях или в приповерхностных слоях. [c.486]

Рис. 263. Вакуумные насосы адсорбционный (в) и ионно-геттерный (б, в)

В одной из разновидностей ионно-геттерного насоса (рис. [c.488]

ИСПАРИТЕЛЬНЫЕ ГЕТТЕРНЫЕ И ИОННО-ГЕТТЕРНЫЕ НАСОСЫ С ТЕРМИЧЕСКИМ НАПЫЛЕНИЕМ ГЕТТЕРНЫХ ПЛЕНОК [c.86]

ИСПАРИТЕЛЬНЫЕ ИОННО-ГЕТТЕРНЫЕ НАСОСЫ [c.119]

ГЕТТЕРНЫЕ И ИОННО-ГЕТТЕРНЫЕ НАСОСЫ С ПЛАЗМЕННЫМИ ИСПАРИТЕЛЯМИ [c.159]

В другой вакуумной системе (рис, 7.47, б) в качестве сверх-высоковакуумного насоса используется геттерно-ионный или электроразрядный магнитный насос 1, который производит откачку изделия через цельнометаллический прогреваемый вентиль 3. Для предварительного обезгаживания сверхвысоковакуумного насоса и вакуумной системы, а также для создания предварительного разрежения в изделии предназначен пароструйный диффузионный насос 7 с азотной ловушкой 6. Откачка изделия до давления Ю тор осуществляется механическим вакуумным насосом 9 через холодный пароструйный диффузионный насос 7. Этот насос может быть отделен от вакуумной системы цельнометаллическим прогреваемым вентилем 5. Выпускной патрубок пароструйного диффузионного насоса соединен с механическим вакуумным насосом 9 через вентиль 8. Измерение давления производится манометрическими датчиками 2 и 4. [c.460]

В масс-спектрометрии в последнее время используется также новый тип насоса — магнитно-электрораз-рядный (ионно-геттерный насос [Л. 3-2]). [c.65]

Иошю-гетгерные вакуумные насосы. Эффект ионно-геттерного откачивания газа обусловлен высокой химической активностью ионизированных молекул, способных проникать в поверхностный слой распыляемых частичек геттера и химически взаимодействовать с ним. [c.487]

Наиболее популярными среди ионно-геттерных насосов являются магнитные злектроразрядные насосы, называемые ячейками Пеннинга (рис. 263,в). [c.488]

Автор благодарит всех специалистов, предоставивших информацию или высказавших советы при обсуждении рукописи. Особо значимы здесь вклад Е. И. Контора, при участии которого написаны 3.1 и 5.4, комментарий А. И. Лившица по содержанию 6.4 и доброжелательное внимание Б. Н. Яблокова, чьи критические замечания во многом способствовали формированию окончательного научного и литературного облика книги. Автор высоко ценит дискуссии с Л. С. Гуревичем, Б. Д. Ершовым, Д. А. Карповым, В. В. Назаровым, В. В. Рябовым, Д. В. Серебренниковым и Л. В. Филипповой в процессе многолетнего" сотрудничества по созданию геттерных и ионно-геттерных насосов для электрофизических установок. С глубокой признательностью автор отмечает постоянный интерес к работе и поддержку со стороны академика АН СССР В. А. Глухих. Большую помощь при подготовке рукописи оказала О. С. Расторопова. Критические оценки и пожелания читателей будут приняты со вниманием и искренней благодарностью. [c.5]

В широко распространенных отечественных ионш-геттерных на сосах серии ГИН используется ионизатор, состоящий из прямонакаль ного вольфрамового катода и анодной сетки из молибденовой прово локи. На сетку подается положительный потенциал 1,2 кВ. Коллекто ром ионов служат стенки насоса, запыляемые геттерной пленкой. Анод ная сетка используется также как резистивный нагреватель для обезга живания насоса. [c.119]

Таблица 3.10. Основные характеристики испарительных ионно-геттерных насосов серии ГИН средней пронзводителыюсти

Эффективность систем откачки на основе МЭРН удается заметно повысить, применяя комбинированные ионно-геттерные насосы. В этих насосах в одном корпусе совмещены испарительный и магниторазрядный откачные блоки, в результате чего на распыляемые пленки геттера попадает значительное число возбувденных в разряде молекул газа, [c.214]

Таблица 5.11. Характеристики комбинированных ионно-геттерных насосов типа ЭГИН

Саксаганский Г.Л. Испарительные геттерные и ионно-геттерные насосы Обзорная информация. Сер. ХМ-6. М. ЦИНТИХимнефтемаш, 1988. [c.269]

Важная особенность вакуумной системы электронного нако-пителя-растяжителя НР-200 - применение камеры из алюминиевого сплава, изготовленной экструзионным методом. В накопитель из линейного ускорителя с частотой 300 Гц инжектируется электронный сгусток с временной протяженностью 1,4 мкс. В зависиомости от режима работы требуемое давление в камере колеблется от 1,3 10 " до 1,3-Ю Па предельное остаточное давление (без пучка) - МО Па. Для откачки накопителя используются сверхвысоковакуумные комбинированные ионно-геттерные насосы и посты предварительной откачки на основе турбомолекулярных насосов. [c.56]

Справочник химика 21

Химия и химическая технология