Справочник химика 21

Химия и химическая технология

Статьи Рисунки Таблицы О сайте English

Плазменное окисление

    ПЛАЗМЕННОЕ ОКИСЛЕНИЕ МЕТАЛЛОВ И ПОЛУПРОВОДНИКОВ [c.343]

    Широкие вариации условий плазменного окисления дают возможность изменять не только скорость процесса, но и его механизм, а в связи с этим — состав и свойства растущей пленки оксида. [c.344]

    ОБЪЕКТЫ И МЕТОДЫ ИССЛЕДОВАНИЙ ПЛАЗМЕННОГО ОКИСЛЕНИЯ [c.344]

    ОСНОВНЫЕ ЗАКОНОМЕРНОСТИ ПЛАЗМЕННОГО ОКИСЛЕНИЯ МЕТАЛЛОВ И ПОЛУПРОВОДНИКОВ [c.345]


    Влияние температуры образцов. Энергия активации. Скорость плазменного окисления металлов и полупроводников растет с повышением температуры. Соответствуюш,ие экспериментальным зависимостям эффективные энергии активации приведены в табл. 5.3 [26, 27]. Учитывая относительность этих данных, зависяш,их от многих деталей условий эксперимента, следует тем не менее отметить, что энергия активации плазменного окисления суш,ественно ниже, чем для термического окисления как в диффузионной стадии ( д), так и в стадии химического взаимодействия (Ес). [c.346]

    Материал Плазменное окисление Термическое окисление  [c.347]

    МЕХАНИЗМ ПЛАЗМЕННОГО ОКИСЛЕНИЯ МЕТАЛЛОВ И ПОЛУПРОВОДНИКОВ [c.348]

    При анализе механизма плазменного окисления целесообразно выделить два вопроса  [c.348]

    Феноменологические модели плазменного окисления, предложенные в ряде работ [21, 34—39], рассматривают диффузию или дрейф в поле объемного заряда отрицательных ионов кислорода Ог"" или О"". В некоторых моделях учитывается встречный поток ионов металла [40]. [c.348]

    Из того факта, что энергия активации плазменного окисления меньше, чем термического, следует разумное предположение о разной природе реагируюш их частиц в этих случаях. В ряде работ в качестве основной реагируюш,ей частицы плазменного окисления рассматривается атомарный кислород [31, 38, 46]. [c.349]

    Накопление функциональных групп является первой стадией деструкции ВМС. Наиболее наглядно закономерности этой стадии проявляются при плазменном окислении докозана, который можно рассматривать как модель полиолефинов [51, 59.  [c.358]

    Влияние давления и состава плазмообразующего газа. Практически при любой организации плазменного окисления изменение давления вызывает прохождение скорости процесса через максимум. Положение максимума зависит от геометрии реактора и рассеиваемой мощности, но в большинстве случаев отвечает давлению кислорода от 20 до 40 Па. Добавки к кислороду инертных газов оказывают влиянрхе как на скорость окисления, так и на предельную толщину оксидной пленки (табл. 5.4) [26]. Малые добавки фторсодержащпх газов увеличивают скорость окисления, в то же время действие Пг, Н2О, N20 противоположно [28]. По-видимому, действие фторсодержащих газов связано с эффектом травления, изменяющим структуру поверхностного слоя. [c.346]

    Влияние рассеиваемой в разряде мощности и тока анодирования. Большинство исследова-лей отмечает лишь возрастание скорости плазменного окисления с ростом вкладываемой в разряд мощности [21, 22, 29, 30]. Однако в работе [31] наблюдалось прохождение скорости окисления кремния в ВЧ-разряде с ростом рассеиваемой мощности через максимум. Увеличение тока анодирования приводит к линейному или к более медленному, чем линейный, росту скорости процесса. При постоянном токе анодирования скорость роста оксидной пленки лишь незначительно возрастает с увеличением рассеиваемой в разряде мощности. В то же время в условиях СВЧ-разряда наблюдалась немонотонная зависимость скорости анодирования от тока формовки при постоянной, рассеиваемой в разряде [c.346]


    Сам факт возрастания скорости плазмоинициированной окислительной деструкции полимеров с температурой хорошо известен, хотя энергия активации процесса определена в сравнительно небольшом числе случаев. Суш ественно, однако, что процесс, как правило, не может быть охарактеризован одной энергией активации. Так, на основе анализа экспериментальных данных в работах К. А. Валиева и др. [54—56] показано, что энергия активации плазменного окисления полиметилметакрилата зависит от мощности разряда и состава газовой фазы. При высокой температуре энергия активации составляет 10—27 ккал/моль, при низкой— всего 3—6,5 ккал/моль. По мнению авторов, границей температурных областей является температура стеклования полиметилметакрилата. [c.355]

    Таким образом, многоканальность плазменного окисления и изменение вкладов каналов с внешними условиями (мощность давление, поток, состав газовой фазы и т. д.) может быть причиной изменения энергии активации. Кроме того, если процесс лимитируется диффузией активных частиц в объеме полимера, аналогичный эффект может быть вызван фазовыми переходами в полимере, инициирз/ емыми изменением температуры или воздействием плазмы. [c.356]

    Основными газообразными продуктами плазменного окисления карбоцеиных полимеров являются СО2, СО, Н2О, Н2. Характерные скорости их образования представлены в табл. 5.7 [51  [c.356]


Смотреть страницы где упоминается термин Плазменное окисление: [c.189]    [c.462]    [c.486]   
Технология тонких пленок Часть 1 (1977) -- [ c.486 ]




ПОИСК





Смотрите так же термины и статьи:

Исследование процесса окисления азота в плазменных реакторах

Кремния двуокиси пленки плазменным окислением

Плазменное окисление металлов и полупроводников



© 2024 chem21.info Реклама на сайте