Принципы действия насосов высокого вакуума

ПРИНЦИПЫ ДЕЙСТВИЯ НАСОСОВ ВЫСОКОГО ВАКУУМА [c.101]

Ртутные пароструйные насосы. Ртутные пароструйные насосы высокого вакуума теперь, без всякого сомнения, наиболее распространены в лабораторной технике. Изящество самого принципа работы, простота устройства, позволяющая изготовлять их почти в любой стеклодувной мастерской, и надежное действие делают эти приборы незаменимыми при работе с высокими степенями разрежения. [c.112]

К компрессорным машинам относят также вентиляторы и газодувки, а также вакуум-насосы. По развиваемому давлению их разделяют на группы 1) низкого давления (до 0,01 МПа)— вентиляторы 2) среднего давления (от 0,01 до 0,3 МПа)—газодувки 3) высокого давления (от 0,3 МПа и выше) — компрессоры 4) вакуум-насосы — разрежение >0,05 МПа. Газодувки, вентиляторы и вакуум-насосы объединяет с компрессорами общий принцип действия, хотя их конструктивное оформление существенно отличается. Так, например, если для установки необходим центробежный вентилятор высокого давления, то для напора р Я 12 кПа можно использовать газодувку с другой стороны, если напор 18 кПа, то газодувку следует рассчитывать как компрессор. [c.104]

Высоковакуумные вентили. Такие вентили располагают между камерой и высоковакуумным насосом. Основное требование, предъявляемое к ним, — обеспечение высокой пропускной способности для сохранения максимальной быстроты откачки насоса. Кроме того, поскольку внутренние элементы открытого вентиля экспонируются внутрь высоковакуумной системы, то они должны иметь минимальные утечки и газоотделения. Для уменьшения сорбции атмосферных газов на внутренних поверхностях вентиля, он устанавливается таким образом, чтобы при напуске воздуха в камеру эти поверхности оставались под вакуумом. Наибольшее распространение в вакуумной технике получили высоковакуумные вентили (затворы) шиберного типа. Хотя внешние механизмы управления затворов различных марок могут существенно отличаться, принцип действия их остается одним и тем же. Этот принцип иллюстрируется рис. 83. Перекрытие устройства осуществляется с помощью диска с закрепленной в канавке круглой кольцевой прокладкой. Диск прижимается к проходному отверстию за счет передачи усилия от опускаемого каким-либо образом вниз штока через рычажный механизм. Для облегчения скольжения штока вдоль направляющей стенки корпуса часто используются шарикоподшипники. При подъеме штока диск опускается на несущие шасси. Для представленного на рис. 83 варианта включения затвора внутренние его поверхности, за исключением поверхности самого диска, при напуске воздуха в камеру остаются под вакуумом. Этот случай более предпочтителен, хотя в нем для фиксации диска необходимо прилагать значительные механические усилия, превышающие по величине силу, обусловленную атмосферным давлением на диск. Для уплотнения штока обычно используют либо двойные круглые кольцевые прокладки, либо устройства типа Вильсона (см. рис. 79). Натекание через них при неподвижном штоке пренебрежимо мало. Увеличение натекания при открывании или закрывании затвора находится в допустимых пределах, так как оно происходит или в самом начале вакуумного цикла, или непосредственно перед напуском воздуха. Применение полностью герметичных устройств для движения штока оправдано только в специальных случаях, например, в системах ионного распыления, в которых затвор приводится в действие в наиболее критические моменты рабочего процесса. Для регулировки быстроты откачки камеры высоковакуумным насосом затвор перекрывается лишь частично (дросселирование). В этой ситуации натекание газа при перемещении штока приводит к нежелательному загрязнению рабочего газа. Корпус затвора и его внешние детали изготавливаются обычно из мягких или нержавеющих сталей, а также из алюминиевых сплавов. Соединение затворов с вакуумной си- [c.287]

Машины для сжатия газов от нормального (и выше) до более высоких давлений называются компрессорами, а машины, всасывающие газы из разреженной среды и сжимающие их до нормального давления или несколько выше, — вакуум-насосами. Во всех случаях газу, как и капельной жидкости в насосах, сообщается определенное количество потенциальной (давление) и кинетической энергии. В одних машинах газу сообщается преимущественно потенциальная энергия (давление) путем сжатия его поршнем с возвратно-поступательным движением (поршневые компрессоры) или вращательным (ротационные компрессоры), в других — преимущественно кинетическая энергия, преобразующаяся затем в энергию давления (центробежные, осевые и струйные компрессоры). Отличаясь принципом действия и конструкцией, каждый из указанных типов машин имеет свой диапазон рабочих условий и определенную область наивыгоднейшего применения. [c.134]

Конденсационно-сорбционные ловушки. При сверхвысоком вакууме ловушки, охлаждаемые ожиженными газами, не улавливают всех нежелательных примесей, попадающих в объем при работе масляных насосов. Различные схемы откачки имеют своей целью вообще исключить применение диффузионных паромасляных и форвакуумных масляных насосов для того, чтобы гарантировать отсутствие масляных паров в области сверхвысокого вакуума. Однако в некоторых случаях можно преодолеть это затруднение применением конденсационно-сорбционной ловушки. Ряд авторов предлагают различные конструкции ловушек, которые, по их мнению, обеспечивают полное улавливание паров масла. Принцип действия таких ловушек тот же, что и сор бционных насосов. Если применить в такой ловушке яспарение титана, то благодаря высокой сорбционной способности распыленного титана, в особенно- сти при низких температурах, слой титана будет интенсивно поглощать метан, водород, окись углерода, аргон и другие газы. [c.426]

Принцип действия такой машины (рис. 474) состоит в том, что воду испаряют в замкнутом сосуде под разрежением. Как было указано, для понижения температуры испарения воды до = 0° С требуется очень глубокий вакуум, так как этой температуре соответствует давление испарения 0,0062 ата, т. е. 4,5 лгж рт. ст. Такое низкое давление поддерживают в системе следующим образом. Рабочий пар из генератора 1, имея достато чно высокое давление, поступает в эжектор 2 и, расширяясь в сопле эжектора, понижает свое давление до давления в испарителе 3. При этом он приобретает значительную скорость, засасывает холодные пары из испарителя и смешивается с ними в диффузоре эжектора смесь паров сл имается до давления, равного давлению в конденсаторе 4, в котором она сжижается. Сконденсированная вода частично перекачивается насосом 5 обратно в генератор частично поступает через регулирующий вентиль 6 в испаритель, где она отнимает тепло от охлаждаемой среды. [c.695]

Из рассмотрения принципа действия эжекторных сопел следует, что они, вобще говоря, не предназначены для присоединения непосредственно к высоковакуумной системе и могут служить лишь в качестве вспомогательных, т. е. промежуточных сопел, располагаемых между высоковакуумным (диффузионным) соплам и насосом предварительного вакуума. Существуют и специальные эжекторные насосы, в конструк.цию которых входят только эжекторные сопла. Такие насосы рационально использовать также в качестве вспомогательных насосов, располагаемых между диффузионными и вращательными масляными насосами. Применение их в качестве самостоятельных насосов, непосредственно присоединяемых к вакуумной системе, оправдывается лишь в тех случаях, когда требуется быстрое разрежение до не очень высокого вакуума, чего нельзя получить от вращательных масляных насосов. [c.111]

Справочник химика 21

Химия и химическая технология