Быстрота действия высоковакуумного насоса

Формула (1.30) используется при определении быстроты действия высоковакуумных насосов, ловушек для вымораживания паров, газопоглотителей (геттеров), а также для вычисления проводимости отверстий при высоком вакууме и т. д. [c.26]

Быстрота действия высоковакуумного насоса, м /с, может быть определена по формуле [c.87]

Турбомолекулярные насосы. Встретив непреодолимые трудности на пути повышения быстроты действия высоковакуумных молекулярных насосов, конструкторы безмасляных средств откачки предприняли попытку более активного воздействия на газ движущейся твердой поверхностью. Так появились турбомолекулярные вакуумные насосы (ТВН), сходные по устройству с многоступенчатыми осевыми компрессорами. [c.23]

Пароструйные насосы можно разделить на две группы. К первой группе относятся высоковакуумные пароструйные насосы, имеющие наибольшую быстроту действия в диапазоне давлений 10 —10 мм рт. ст. и сравнительно небольшое выпускное давление (около 0,1 мм рт. ст.). Насосы этой группы имеют следующие особенности большое сечение впускного сопла (обращенного или зонтичного типа), обеспечивающее большую скорость откачки газа малый перепад давлений откачиваемого газа между разделенными струей пара частями насоса несколько ступеней с постепенно уменьшающейся быстротой действия и соответственно возрастающей способностью выдерживать более значительные перепады давлений низкое давление пара в струе за счет использования маломощных электронагревателей. [c.92]

Высоковакуумные паромасляные насосы обычно присоединяются к откачиваемому объему через короткий трубопровод, снабженный вакуумным затвором. Для расширения возможностей применения высоковакуумных паромасляных насосов отечественная промышленность выпускает вакуумные агрегаты. Агрегат, как правило, состоит из паромасляного насоса, снабженного вакуумным затвором, маслоотражателем, азотной ловушкой и рядом других вспомогательных деталей, смонтированных на одной раме. Затвор, входящий в агрегат, имеет заслонку откидывающегося типа, смонтированную на отдельном фланце. В качестве уплотнителя используется вакуумная резина. Перемещение и поджатие заслонки производится при помощи рычажно-эксцентрикового механизма, который через герметично уплотненный вал соединяется с маховиком или электромотором. Для удобства работы переходной патрубок имеет два фланца один из них расположен вверху патрубка, другой—сбоку. В соответствии с конструкцией откачной системы агрегат может быть пристыкован к пей либо боковым, либо верхним фланцем. В результате сопротивления, создаваемого потоку газа затвором, переходным патрубком и азотной ловушкой, эффективная быстрота действия вакуумного агрегата примерно в 4 раза меньше, чем расчетная быстрота действия установленного на агрегате паромасляного насоса. [c.97]

Высоковакуумные вентили. Такие вентили располагают между камерой и высоковакуумным насосом. Основное требование, предъявляемое к ним, — обеспечение высокой пропускной способности для сохранения максимальной быстроты откачки насоса. Кроме того, поскольку внутренние элементы открытого вентиля экспонируются внутрь высоковакуумной системы, то они должны иметь минимальные утечки и газоотделения. Для уменьшения сорбции атмосферных газов на внутренних поверхностях вентиля, он устанавливается таким образом, чтобы при напуске воздуха в камеру эти поверхности оставались под вакуумом. Наибольшее распространение в вакуумной технике получили высоковакуумные вентили (затворы) шиберного типа. Хотя внешние механизмы управления затворов различных марок могут существенно отличаться, принцип действия их остается одним и тем же. Этот принцип иллюстрируется рис. 83. Перекрытие устройства осуществляется с помощью диска с закрепленной в канавке круглой кольцевой прокладкой. Диск прижимается к проходному отверстию за счет передачи усилия от опускаемого каким-либо образом вниз штока через рычажный механизм. Для облегчения скольжения штока вдоль направляющей стенки корпуса часто используются шарикоподшипники. При подъеме штока диск опускается на несущие шасси. Для представленного на рис. 83 варианта включения затвора внутренние его поверхности, за исключением поверхности самого диска, при напуске воздуха в камеру остаются под вакуумом. Этот случай более предпочтителен, хотя в нем для фиксации диска необходимо прилагать значительные механические усилия, превышающие по величине силу, обусловленную атмосферным давлением на диск. Для уплотнения штока обычно используют либо двойные круглые кольцевые прокладки, либо устройства типа Вильсона (см. рис. 79). Натекание через них при неподвижном штоке пренебрежимо мало. Увеличение натекания при открывании или закрывании затвора находится в допустимых пределах, так как оно происходит или в самом начале вакуумного цикла, или непосредственно перед напуском воздуха. Применение полностью герметичных устройств для движения штока оправдано только в специальных случаях, например, в системах ионного распыления, в которых затвор приводится в действие в наиболее критические моменты рабочего процесса. Для регулировки быстроты откачки камеры высоковакуумным насосом затвор перекрывается лишь частично (дросселирование). В этой ситуации натекание газа при перемещении штока приводит к нежелательному загрязнению рабочего газа. Корпус затвора и его внешние детали изготавливаются обычно из мягких или нержавеющих сталей, а также из алюминиевых сплавов. Соединение затворов с вакуумной си- [c.287]

