Тантал соединения включения

Добавление в раствор КВг других анионов (С1 , 8042-) уменьшает возможность активирования этих металлов [102]. В опытах с меченым бромом [13] было показано, что добавление посторонних ионов, затрудняющих анодную активацию ниобия, значительно уменьшает включение ионов Вг в окисную пленку при анодной поляризации. По-видимому, в этом случае, хотя на поверхности металла существует толстая окисная пленка, адсорбционная стадия играет существенную роль в процессе анодной активации пассивного металла. Анионы брома адсорбируются на поверхности электрода не-, ред вхождением в окисную пленку, но адсорбируются слабо так, что довольно легко могут быть вытеснены другими анионами. Адсорбированные посторонние ионы препятствуют проникновению достаточных количеств Вг в окисную пленку и ее разрушению при анодной поляризации. Проникновение же посторонних анионов в окисную пленку не вызывает анодной активации, так как они, видимо, не образуют с металлом соединения с необходимыми свойствами. Частичная замена водного растворителя спиртом в этом случае вызывает соответствующее увеличение факт и затрудняет анодную активацию. Полная или достаточно большая замена водного растворителя на спиртовой приводит к устранению анодно-анионной активации. По результатам опытов с меченым бромом в присутствии спирта включение Вг в окисную пленку заметно снижается. Видимо, спирт, как и посторонние анионы, адсорбируется на поверхности электрода. Этим самым он, во-первых, препятствует проникновению Вг в окисную пленку, а, во-вторых, затрудняет участие воды в одной из необходимых стадий процесса анодно-анионной активации. Это, как предполагается, гидролиз промежуточного соединения металла с бромом, в результате которого образуется гидратированная пятиокись ниобия (тантала) в виде отдельных частиц. [c.182]

Повышенная тугоплавкость тантала ( пл = 2997°С) и его стойкость к химическим и механическим воздействиям послужили основанием для включения его в состав сплавов, пригодных для изготовления химической аппаратуры. Некоторые соединения тантала (например, оксид тантала(Ш) ТагОз, Кз[ТаРв]) используют в качестве катализаторов. [c.467]

За последние годы значительный интерес привлекла к себе система кремний — азот из-за весьма важных свойств нитрида кремния, используемых в интегральных схемах. Было установлено, что, в отличие от упомянутых выше соединений тантала или титана, для получения высококачественных пленок нитрида кремния необходимы низкие давления распыляющих газов. Следовательно, в этом случае необходимо использовать либо тлеющий разряд, поддерживаемый термоэлектронной эмиссией [109], либо высокочастотное распыление [110], По-видимому, для распыления будет достаточным давление ниже (5—10)-10 мм рт.ст. Для получения хороших результатов, в противоположность случаю системы кремний — кислород, распыление нужно проводить в атмосфере чистого азота. Вероятно, это объясняется тем, что для образования нитрида кремния необходимо присутствие атомарного азота, поскольку хемосорбции молекул N2 на кремнии не происходит. Основными частицами в плазме вблизи подложки являются ионы N2+. Ионы N+ образуются главным образом в темном пространстве [111] или путем диссоциации N2+ при ударе о поверкность катода. Следовательно, атомы азота могут попасть на подложку только тогда, когда они либо распыляются с поверхности мишени, возможно, из слоя нитрида кремния на поверхности мишени [109], либо отражаются от мишени после прохождения темного пространства. В обоих случаях атомы азота, падающие на подложку, должны испытать относительно небольшое число столкновений на пути от катода к подложке. Возможно также, что некоторые быстрые молекулы N2 внедряю гея в растущую пленку и остаются в ней в виде газовых включений [112]. [c.441]

Справочник химика 21

Химия и химическая технология