Масс-спектрометрия с ионным микрозондом

Рис. 13.7. Схема ионного микрозонда — масс-спектрометра фирмы ОСА

При взаимодействии ионного микрозонда с твердым телом регистрируют катодное распыление и вторичную ионную эмиссию— ионный микроанализ. Бомбардировку поверхности образца производят пучком ионов с энергией - 10 КэВ. Ионное изображение сепарируют при помощи масс-спектрометра и после преобразования наблюдают на экране ионного микроскопа. С помощью ионных микроанализаторов возможно определение всех элементов и их изотопов. Пределы обнаружения отличаются на несколько порядков (могут достигать 10 % при абсолютной чувствительности 10- г). Локальность послойного ионного микроанализа достигает нескольких десятков ангстрем. [c.102]

МАСС-СПЕКТРОМЕТРИЯ С ИОННЫМ МИКРОЗОНДОМ [c.395]

Рис. 13.9. Ионный микрозонд—масс-спектрометр фирмы ARL .

Масс-спектрометрия с ионным микрозондом — трудоемкий и дорогостоящий метод, требующий больших затрат времени. Он может быть очень полезен для измерения неоднородности сверхчистых металлов и сплавов. Однако без радикального усовершенствования приборов нельзя ожидать широкого распространения этого метода. [c.398]

С помощью двухступенчатой системы электростатических линз, аналогичной той, которая используется в ионном микрозонде. Вторичные ионы исследуемого образца отклоняются вспомогательным электродом на 45° и направляются в масс-спектрометр с двойной фокусировкой. [c.414]

Анализатор этого прибора сконструирован таким образом, чтобы обеспечить максимальную чувствительность, и характеризуется рядом особенностей. Масс-спектрометр с двойной фокусировкой не имеет входной щели, что позволяет увеличить степень пропускания ионов и сфокусировать изображение во вторичных ионах всей бомбардируемой поверхности образца непосредственно па выходной щели прибора, регулирующей разрешение по массам. В методе с применением ионного микрозонда это осуществимо только в том случае, когда бомбардируемая поверхность имеет предельно малые размеры. При этом не происходит отсев ионов, имеющих большой разброс по энергиям. [c.414]

В ближайшие годы эффективным средством исследования тонких слоев проводящих и непроводящих твердых тел, видимо, станет масс-спектрометрия с ионной бомбардировкой поверхности. Важное достоинство метода ионного микрозонда — оз.можность осуществления как послойного [23], так и локального [16, 17, 24] анализа с высоким пространственным разрешением. После того как будет преодолена трудность количественного определения примесей [25—27], масс-спектрометрия с ионной бомбардировкой, позволяющая анализировать слои про- [c.157]

Установка для МСВИ включает источник ионов, камеру объекта и масс-спектрометр. Можно выделить два специальных типа установок—установки для изучения поверхностных явлений типа адсорбции, окисления, в которых должен быть создан сверхвысокий вакуум, и установки, снабженные фокусирующим устройством для локального анализа — ионный микрозонд и ионный микроскоп-микроанали-затор. [c.581]

С развитием техники оптических квантовых генераторов стало возможным применять лазер для испарения и ионизации очень малых участков исследуемых твердых -тел. На рис. 5.6. приведена блок-схема прибора ЛАММА-500, представляющего собой масс-анализатор с лазерным микрозондом, который состоит из лазерного микроскопа в комбинации с времяпролет-ным масс-спектрометром. Образец помещают в камеру, остаточное давление в которой составляет 10 —10 Па. За образцом наблюдают в микроскоп. С помощью гелий-неонового контрольного лазера визируется необходимое место анализа, на которое посылается короткий импульс мощного лазера. Выбранный для анализа участок поверхности твердого образца испаряется и частично ионизуется. Образовавшиеся ионы анализируются времяпролетным масс-спектрометром. [c.144]

Искровая масс-спектрометрия с ионным микрозондом — метод, который также может быть использован для определения газов в твердых телах. Образец бомбардируется пучком ускоренных (5—15 кэВ) ионов аргона или другого инертного газа, и распыленные положительные ионы образца анализируются в масс-спектрометре. Сначала разрушается поверхность, а затем распыляется слой за слоем материал анализируемого образца. Таким образом, можно зарегистрировать поверхностные неоднородности и изменение концентрации по длине и глубине образца. В последнем случае образец и пучок ионов должны пе-ремеш,аться относительно друг друга. Первичный пучок ионов можно сфокусировать в пятно размером несколько сот микрометров. [c.395]

Некоторые образцы, например металлы и вещества высокой чистоты, редкие природные и искусственные соединения очень дороги или имеются в небольших количествах. Современные инструментальные методы анализа позволяют непосредственно определять микроэлементы на уровне 10 -10 г/г в пробах массой несколько миллиграммов. Применение для концентрирования техники микроанализа позволяет эффективно использовать атомно-эмиссионные, атомно-абсорбционные и атомно-флуоресцентные с электротермической атомизацией методы, искровую масс-спектрометрию, проточпо-инжекционный анализ, электронный и ионный микрозонд, для которых максимальный объем пробы находится на уровне микролитров. Кроме того, при этом уменьшается расход проб, реагентов высокой чистоты, сокращается продолжительность анализа. Для получения правильных и воспроизводимых результатов с помощью техники микроанализа необходима высокая квалификация аналитика. [c.20]

К другим методам определения микроэлементов in situ относятся атомно-абсорбционная спектрометрия с электротермической атомиза-цией, атомно-эмиссионная спектрометрия, масс-спектрометрия, рентгенофлуоресцентная спектрометрия, электронный и ионный микрозонд, а также методы, основанные на измерении радиоактивности. Графитовые электроды высокой чистоты представляют собой идеальные подложки для облучения нейтронами в ядерных реакторах для активационного анализа (табл. 29). [c.77]

Справочник химика 21

Химия и химическая технология