Цельнометаллические вакуумные системы

На смену хрупким и малонадежным стеклянным вакуумным установкам пришли цельнометаллические вакуумные системы, обладающие высокой прочностью, надежностью и удобством в эксплуатации. Для проектирования подобного рода систем необходимо четко представлять себе требования к вакууму и составу остаточной среды при напылении тонких пленок и знать современные средства получения и измерения вакуума. [c.5]

На смену хрупким в работе стеклянным ва-куумным установкам пришли цельнометаллические вакуумные системы, обладающие высокой прочностью, надежные и удобные в эксплуатации. [c.3]

В последние годы для электровакуумных приборов, откачку которых трудно механизировать, для различного рода вакуумных испытаний, а также для исследовательских работ, связанных с применением высокого вакуума, применяют цельнометаллические вакуумные системы типа откачных постов. Эти системы выполнены только из металлических элементов и соединений, включая и вакуумные уплот-20 307 [c.307]

В цельнометаллических затворах (разд. 6, 1-3) используется растяжение и сжатие сильфонов в осевом направлении. При этом один конец сильфона соединяется с патрубком вакуумной системы, а его другой конец соединяется с подвижным стержнем (рис. 5-7,а). [c.304]

Уплотняющая система затвора (диафрагмы, сильфоны и т, д,) может выходить из строя после определенного числа рабочих циклов. Это влечет за собой резкое возрастание давления в вакуумной системе. Если это произошло, то затвор следует демонтировать и заменить вышедшую из строя деталь, В уплотняющих системах затворов часто приходится заменять прокладки это, в частности, относится к цельнометаллическим затворам (см. рис, 6-103), [c.395]

Неразборные соединения представляют интерес прежде всего для разработчиков и изготовителей вакуумных систем. Однако поскольку оборудование для осаждения для некоторых частных применений или исследований часто перестраивается, оператор также должен иметь определенные знания об основных способах выполнения соединений. Выбор способа соединений зависит от свойств материалов. Неразборные соединения металлов с металлами осуществляются сваркой или пайкой твердыми припоями. Паяные мягкими припоями соединения металла с металло.м являются полу-разборными (составляющие его детали могут быть разъединены и вновь соединены без нарушения рабочих поверхностей). По мере того, как популярные ранее стеклянные вакуумные системы заменяются цельнометаллическими, стеклянные паяные соединения теряют свое значение. Однако соединения металла со стеклом и металла с керамикой для специальных вакуумных элементов применимы и по настоящее время. Третья группа вакуумных материалов, эластомеры, применяются только в разборных соединениях. [c.246]

В вакуумной системе, построенной по схеме 1 табл. 14.2, предварительная откачка изделия производится механическим вакуумным насосом 7, снабженным сорбционной ловушкой 13, через цельнометаллический прогреваемый кран 9 и электромагнитный клапан 12. Высоковакуумная откачка осуществляется через цельнометаллический кран 3 пароструйным диффузионным насосом 1, снабженным прогреваемой двухъярусной жалюзийной ловушкой 2. Обезгаживание ловушки 2 производится в два этапа сначала прогревается вся ловушка без подачи жидкого азота затем в нижний ярус подается жидкий азот, в то время как верхний ярус ловушки продолжает нагреваться. Через 30— 40 мин выключается нагрев верхнего яруса, и в него также подается жидкий азот. [c.271]

В вакуумной системе, построенной по схеме 2 табл. 14.2, в качестве сверхвысоковакуумного насоса используется ионно-геттерный или магнитный электроразрядный насос 1, который производит откачку изделия через цельнометаллический прогреваемый кран 2. [c.271]

В вакуумной системе, построенной по схеме 5 табл. 14.2, применена комбинация титанового испари-тельно-геттерного насоса 16 и магнитного электроразрядного насоса 17, которые откачивают изделие 2 через цельнометаллический кран 4. [c.277]

