Уплотнение вводов в вакуумное пространство

Вводы для передачи движения. Для правильного функционирования внутренних элементов вакуумной системы, таких как затворы, модуляторы света, держатели сменных масок и подложек и т. д. необходима передача внутрь вакуумной камеры поступательного, вращательного или колебательного движения. К настоящему моменту уже разработан много вариантов вводов этого типа и непрерывно продолжается разработка модификаций [248]. Наибольшее применение для передачи движения нашли вводы с прокладками из эластомеров, с металлическими сильфонами или с магнитным приводом. Несколько вариантов вводов с уплотнителями на валу из эластомеров показаны на рис. 79. В варианте а используется двойное уплотнение кольцевыми прокладками, допускающее как возвратнопоступательное, так и вращательное движение, см. разд. 4 Б, 2). Обычно вал центрируется самими прокладками, однако иногда для обеспечения более высокой точности центровки применяются внешние шарикоподшипники. Для уменьшения трения используются силиконовые масла, имеющие низкое давление паров. Это особенно существенно для вводов с возвратно-поступательными перемещениями. Для вводов вращения можно использовать специфические антифрикционные свойства тефлоновых прокладок (или резиновых прокладок, покрытых тефлоновыми оболочками). Пространство между валом и отверстием можно либо откачивать для обеспечения охранного вакуума, либо заполнять маслом или специальной антифрикционной смазкой. Последний вариант характерен для высоковакуумных вентилей с линейным перемещением штока. Такие вводы серийно выпускаются с диаметрами вала от 6 до 50 мм, линейным перемещением до 10 см и скоростью вращения до 500 об/мин. Некоторые типы вводов вращения с антифрикционной смазкой позволяют увеличить скорость вращения более чем до 1000 об/мин, при скорости натекания не выше 10 мм рт. ст. л с 1. Применение вводов с уплотнителями на валу для вакуумных систем с давлением ниже 10 мм рт. ст. проблематично, особенно если требуется обеспечить возвратно-поступательное движение. Последние часто являются причиной резких изменений уровня вакуума вплоть до двух порядков величины, в зависимости от амплитуды перемещений, скорости вращения и типа антифрикционной смазки, На рис. 79, б [c.281]

Уплотнение вводов в вакуумное пространство [c.386]

Уплотнение вводов в вакуумное пространство. Место ввода в вакуумную систему должно быть тщательно уплотнено. Наиболее распространенным уплотнением является сальник с резиновой прокладкой, так называемый грибок (рис. 7-9). Уплотнение происходит за счет плотного прилегания к вводимой трубке резиновой прокладки, на которую нажимает при вращении гайка. Чтобы предупредить скручивание прокладки при затяжке, между гайкой и прокладкой устанавливается металлическое кольцо. Грибковое уплотнение употребляется для ввода трубок диаметром до 30 мм. Для присоединения труб большего диаметра лучше применять фланцевые соединения. [c.146]

По сравнению с системами термического испарения конструкции ионно-распылительных установок непрерывного действия несколько менее критичны в смысле внесения в процессе работы загрязнений в пленку. Это связано с постоянной промывкой камер таких установок чистым рабочим газом. Следовательно, примеси из последующих секций прежде, чем попасть в рабочее пространство, должны диффундировать навстречу потоку газа. Поэтому в распылительных установках часто используют способ дифференированной откачки, обладающий преимуществом свободного доступа в камеру в любое время. Однако этим системам свойственны некоторые специфические конструкционные ограничения, связанные с эффектами бомбардировки внутренних элементов камеры и ее стенок ионами и относительно большой электропроводностью плазмы. Недостатком же испарительных систем, в свою очередь, является возможность внесения загрязнений в пленки из-за хаотической диффузии в системе газов со сравнительно большими длинами свободного пробега молекул. В результате на свойства пленок могут отрицательно влиять примеси, пришедшие из других секций установки. Поэтому испарительные установки обычно оборудуются вакуумными шлюзовыми устройствами или магазинами подложек и являются многофункциональными установками. В остальном техника монтажа всех систем непрерывного действия одинакова с техникой для разборных систем. Это означает, что для уплотнения вводов, промежуточных соединений, вентилей и съемных крышек для доступа в камеру в этом случае тоже используются прокладки из эластомеров. [c.306]