Высоковакуумные пароструйные насосы. Высоковакуумные пароструйные насосы предназначены для создания и поддержания в вакуумных системах низких давлений (10 — 10 мм рт. ст.). Откачивающее действие высоковакуумных пароструйных насосов основано на диффузии газа в паровую струю, непрерывно истекающую из сопла со сверхзвуковой скоростью. Так как скорость диффузии обратно пропорциональна плотности среды, то для получения возможно большей быстроты действия насоса плотность струи должна быть достаточно малой. Поэтому в высоковакуумном насосе паровая струя истекает р вакуум, создаваемый вращательным масляным насосом, устанавливаемым последова- [c.17]

Расчеты показывают, что максимальная быстрота действия достигается при угле наклона пазов около 30°. С другой стороны для получения достаточно высокой степени сжатия в одной ступени (от 3 до 5) угол наклона паза должен быть не более 20°. Поэтому в современных насосах высоковакуумные ступени выполняются с углом наклона 35°, а все остальные — 20 . [c.131]

После того как выбран тип насоса предварительного разрежения, необходимая быстрота действия его 5н.всп определяется исходя из максимального количества газов С макс, которое предполагается удалять высоковакуумным насосом [c.380]

Эффективная быстрота откачки для вакуумных систем, оснащенных диффузионным насосом, обычно в 2 раза меньше быстроты действия насоса (см. 19.1). В связи с этим выбираем высоковакуумный паромасляный диффузионный насос Н-250/2500, имеющий быстроту действия 1800 л/с (см. приложение 15). [c.403]

Рис. 1.1. Стоимость (условные единицы) на единицу быстроты действия промышленных высоковакуумных насосов различной производительности

Другим нетрадиционным методом высоковакуумной откачки является каталитическое окисление водорода каталитические насосы). В центральной части модели каталитического насоса установлены накаленные сетки из рениевой или иридиевой проволоки общей площадью 460 см . Сетки окружены экранами, покрытыми слоем закиси меди. Площадь экранов 1,23 м , их температура 530 К. Рядом с экранами размещена ловушка, охлаждаемая жидким азотом. Молекулы водорода с вероятностью около 0,4 диссоциируют на накаленных сетках. Образующийся атомарный водород с высокой скоростью восстанавливает закись меди. Выделяющиеся в процессе этой реакции водяные пары конденсируются на охлажденных поверхностях ловушки. Быстрота действия насоса — около 6 м /с, потребляемая мощность — свыше 13 кВт. Применение дорогостоящего рения или иридия связано с возможностью отравления обычно используемого вольфрама азотом и оксидом углерода. Кроме того, на скорость термической диссоциации водорода на вольфраме сильно влияет кислород. [c.262]

В качестве высоковакуумного средства откачки служит паромасляный насос 3, имеющий быстроту действия 9000 л/с, соединенный для создания предварительного вакуума с механическим форвакуумным насосом 1. Для уменьщения миграции масла в рабочую камеру на форвакуумном трубопроводе, а также на входном патрубке паромасляного насоса установлены соответственно азотные ловушки 2 и5. [c.85]