В вакуумной системе (рис. 7.47, а) предварительная откачка изделия производится механическим вакуумным насосом 9 через цельнометаллический прогреваемый вентиль 7. Высоковакуумная откачка осуществляется через цельнометаллический вентиль 5 пароструйным диффузионным насосом 3, снабженным прогреваемой двухъярусной охлаждаемой ловушкой 4. Выпускной патрубок насоса 3 через вентиль 2 соединяется с механическим вакуумным насосом 1. Для измерения давлений предусмотрены манометрические датчики 6 и 8. Высоковакуумная часть системы, состоящая из пароструйного диффузионного насоса 3, ловушки 4, вентилей 5 и 7 и манометрических датчиков 6 и 8, собрана в один агрегат. [c.460]

В другой вакуумной системе (рис, 7.47, б) в качестве сверх-высоковакуумного насоса используется геттерно-ионный или электроразрядный магнитный насос 1, который производит откачку изделия через цельнометаллический прогреваемый вентиль 3. Для предварительного обезгаживания сверхвысоковакуумного насоса и вакуумной системы, а также для создания предварительного разрежения в изделии предназначен пароструйный диффузионный насос 7 с азотной ловушкой 6. Откачка изделия до давления Ю тор осуществляется механическим вакуумным насосом 9 через холодный пароструйный диффузионный насос 7. Этот насос может быть отделен от вакуумной системы цельнометаллическим прогреваемым вентилем 5. Выпускной патрубок пароструйного диффузионного насоса соединен с механическим вакуумным насосом 9 через вентиль 8. Измерение давления производится манометрическими датчиками 2 и 4. [c.460]

В идеальном случае система должна состоять только из стекла, стабильной керамики с высокой плотностью и металла, устойчивого в условиях СВВ в принципе допустимо ограниченное использование в виде прокладок высокостабильных эластомеров типа витона, однако это приводит к некоторому ухудшению СВВ, поэтому применения таких прокладок следует все же избегать. Для получения СВВ требуется обезгаживание системы путем ее вакуумной термообработки при 600—700 К, в то время как в присутствии витона температура не должна превышать примерно 500 К. Откачивание обычно проводят диффузионным насосом с ловушкой, каким-либо электроразрядным или ионносорбционным насосами. Выпускается широкий ассортимент термостойких цельнометаллических кранов, а также кранов с прокладками из витона . Для небольших лабораторных систем широко используют краны с диаметром трубок и отверстий порядка 5—25 мм. Вакуумные трубопроводы обычно выполняют из стекла или нержавеющей стали или комбинируют оба этих материала. [c.343]

Предварительная откачка изделия 2 осуществляется через цельнометаллический прогреваемый кран 5 и кран 12 с резиновым уплотнением безмасляной системой, состоящей из механического вакуумного насоса 15 с адсорбционной ловушкой 10 и титанового испарительного геттерного насоса 9. Вначале изделие откачивается механическим вакуумным насосом 15 до давления 5 Па, а затем — испарительным геттерным насосом до давления 10 —10 Па. [c.277]

Во многих случаях для работы с относительно инертными газами, подобными двуокиси углерода, при конструировании систем используются обычные методы вакуумной техники. В цельностеклянной системе соединение контейнера (с образцом) с системой напуска осуществляется при помощи конических и сферических шлифов. При этом пользуются высоковакуумной смазкой или воском применяются также стеклянные краны со смазкой. В цельнометаллической системе могут использоваться вакуумные краны и соединения с резиновыми и пластическими прокладками и кольцевыми уплотнениями. [c.162]

Непрогреваемая цельнометаллическая вакуумная система из нержавеющей стали с прокладками из эластомера типа витон, откачиваемая паромасляным насосом с кремнийорганической жидкостью 704 [c.135]

При проведении работ, при которых колебание температуры составляет несколько сот градусов, в стеклянной системе реже возникают течи, чем в металлической в цельнометаллических системах различные части соединены фланцами, уплотнение которых обеспечивается металлическими или резиновыми прокладками постоянный нагрев и охлажение этих соединений может привести к течи. Однако металлическая система позволяет более точно установить отдельные части масс-спектрометра одна относительно другой катод более точно устанавливается относительно других деталей ионизационной камеры, когда он закрепляется фиксирующими штифтами гораздо труднее вставить катод, поддерживаемый длинным стеклянным штифтом, в стеклянную камеру масс-спектрометра. Металлическая система может быть собрана более надежно, чем стеклянная аппаратура окончательный монтаж металлического прибора менее тонок и меньше подвержен случайностям, чем стеклянного. Высокая теплопроводность металла способствует получению однородного нагрева всей вакуумной системы без применения специально разработанных нагревателей, создающих однородное распределение тепла по всей поверхности. [c.146]

