Ионизационный электроразрядный манометр

Преимущество магнитного электроразрядного манометра состоит в том, что он не имеет накаленного катода, благодаря чему в эксплуатации он является более надежным, чем ионизационный манометр, и [c.529]

Следует отметить некоторые преимущества магнитных электроразрядных манометров по сравнению с ионизационными манометрами, использующими в качестве источника электронов накаленный катод. Накаленный катод (в качестве которого чаще всего применяется вольфрам), во-первых, легко выходит из строя при проникновении в вакуумную систему воздуха, а во-вторых, вносит в манометр пары вольфрама, давление которых при рабочей температуре катода составляет около 10 мм рт ст. Измерительная схема магнитного манометра проще, а диапазон давлений, который он может измерять, значительно шире. Вместе с тем магнитный манометр [c.146]

Магнитные электроразрядные манометры хотя и работают в указанном диапазоне давлений, однако вследствие нестабильности разряда они обеспечивают значительно меньшую точность измерения по сравнению с ионизационными манометрами. [c.148]

К классу ионизационных манометров отнесена большая группа приборов термоэлектронный, магнитный и радиоизотопный, принцип действия которых основан на ионизации молекул газа в объеме манометрического преобразователя. Существующее для них название электроразрядные манометры , на наш взгляд, не совсем правильно, так как наличие разряда является необходимым, но недостаточным условием работы этих приборов. [c.4]

Различные газы. Данные по сравнению чувствительности магнитного электроразрядного манометра к различным газам не очень достоверны. Если расположить наиболее распространенные газы в порядке возрастания чувствительности к ним магнитного электроразрядного манометра, то этот порядок оказывается тем же, что и для электронного ионизационного манометра. Это хорошо доказано опытами Фута [48]. Были испытаны воздух, азот, кислород, гелий и пары воды. В качестве эталонного использовался масляный компрессионный манометр, проградуированный по ртутному манометру Мак Леода. Опыты проводились на двух магнитных электроразрядных манометрах, имеющих различную геометрическую форму. Абсолютные показания этих манометров существенно отличались, но зависимость показаний от рода [c.143]

Сравнивая эти цифры с данными, полученными для ионизационного или магнитного электроразрядного манометра, видим, что для благородных газов они хорошо взаимно согласуются, [c.147]

Н и ч и п о р о в и ч Г. А. Сравнительная калибровка ионизационного магнетронного манометра и магнитного электроразрядного манометра в условиях сверхвысокого вакуума. Приборы и техника эксперимента , № 6, 150 (1966). [c.270]

Теплоэлектрические, ионизационные, радиоактивные и магнитные электроразрядные манометры не поддаются точному расчету и обычно градуировка этих манометров выполняется по ртутному компрессионному манометру. [c.48]

Градуировка, магнитного электроразрядного манометра. Аналогично тепловым или ионизационным манометрам градуировка магнитного электроразрядного манометра производится путем сравнения его показаний с показаниями компрессионного манометра при это М для приведения сравниваемых манометров к одинаковым условиям необходимо применять. вымораживание паров [c.251]

Градуировка магнитного электроразрядного манометра. Аналогично тепловым или ионизационным манометрам градуировка магнитного электроразрядного манометра произво" [c.245]

Все описанные манометры (теплоэлектрические, ионизационные с накаленным катодом, радиоактивные и магнитные электроразрядные) не могут быть рассчитаны, а непременно требуют градуировки по абсолютному манометру. [c.147]

Если система электродов магнитного электроразрядного или электронного ионизационного манометров помещена непосредственно в вакуумный сосуд, то вряд ли возможен случай изменения температуры в сосуде при неизменной температуре манометра, или наоборот. Следовательно, показания таких манометров должны изменяться с изменением щ и пе зависеть от Т . [c.152]

Самые низкие давления (вплоть до 10 мм рт. ст.) получаются путем использования свойства некоторых манометров (ионизационных с горячим катодом и магнитно-электроразрядных с холодным катодом) поглощать при своей работе остаточные газы. Однако, если ограничиться только удалением воздуха из какого-либо прибора, то после его отсоединения от вакуумной системы в приборе будет наблюдаться довольно быстрое повышение давления. Причиной этого является выделение газов со стенок и из внутренних деталей прибора. [c.11]

Для достижения нужной степени ионизации газа необходимо создать достаточный поток электронов. Эта задача по-разному решена в ионизационных манометрах различных типов. Все манометры делят на три основные группы электронные с горячим катодом, радиоактивные или радиоизотоп-ные и магнитные электроразрядные с холодным катодом. [c.535]

Ионизационные манометры, к которым относятся электронные ионизационные манометры, магнитные электроразрядные манометры и радиоизотопные манометры, используются для измерения малых давлений в области высокого и сверхвысокого вакуума. Действие этих приборов основано на использовании ионизации газа. Электронный ионизационный манометр состоит из манометрического преобразователя (лампы типов ЛМ-2, ИМ-4, ИМ-7Л, ИМ-9, ИМ-11 и ИМ-12) и измерительного блока, обеспечивающего питание преобразователя и измерение необходимых параметров. Манометрический преобразователь в простейшем виде представляет собой трехэлектродную конструкцию, в которой анод, выполненный в виде редкой цилиндрической сетки и имеющий высокий потенциал (100—200 В), создает сильное ускоряющее поле для электронов, эмиттированных нагретым катодом. Электроны ионизируют молекулы разреженного газа, образующиеся иоиы собираются коллектором, расположенным за анодом и имеющим отрицательный потенциал (20—100 В). [c.175]

