Насосы электроразрядные

Рис. 25. Насос электроразрядный магнитный НЭМ-30-2

Работа Насос электроразрядный магнитный НЭМ-300 [c.196]

Переходный вакуумный объем. 4. Высоковакуумный вентиль. 5. Насос электроразрядный магнитный НЭМ-300. 6. Манометры ЛТ-2 и ЛМ-2. 7. Вакуумметр ВИТ-1А. 8. Манометр ИМ-12. 9. Вакуумметр ВИ-12. [c.196]

Рис. 100. Вакуумная установка к лабораторной работе Насос электроразрядный магнитный НЭМ-300 .

Для получения еще более высоких давлений (до 1 10 ° тор) может быть применена комбинированная схема (с турбомолекулярным и электроразрядным насосами). Эта схема может быть получена из схемы рис. 7.53, б путем подсоединения в высоковакуумную линию (между рабочим объемом и турбомолекулярным насосом) электроразрядного насоса. Сначала производят откачку рабочего объема до 1 10 тор, а затем подключают электроразрядный насос и доводят вакуум до 1 10 ° тор. [c.470]

В качестве ионизируемого газа используют аргон, как наиболее дешевый из инертных газов. Надо учитывать, что вакуумные насосы при ионном распылении работают в атмосфере аргона, поэтому обычно не применяют геттерно-ионные и электроразрядные насосы, плохо откачивающие инертные газы. Однако в принципе возможно и другое решение откачку проводить именно электроразрядным насосом, оставляя в камере атмосферный аргон. [c.146]

В идеальном случае система должна состоять только из стекла, стабильной керамики с высокой плотностью и металла, устойчивого в условиях СВВ в принципе допустимо ограниченное использование в виде прокладок высокостабильных эластомеров типа витона, однако это приводит к некоторому ухудшению СВВ, поэтому применения таких прокладок следует все же избегать. Для получения СВВ требуется обезгаживание системы путем ее вакуумной термообработки при 600—700 К, в то время как в присутствии витона температура не должна превышать примерно 500 К. Откачивание обычно проводят диффузионным насосом с ловушкой, каким-либо электроразрядным или ионносорбционным насосами. Выпускается широкий ассортимент термостойких цельнометаллических кранов, а также кранов с прокладками из витона . Для небольших лабораторных систем широко используют краны с диаметром трубок и отверстий порядка 5—25 мм. Вакуумные трубопроводы обычно выполняют из стекла или нержавеющей стали или комбинируют оба этих материала. [c.343]

Гришаев И. А., Вишняков В. А., Мя шко А. К- и др. Применение электроразрядных насосов ТЭН-30 в вакуумной системе линейного ускорителя электронов. — Вопросы атомной науки и техники. Сер. Физика и техника высокого вакуума, 1975, вып. 1 (4), с. 92—95. [c.156]

Электроразрядные насосы. В электроразрядных сорбционно-ионных насосах термическое испарение титана заменено катодным распылением. На фиг, 358 показаны электроразрядные сорбционно-ионные насосы, которые характеризуются тем, что у них ионизатор построен по типу магнитного электроразрядного манометра. Насос, показанный на, фиг 358, а, работал в области давлений 10 —мм рт. ст. Катоды, являющиеся испарителями титана, изготовлены из титановой [c.496]

Магнитно-электроразрядные насосы с холодными катодами [c.105]

В магнитно-электроразрядных насосах используется откачивающее действие газового разряда в магнитном поле (разряд Пеннинга). [c.105]

Простейший магнитно-электроразрядный насос (рис. 2-13) состоит из двух плоских катодных пластин/, изготовленных из технического титана. Между катодными пластинами расположен анод 2 в виде кольца или рамки. Корпус насоса изготовлен из нержавеющей немагнитной стали и помещен между полюсами постоянного магнита с напряженностью поля в несколько сотен эрстед. Между ка,тодами И анодом прикладывается на- [c.105]

Рис. 2-13. Простейший магнитно-электроразрядный насос.

На рис. 2-14 показана зависимость скорости откачки и производительности магнитно-электроразрядного насоса от давления в откачиваемом объеме. Как видно из приведенных кривых, скорость откачки насоса практически постоянна в диапазоне давлений от 5-10- до 5-10- мм рт. ст., снижаясь как при уменьщении, так и при увеличении давления. Так, например, при давлении 10- мм рт. ст. скорость откачки составляет 40% от номинальной, а при давлении 10 мм рт. ст. снижается до нескольких процентов. Производительность насоса увеличивается с ростом давления и имеет максимум при давлении 7-10- мм рт. ст. Рост производительности насоса с давлением связан с тем, что число сорбированных молекул (т. е. масса откачиваемого газа) зависит от интенсивности ионизации и скорости распыления ти- [c.106]

Рис. 2-14. Зависимость скорости откачки (/) и производительности (2) магнитно-электроразрядного насоса от давления.