Уплотнение вводов в вакуумное пространство. Место ввода в вакуумную систему должно быть тщательно уплотнено. Наиболее распространенным уплотнением является сальник с резиновой прокладкой, так называемый грибок (рис. 45). Уплотнение происходит за счет плотного прилегания к вводимой трубке резиновой прокладки, на которую нажимает при вращении гайка. Чтобы предупредить скручивание прокладки [c.128]

Высоту столба можно свести к минимуму, если понизить давление над внешним зеркалом ртути (так называемое вакуумное выравнивание). На рис. 3-30,в показана конструкция ввода, в который между стенкой резервуара для жидкости и центральным (вращающимся) колпачком помещено уплотнение Вильсона 1 (разд. 5, 1-7). Вначале через трубку 2 при открытом кране 5 откачивают пространство с обеих сторон столба 3 ртути или масла. За счет этого высота столба может быть минимальной. Ось 4 скреплена с колпачком, погруженным в жидкость, и допускает небольшие вертикальные сдвиги. При скоростях вращения до 4 000 об1мин в аппаратуре поддерживается вакуум 6 10 мм рт. ст. [c.200]

Поскольку выкатка из печи загруженной платформы возможна лишь после ее полного остывания, длительность цикла термообработки весьма продолжительна. Для ускорения охлаждения в одной из боковых стенок, почти на уровне выводов нагревателей сделаны отверстия, снабженные специальными вакуумными уплотнениями, через которые в печь вводятся водоохлаждаемые трубы. В период иагрева трубы вытянуты из рабочего пространства и нагреву не мешают поскольку они утоплены глубоко в кладку печи, дополнительные потери, вызываемые наличием этих труб, невелики. В период же охлаждения трубы вдвигаются в рабочее пространство, благодаря чему охлаждение садки и самой печи ускоряется. [c.194]

Печь, облицованная нержавеющей сталью (рис. 8. 10), имеет высоту около 2,5 м и состоит из верхней секции с тиглем внешним диаметром 1060 мм. и нижней секции для изложницы диаметром 750 мм. Печь снабжена рубашкой с водяным охлаждением нагревательный элемент блокирован таким образом, что энергия может включаться, если только через охлаждение идет вода. Графит нагревается индукционным током частотой 3000 периодов от мотор-генератора мощностью 100 или 200 кет. Ток воды через медный индуктор и мотор-генератор также блокирован, и электроэнергия выключается, если подача воды прекращается. Тигель изолирован цирконовой или муллитовой крупкой, засыпанной в кольцевое пространство между индуктором и графитовым экраном, установленным вокруг тигля. Делается и другая изоляция тигля, состоящая вместо крупки и экрана из керамики специальной формы. Для различной теплоизоляции используются различные индукторы, так как электромагнитная связь зависит от свойств материала. Верх и низ тигля изолируются огнеупором из плавленого силлиманита. Для поддержки тигля к внутренним стенкам печи приварен на четырех ножках -трубах стол из нержавеющей стали. В печи сделаны отверстия для вводов индуктора, смотрового стекла, вакуумного патрубка, ввода термопары и механизма, двигающего стержень, управляющий разливкой. Кроме того, имеется отверстие для вытяжки, обеспечивающей вентиляцию в печи во время загрузки и выгрузки. Все фланцы, крышка, секция с изложницей скреплены на вакуумных уплотнениях из неопреновых колец круглого сечения. Так как термопара и управление стержнем для отливки должны двигаться, когда печь находится под вакуумом, они снабжены стандартными уплотнениями вильсоновского типа. Нижняя секция является продолжением секции с тиглем, но меньшего диаметра, и содержит крепление изложницы и ее теплоизоляции. На дне этой секции находится графитовая вставка для улавливания разбрызганного металла. [c.275]

Для уплотнения электрических вводов, проходящих через металлическую оболочку, может быть использован локтайт (см. табл. 3-2). Диаметр отверстия в стенке ввода должен быть иа 0,1 мм больше диаметра проводника. Проводник пропускается через отверстие, а пространство между ним и стенкой вакуумной 1кам1еры заполняется лок-тайтом. Затвердевание его длится примерно 12 ч. [c.286]

Справочник химика 21

Химия и химическая технология