Магнитный электроразрядный манометр

Электроразрядные насосы. В электроразрядных сорбционно-ионных насосах термическое испарение титана заменено катодным распылением. На фиг, 358 показаны электроразрядные сорбционно-ионные насосы, которые характеризуются тем, что у них ионизатор построен по типу магнитного электроразрядного манометра. Насос, показанный на, фиг 358, а, работал в области давлений 10 —мм рт. ст. Катоды, являющиеся испарителями титана, изготовлены из титановой [c.496]

Преимущество магнитного электроразрядного манометра состоит в том, что он не имеет накаленного катода, благодаря чему в эксплуатации он является более надежным, чем ионизационный манометр, и [c.529]

Фиг. 408. Открытый магнитный электроразрядный манометр ММ-ПФ

Рис. 2-35. Простейшая модель магнитного электроразрядного манометра.

На рис. 2-36 изображен выпускаемый отечественной промышленностью магнитный электроразрядный манометр ММ-8. Корпус 3 манометру помещенный в зазор постоянного магнита 4, является катодом. В центре манометра расположен прямоугольный анод 1, окруженный коробчатым коллектором 2, имеющим отдельный изолированный ввод. Диапазон измеряемых давлений разбит на три поддиапазона [c.144]

Рис. 2-36. Магнитный электроразрядный манометр с секционированными катодами.

Рис. 2-37. Двухкамерный магнитный электроразрядный манометр.

Следует отметить некоторые преимущества магнитных электроразрядных манометров по сравнению с ионизационными манометрами, использующими в качестве источника электронов накаленный катод. Накаленный катод (в качестве которого чаще всего применяется вольфрам), во-первых, легко выходит из строя при проникновении в вакуумную систему воздуха, а во-вторых, вносит в манометр пары вольфрама, давление которых при рабочей температуре катода составляет около 10 мм рт ст. Измерительная схема магнитного манометра проще, а диапазон давлений, который он может измерять, значительно шире. Вместе с тем магнитный манометр [c.146]

Магнитные электроразрядные манометры хотя и работают в указанном диапазоне давлений, однако вследствие нестабильности разряда они обеспечивают значительно меньшую точность измерения по сравнению с ионизационными манометрами. [c.148]

Фиг. 50. Магнитный электроразрядный манометр. Стрелка Д указывает направление магнитного поля.

Разряд, аналогичный разряду в магнитном электроразрядном манометре, часто возникает между корпусом аппаратуры и различными проводниками, находящимися в вакууме иод большим [c.138]

Фиг. 51. Магнитный электроразрядный манометр, применяемый в Радиационной лаборатории.

Фиг. 53. Схема измерительного прибора магнитного электроразрядного манометра.

Ф и г. 54. Утечки в магнитном электроразрядном манометре. Схема I. [c.141]

Фиг. 55. Утечки в магнитном электроразрядном манометре. Схема II.

Утечки в магнитном электроразрядном манометре, работающем в чистой вакуумной установке, были бы легко устранимы, если бы при разряде, в особенности при высоких давлениях, не происходило заметное распыление металлических электродов манометра, в результате которого на изоляторах могут появляться проводящие налеты. [c.141]

Фиг. 56. Утечки в магнитном электроразрядном манометре.

Дол [52] опубликовал некоторые данные по изучению влияния размеров анодного кольца на характеристики магнитного электроразрядного манометра. Исследование проводилось в области давлений до 10 мм Hg при напряженности магнитного поля 1800 эр- [c.142]

Различные газы. Данные по сравнению чувствительности магнитного электроразрядного манометра к различным газам не очень достоверны. Если расположить наиболее распространенные газы в порядке возрастания чувствительности к ним магнитного электроразрядного манометра, то этот порядок оказывается тем же, что и для электронного ионизационного манометра. Это хорошо доказано опытами Фута [48]. Были испытаны воздух, азот, кислород, гелий и пары воды. В качестве эталонного использовался масляный компрессионный манометр, проградуированный по ртутному манометру Мак Леода. Опыты проводились на двух магнитных электроразрядных манометрах, имеющих различную геометрическую форму. Абсолютные показания этих манометров существенно отличались, но зависимость показаний от рода [c.143]

Ф и г. 57. Градуировка магнитного электроразрядного манометра для различных газов. [c.144]

Низший предел диапазона давлений определяется срывом разряда. Для данного манометра, при данных анодном напряжении и напряженности магнитного поля, имеется предельно низкое давление, при котором в магнитном электроразрядном манометре возникает разряд. Некоторые опыты, проведенные при постоянном давлении, показывают, что потенциал зажигания на несколько сот вольт выше, чем потенциал гашения. Когда потенциал анода почти равен потенциалу зажигания, то часто наблюдается отставание зажигания от момента включения анодного напряжения на минуту и более. Ясно, что применять переменное напряжение такой же величины было бы бесполезно. [c.145]

Теория разряда в магнитном электроразрядном манометре разработана еще недостаточно для того, чтобы выяснить условия, определяющие его стабильность в работе и воспроизводимость нри изготовлении. Такая уверенность сейчас может основываться только на опыте. Экспериментальные данные для манометров одинаковой конструкции или для одного и того же манометра— нового и после длительной работы — гарантируют совпадение результатов с точностью не выше 10%. Однако и такой точности более чем достаточно для большинства вакуумных работ. [c.145]

Полученные данные представлены в виде графика на фиг. 58. Из графика видно, что в области давлений от 0,2.10" до 5-10 мм Hg ток тлеющего разряда магнитного электроразрядного манометра представляет собой почти линейную функцию давления. При более высоких давлениях, в области от 5-10" до 20-10" мм Hg, график имеет вполне заметную кривизну. Наблюдалось хорошее совпадение с данными, полученными в последующие дни. [c.146]

Фиг. 58. Градуировка магнитного электроразрядного манометра по воздуху.