Из многочисленных и разнообразных манометров, предназначенных для измерения среднего, высокого и сверхвысокого вакуума, в технике наиыления тонких пленок наиболее широкое применение получили теплоэлектрические, ионизационные с накаленным катодом, радиоактивные и магнитные электроразрядные манометры. [c.136]

Другим недостатком манометра является то, что его прудно хорошо обезгазить. Этим и объясняется то, что с помощью одного только магнитного манометра не удается откачать вакуумную установку до очень высокого вакуума, несмотря на то, что сам манометр одновременно является насосом. Откачивающее действие манометра связано с адсорбцией ионов на постоянно обновляющемся слое металла на стенках манометра, возникающем вследствие распыления электродов. Поэтому магнитный электроразрядный манометр может так же, как и ионизационный манометр с горячим катодом, искажать результаты измерений. Нестабильность разряда вносит неточности в показания магнитного манометра, которые при давлении Ю- —10 мм рт. ст. примерно соответствуют 20%, что существенно больше, чем у ионизационного манометра. [c.147]

Данные по градуировке ионизационных манометров, которые использовались в Радиационной лаборатории, не являются особенно достоверными тем не менее среди них есть несколько хороших типовых кривых для некоторых газов. Фут [48] в связи с работой над магнитным электроразрядным манометром онубли- [c.134]

Совершенно ясно, что ряд перечисленных способов определения течей требует применения соответствующих приборов. Большинство таких приборов было рассчитано на показание изменения давления, вызванного проникновением газа или конденсирующихся наров в вакуумную камеру. Такими приборами являются теплоэлектрический манометр Пирани, рт тный или масляный, термопарный и ионизационный манометры, манометр Кнудсена и магнитный электроразрядный манометр. Эти приборы используют [c.205]

После предварительной откачки установки насосами производится обезгаживание стеклянных деталей путем их длительного прогрева в течение нескольких часов в условиях непрерывной откачки. После этого производится обезгаживание внутренних частей ионизационных манометров путем интенсивной электронной бомбардировки при положительном потенциале коллектора ионов. Затем перекрывают металлический вентиль, отсоединяя тем самым откачиваемый объем от паромасляного насоса, после чего откачка объема производится за счет работы конизационно-го манометра. Помимо ионизационного манометра с горячим катодом для получения сверхвысокого вакуума иногда используют также откачивающее действие магнитного электроразрядного манометра специальной конструкции. [c.51]

Далее следует отметить, что ш чувствительности при ниаких давлениях магнитный электроразрядный манометр, к сожалению, неравноценен ионизационному нижний предел измеряемых давлений ограничивается порядком [c.251]

Интенсивность основных ионных иучков является одним из наиболее чувствительных критериев давления в трубке. Тем не менее удобно, хотя и не всегда обязательно, производить самостоятельные измерения давления. Ионизационный или термоэлектрический манометры (манометр Пирани), присоединяемые к источнику ионов или к насосам, служат для указания того давления в приборе, при котором безопасно включать нить накала катода источника ионов. Применяя соответствующее реле вакуума, можно заставить ток нака.ла автоматически выключаться, как только давление в ионном источнике превысит определенную величину (это случается при авариях в напускном устройстве, когда в ионный источник входит слишком много исследуемого газа) [56]. В ряде случаев вместо ионизационных манометров, требующих при пользовании ими большой аккуратности, применяются магнитные электроразрядные манометры (типа Филипса) [39]. Можно пользоваться также компрессионным манометром Мак-Леода, который обычно располагают между насосом и ло-вушкор . [c.75]

Мы рассмотрим семь типов маеометров, Получивших наибольшее распространение, а именно манометры и-образные, стрелочный, компрессионный, тепловые, ионизационный, радиоактивный и матнитный электроразрядный манометр. [c.196]

Для измерения давления от 0,1 МПа до 1,3 10 Па (от 760 до 10 мм рт ст) в лабораториях применяют компрессионные манометры — различные разновид ностн манометра МаклеоДа Для их заполнения тре буется ДО нескольких килограммов ртути, поэтому при аварии они представляют серьезную опасность Не которые конструкции манометров Маклеода не отвеча ют современным требованиям техники безопасности Учитывая эти обстоятельства, следует но возможности заменять в лабораториях стеклянные вакуумметры, содержащие большое количество ртути, на безопасные и удобные в работе теплоэлектрические вакууммет ры (термопарные и вакуумметры сопротивления), электроразрядные, а также ионизационные вакууммет ры (электронно ионизационные и радноизотопиые) [34] [c.268]

Для технических измерений наибольшее распространение получили теплоэлектрические, ионизационные и магнитные электроразрядные вакуумметры. Грузопоршневые, и-образные, компрессионные, радиометрические, термомолекулярные и мембранно-емкостные манометры чаще используются в качестве образцовых приборов при градуировке рабочих вакумметров. Принцип действия теплоэлектрического измерителя малых давлений основан на зависимости теплопроводности газа от давления, а сам измеритель состоит из манометрического преобра- [c.173]