В послевоенные годы развитие масс-спектрометрии шло по пути создания цельнометаллических вакуумных систем с применением секторного анализирующего магнитного поля [Л. 8]. Масс-спектрометр нашел применение для контроля непрерывных процессов на заводах по диффузионному разделению изотопов урана [Л. 9], на нефтеперерабатывающих заводах [Л. 10 и 11], для непрерывного контроля дыхательных процессов Л. 12 и 13], разделения и накопления стабильных изотопов [Л. 14], определения мест утечек в вакуумных металлических системах [Л. 15 и 16] и для решения многих других задач Л. 17 и 18]. Весьма большое значение за последние 20 лет масс-опектрометрия приобрела в органической химии Л. 19]. [c.8]

Большие успехи в технике высокого вакуума, достигнутые в последнее время, а именно разработка мощных вакуумных насосов и цельнометаллических конструкций для катодного возбуждения образцов (типа 1лектронных микроскопов) в значительной степени устранили трудности, связанные с работой высоковакуумных разборных электронно-лучевых трубок. Смена образцов в таких конструкциях, снабженных смотровыми окнами для наблюдения катодолюминесценции, производится без нарушения вакуума во всей системе через специальные металлические дверцы. Вместе с промежуточной откачкой объема, занимаемого образцами, эта <шерация занимает не более нескольких минут. В прибор вносится обыкно- [c.107]

Ловушки и отражатели. Задержка молекул пара, проникающих в вакуумную камеру, должна быть достигнута без чрезмерного ограничения потока откачиваемого газа. При достаточно больших величинах быстроты откачки современных насосов ее снижение даже на 50% из-за уменьшения проводимости впускного отверстия допустимо. Для улучшения коденсации паров соответствующие улавливающие конструкции нередко охлаждают. На рис. 8 показана проходная стеклянная ловушка со спиральной гофрированной медной фольгой, сочетающая в себе относительно высокую проводимость с большой площадью внутренней поверхности и, следовательно, с большой эффективностью из-за частых столкновений молекул со стенками. Она без охлаждения достаточно эффективно задерживает пары масла и в небольших стеклянных системах позволяет поддерживать давление 10 мм рт. ст. [43]. На рис. 9 представлена схема ловушки для цельнометаллических систем с внутренним сосудом для жидкого азота. Ее недостатком является возможность конденсации жидкости на неохлаж-даемой стенке, откуда масло может мигрировать в вакуумную систему и снова испаряться. Эта опасность уменьшена в ловушке Дьюара с экраном (рис. 10), в которой охлаждаются все стенки. Скорости поверхностной миграции и повторного испарения при температуре жидкого азота пренебрежимо малы. [c.189]

Дилатометрическое наблюдение реакции полимеризации становится бессмысленным или по крайней мере очень трудным, если период полупревращения реакции меньше примерно 10 мин, если концентрации мономера очень малы (меньше, скажем, Q,Qb моль л), если температура заметно ниже 0° и если при умеренных (1 моль л) или высоких (5 моль л) концентрациях нужно наблюдать за реакцией далее первых нескольких процентов превращения. Известно много специальных решений отдельных проблем такого рода, но наиболее удачным гибким прибором является адиабатический калориметр. Его применяли многие исследователи, особенно Плеш и его сотрудники их прибор подробно описан в работе [321. Если им пользоваться как вакуумным прибором, то он относится к классу (в). В системе этого типа особенно удобны цельнометаллические вентили, подобные описанному Биддалфом и Плешем [36]. Старую проблему определения веса вещества, введенного в вакууме в ампулу, затем отпаиваемую от гребенки, остроумно разрешил Рутерфорд в своем методе средней точки [40]. [c.568]

Справочник химика 21

Химия и химическая технология