Сравнивая эти цифры с данными, полученными для ионизационного или магнитного электроразрядного манометра, видим, что для благородных газов они хорошо взаимно согласуются, [c.147]

К о М а р о в М. С. и др. Магнитный электроразрядный манометр МИМ-02. В сб. Физика и техника сверхвысокого вакуума . Л., Машиностроение , 1968, стр. 178. [c.270]

Н и ч и п о р о в и ч Г. А. Сравнительная калибровка ионизационного магнетронного манометра и магнитного электроразрядного манометра в условиях сверхвысокого вакуума. Приборы и техника эксперимента , № 6, 150 (1966). [c.270]

В последнее время для измерения давлений в диапазоне 1—10 мм рт. ст. широкое применеиие начинают находить магнитные электроразрядные манометры. [c.47]

Теплоэлектрические, ионизационные, радиоактивные и магнитные электроразрядные манометры не поддаются точному расчету и обычно градуировка этих манометров выполняется по ртутному компрессионному манометру. [c.48]

Рис. 32. Магнитный электроразрядный манометр

Рабочее давление в масс-спектрометрической камере обычно не превыщает 2,5 10 мм рт. ст. и измеряется с помощью магнитного электроразрядного манометра, (который одновременно является датчиком управляющей цепи, автоматически отключающей 56 [c.56]

Ионизационные манометры, к которым относятся электронные ионизационные манометры, магнитные электроразрядные манометры и радиоизотопные манометры, используются для измерения малых давлений в области высокого и сверхвысокого вакуума. Действие этих приборов основано на использовании ионизации газа. Электронный ионизационный манометр состоит из манометрического преобразователя (лампы типов ЛМ-2, ИМ-4, ИМ-7Л, ИМ-9, ИМ-11 и ИМ-12) и измерительного блока, обеспечивающего питание преобразователя и измерение необходимых параметров. Манометрический преобразователь в простейшем виде представляет собой трехэлектродную конструкцию, в которой анод, выполненный в виде редкой цилиндрической сетки и имеющий высокий потенциал (100—200 В), создает сильное ускоряющее поле для электронов, эмиттированных нагретым катодом. Электроны ионизируют молекулы разреженного газа, образующиеся иоиы собираются коллектором, расположенным за анодом и имеющим отрицательный потенциал (20—100 В). [c.175]

Из многочисленных и разнообразных манометров, предназначенных для измерения среднего, высокого и сверхвысокого вакуума, в технике наиыления тонких пленок наиболее широкое применение получили теплоэлектрические, ионизационные с накаленным катодом, радиоактивные и магнитные электроразрядные манометры. [c.136]

Магнитные электроразрядные манометры. Простейшая модель магнитно-электрораз-рядного манометра изображена [c.143]

Другим недостатком манометра является то, что его прудно хорошо обезгазить. Этим и объясняется то, что с помощью одного только магнитного манометра не удается откачать вакуумную установку до очень высокого вакуума, несмотря на то, что сам манометр одновременно является насосом. Откачивающее действие манометра связано с адсорбцией ионов на постоянно обновляющемся слое металла на стенках манометра, возникающем вследствие распыления электродов. Поэтому магнитный электроразрядный манометр может так же, как и ионизационный манометр с горячим катодом, искажать результаты измерений. Нестабильность разряда вносит неточности в показания магнитного манометра, которые при давлении Ю- —10 мм рт. ст. примерно соответствуют 20%, что существенно больше, чем у ионизационного манометра. [c.147]

Данные по градуировке ионизационных манометров, которые использовались в Радиационной лаборатории, не являются особенно достоверными тем не менее среди них есть несколько хороших типовых кривых для некоторых газов. Фут [48] в связи с работой над магнитным электроразрядным манометром онубли- [c.134]

Магнитный электроразрядный манометр. В1937 г. Пеннинг [49] описал манометр для измерения низких давлений, действие которого было основано на тлеюш,ем разряде в магнитном поле. По некоторым причинам в США до войны этот манометр не получил общей известности, хотя в Англии уже применялись промышленные образцы этого прибора. [c.136]

При получении согласую1цихся результатов по каждому газу для магнитного электроразрядного манометра встретилось много трудностей. Данные для приведенных кривых были, по возможности, тщательно проверены. Можно, повидимому, считать, что по крайней мерс порядок расположения их на графике правилен. [c.144]

Совершенно ясно, что ряд перечисленных способов определения течей требует применения соответствующих приборов. Большинство таких приборов было рассчитано на показание изменения давления, вызванного проникновением газа или конденсирующихся наров в вакуумную камеру. Такими приборами являются теплоэлектрический манометр Пирани, рт тный или масляный, термопарный и ионизационный манометры, манометр Кнудсена и магнитный электроразрядный манометр. Эти приборы используют [c.205]

После предварительной откачки установки насосами производится обезгаживание стеклянных деталей путем их длительного прогрева в течение нескольких часов в условиях непрерывной откачки. После этого производится обезгаживание внутренних частей ионизационных манометров путем интенсивной электронной бомбардировки при положительном потенциале коллектора ионов. Затем перекрывают металлический вентиль, отсоединяя тем самым откачиваемый объем от паромасляного насоса, после чего откачка объема производится за счет работы конизационно-го манометра. Помимо ионизационного манометра с горячим катодом для получения сверхвысокого вакуума иногда используют также откачивающее действие магнитного электроразрядного манометра специальной конструкции. [c.51]

Справочник химика 21

Химия и химическая технология