В настоящее время разраоо-тано и эксплуатируется огромное количество адсорбционных вакуумных насосов различной конструкции и назначения, от небольших стеклянных ловущек, заполненных сорбентом, до крупных систем специального назначения с быстротой действия по водороду и гелию в десятки тысяч литров в секунду. Небольшие адсорбционные насосы широко применяются как удобные безмасляные насосы предварительного разрежения. Они используются в сочетании с испарительными геттерными и магниторазрядными насосами для откачки полностью безмаслянных высоковакуумных систем. [c.76]

Вспомогательные (бустерные) насосы. Почти все высоковакуумные насосы удовлетворительно работают при впускных давлениях, не превышающих мм рт. ст., так как имеют паровые струи малой плотности. При более высоких впуомных давлениях паровая струя разрушается и быстрота действия высо-ковакуумиого насоса резко падает. [c.22]

В отличие от высоковакуумных насосов, где откачивающее действие обусловлено диффузией откачиваемого газа в струю пара, в бустерных насосах решающую роль играет явление вязкостного захвата откачиваемого газа струей пара, которая в этом случае имеет значительно большую плотность. Такого рода паромасляный насос может быть использован непосредственно для откачки системы со з1начительным газовыделением или же совместно с высоковакуумным насосом, обладающим большой быстротой действия, будучи вк рчен между ним и насосом предварительного разрежения. [c.22]

Так как давление р на входе в основной насос и давление Рг на входе во вспомогательный насос различны, то и быстрота действия Зц.осн будет отличаться от 5н.всп. Давление р2 на входе во вспомогательный насос должно быть меньше давления Рнаиб (обычно приводится в паспорте высоковакуумного насоса) на выходе из высоковакуумного насоса, так как рнаиб является наибольшим давлением на выходе, при котором еще работает высоковакуумный насос. [c.379]

Для создания предварительного разрежения в высоковакуумном насосе выбираем механический вакуумный насос 2НВР-5Д, который имеет среднюю быстроту действия 5 л/с в диапазоне давлений 10 —10 Па (см. приложение 12). [c.403]

Профилактичес сим средством против возникновения нестабильностей является периодическая аргонная обработка внутренней поверхности и электродной системы МЭРН, а также откачиваемых ими металлических высоковакуумных систем. Эту обработку проводят, возбуждая разряд в среде чистого аргона при давлении 10 — 10 Па в режиме его непрерывной прокачки с помощью вспомогательного насоса. Интенсивное ионное распьшение всех поверхностей, имеющих отрицательный потенциал, приводит к их быстрой очистке и резко уменьшает вероятность возникновения аргонной нестабильности кроме того, заметно увеличивается быстрота действия и сокращается время достижения предельного остаточного давления. Полезен также периодический прогрев электродной системы. [c.189]

Разрядные насосы — одно из наиболее широко распространенных средств высоковакуумной откачки. Промышленными сериями выпускаются насосы с быстротой действия 5 10" - 10 м /с изготавливаются также единичные образцы большей производительности. Насосы различных фирм оптимизированы по конструктивным решениям электродной системы, магнитным и электрическим характеристикам, так что эти решения и характеристики можно рассматривать как типичные для современных МЭРН. [c.201]

В настоящее время разрабатываются качественно новые вакуумные системы, основанные на использовании явлений криоконденсации, криосорбции, криозахвата и обеспечивающие высокий и сверхвысокий вакуум. Потребность в высоковакуумных насосах постоянно растет, с одной стороны, из-за появления новых областей применения, а с другой — из-за того, что для многих процессов, осуществляемых в вакууме, предъявляются повышенные требования к чистоте свободной от углеводородов атмосферы остаточных газов, низкому остаточному давлению и с учетом возможного малого времени откачки к высокой удельной быстроте действия (отнесенной к площади входного сечения насоса). По этим параметрам крионасосы превосходят многие высоковакуумные насосы. При создании криовакуумных насосов необходимо обеспечить равномерное намораживание твердого конденсата (криослоя) на криоповерхности (рис. 4.1). [c.147]

Таким образом, нижиее сопло начинает и продолжает работать именно на этих легких фракциях масла. В центральной же камере 1 масло постепенно освобождается от лег.ких фракций и в верхнее, высоковакуумное сопло попадают пары только тяжелых фракций, на которых оно и работает. В результате насос может создавать устойчивое предельное давление 1-10 мм рт. ст. и ниже. Остальные параметры насоса критическое давление 0,05 мм рт. ст., быстрота действия 40 л сек при давлении 10 мм рт. ст. [c.123]