Молекулярные и турбомолекулярные насосы

МОЛЕКУЛЯРНЫЕ И ТУРБОМОЛЕКУЛЯРНЫЕ НАСОСЫ [c.21]

Турбомолекулярные насосы. Встретив непреодолимые трудности на пути повышения быстроты действия высоковакуумных молекулярных насосов, конструкторы безмасляных средств откачки предприняли попытку более активного воздействия на газ движущейся твердой поверхностью. Так появились турбомолекулярные вакуумные насосы (ТВН), сходные по устройству с многоступенчатыми осевыми компрессорами. [c.23]

Эффективная работа турбомолекулярных насосов возможна лишь при молекулярном режиме течения газа в каналах дисковых решеток. Поэтому ТВН требуют пониженного давления на выходе и используются лишь совместно с последовательно присоединенными ротационными насосами с масляным уплотнением или насосами других типов. [c.30]

Молекулярные и турбомолекулярные насосы [c.97]

На рис. 2-10 показана зависимость предельного вакуума, достигаемого турбомолекулярный насосом, от давления на стороне предварительного разрежения. Чем больше молекулярный вес откачиваемого газа, тем больше коэффициент компрессии, который для водорода составляет 250, для воздуха 5 10 Однако быстрота действия насоса по водороду значительно больше, чем 7 99 [c.99]

Турбомолекулярные насосы. Турбомолекулярные насосы с помощью быстровращающихся поверхностей, которые сообщают сталкивающимся с ними молекулам газа тангенциальный импульс, создают поток газа, направленный в сторону насоса предварительной откачки. При давлении, близком к атмосферному, ударяющиеся о вращающуюся поверхность молекулы увеличивают составляющую скорости в направлении вращения. При столкновении с другими частицами газа они передают им свой импульс. Поэтому результирующий газовый поток пропорционален вязкости газа. При низких- давлениях поток газа становится молекулярным и с вращающейся поверхностью сталкиваются практически все молекулы. В результате эффективность откачки возрастает и коэффициент компрессии уже [c.184]

Молекулярные насосы сообщают молекулам газа, соударяющимся с быстро вращающимся ротором, преимущественные скорости, направленные к выходному патрубку. Промышленное распространение получили только турбомолекулярные насосы. [c.47]

Турбомолекулярные насосы сочетают принцип молекулярного увлечения и осевого компрессора, они напоминают обращенную турбину [36]. Для того чтобы точки [c.58]

К высоковакуумным относят молекулярные и турбомолекулярные насосы. [c.124]

Как теоретически, так и практически подтвердилась возможность снятия ограничений в производительности этих насосов с сохранением всех их преимуществ. Основные преимущества турбомолекулярных насосов отсутствие нагретых элементов эффективная откачка всех без исключения газов отсутствие в среде остаточного газа компонентов с молекулярной массой больше 44 при работе без охлаждаемых ловушек сохранение максимальной 26 403 [c.403]

Молекулярные насосы характеризуются селективностью откачки. Насосы не одинаково откачивают компоненты различной молекулярной массы (рис. 349). Это свидетельствует об эффективности применения турбомолекулярного насоса в молекулярном режиме для очистки легких газов от примесей и разделения изотопов. Турбомолекулярный насос менее эффективно откачивает легкие газы, чем тяжелые, как каждый в от- [c.408]

Рис. 349. Зависимость скорости откачки промышленных турбомолекулярных насосов от молекулярной массы откачиваемого газа по Беляеву)

Высоковакуумные насосы работают в области давлений 10 —10 Па, сверхвысоковакуумные—в области давлений ниже 10 Па. К ним относятся молекулярные диффузионные паромасляные, диффузионные парортутные, турбомолекулярные, сорбционные (испарительные геттерные, электродуговые гет-терные, ионно-геттерные, магнитные электроразрядные) и криогенные насосы. Таким образом, для получения высокого и сверхвысокого вакуума могут использоваться насосы одинакового типа. [c.88]

Следующим принципиальным решением для газовой центрифуги для разделения изотопов является идея самооткачки разделённых газовых фракций из центрифуги — за счёт применения различных молекулярных (турбомолекулярных) насосов цилиндрического и торцевого типа, которые закачивают газовые компоненты, попавшие в вакуумную камеру, внутрь ротора. Это обеспечивает поддержание уровня давления Рв в вакуумной камере без внешних вакуумных установок. До использования этого решения, даже в конструкциях газовых центрифуг 60-70-х гг. каждый корпус центрифуги был оснащён специальной вакуумной трассой откачки [10]. [c.157]

Поэтому для работы турбомолекулярного насоса рекомендуется предварительное разрежение до 10 мм рт. ст. Однако насос не выйдет из строя при непрерывной работе, например, при 0,3 мм рт ст. и может выдерживать кратковременное повышение давления до атмосферного. Предельные возможности турбомолекулярных насосов, по-видимому, полнос/ью не реализованы. Исходя из коэффициента компрессии для воздуха, предельный вакуум должен быть приблизительно равен 10 мм рт. ст., однако пока чго сообщается о достижении давлений от 10 —10 мм рт. ст. [21, 22]. В состав остаточной атмосферы входят газы с наименьшими молекулярными весами, т. е. водород й, вероятно, гелий. Несмотря на то, что статор и ротор не нуждаются в смазке, однако масло используется здесь в подшипниках вала турбины. Поэтому возможность попадания в вакуумную камеру паров органически не исключена. По данным Миллерокса [23] поток проникающих через впускио отверстие молекул масла составляет приблизительно 10 в секунду. Вильямс и Бимс [24] описали еще один вариант турбомолекулярного насоса. Этот насос имеет магнитную подвеску ротора и может отжигаться при 400°С. При предварительной откачке до 6-10 мм рт. ст. было получено предельное разрежение 4 10 мм рт. ст. [c.185]