ООО л/сек, а также агрегаты безмасляной откачки на основе магнитных электроразрядных насосов с быстротой действия 30, 100 и 300 л/сек. [c.108]

Основные данные отечественных магнитно-электроразрядных насосов приведены в табл. 2-2. [c.108]

Рис. 2-16. Схематическое изображение конструкций отечественных магнитно-электроразрядных насосов, а —НЭМ-100-2 6 —НЭМ-300-1.

Наметились некоторые конструктивные пути увеличения быстроты действия электроразрядных насосов путем изменения формы катода. Так, например, если катод сделать не плоским, а выпуклым, наварив на его поверхность спираль Архимеда, то поверхность испарения [c.109]

Кроме того, введение коллекторного электрода устраняет часто наблюдаемое в магнитно-электроразрядных насосах диодного типа явление периодического колебания разрядного тока и давления в диапазоне 10- — [c.110]

Рис. 2-17. Осесимметричная конструкция магнитно-электроразрядного насоса.

При использовании для предварительной откачки механических масляных насосов внутри магнитно-электроразрядного насоса могут постепенно скапливаться углеводороды. Когда электроды насоса имеют температуру, близкую к комнатной, углеводороды, имеющие [c.112]

Характер изменения мощности высоковольтного источника питания магнитно-электроразрядного насоса в зависимости от протекающего через него разрядного тока представлен на рис. 2-18. Начальный (пусковой) период работы насоса соответствует правой ветви кривой изменения мощности. По мере роста сопротивления раз-рядного промежутка разрядной ток умень-щается, а напряжение на электродах насоса возрастает. При разрядном токе, составляющем около 70% от тока короткого замыкания, кривая изменения мощности имеет [c.113]

Рис. 2-18. Вольт-амперная характеристика и кривая изменения мощности высоковольтного источника питания магнитно-электроразрядного насоса.

Насос очень чувствителен к попаданию паров масел, используемых в механических и пароструйных насосах. Поэтому лучше всего для предварительной откачки применять угольные или цеолитовые адсорбционные насосы, охлаждаемые жидким азотом. Наименьшее предельное разрежение получается при последовательном включении двух магнитно-электроразрядных насосов и их длительном прогреве. Существенную роль при этом играет так называемая аргонная обработка , заключающаяся в том, что в предварительно откаченный до 10- мм рт. ст. и нагретый до 200° С насос напускается аргон. Через 24 ч после обработки аргоном давление в насосе снижается до 10- ° мм рт. ст. и продолжает медленно понижаться, достигая через несколько недель своего предельного значения 10- мм рт. ст. Следует иметь в виду, что аргонная обработка полезна также для увеличения быстроты откачки насоса в диапазоне давлений 10 —10- мм рт. ст., который обычно определяет нижний предел работы магнитно-электроразрядных насосов при их промышленном применении. [c.114]

Высокое предельное разрежение и безмасляную атмосферу остаточных газов, практически не содержащую тяжелых углеводородов, обеспечивают насосы, использующие распыление титана. В частности, титановые насосы магнитно-электроразрядного типа обладают целым рядом достоинств. В процессе эксплуатации они 9—261 129 [c.129]

Кривая, показанная сплошной линией, соответствует процессу откачки рабочего объема в том случае, когда магнитно-электроразрядный насос был предварительно откачан до высокого вакуума и отсоединен от рабочего объема [c.131]

Следует отметить, что за последние годы все чаще начинают встречаться описания комбинаций различных откачных средств, целью которых является увеличение скорости откачки, расширение диапазона рабочих давлений и снижение времени, необходимого для получения сверхвысокого вакуума. Так, например, установлено, что быстрота действия геттерно-ионного насоса значительно возрастает, если параллельно к нему подсоединить небольшой магнитно-электроразрядный насос. Интерес представляет также комбинация магнитно-электроразрядного насоса с криогенным насосом, охлаждаемым жидким азотом. При этом в результате интенсивного вымораживания паров воды и углекислого газа время, необходимое для получения давления 1 10 мм рт. ст., сокращается в несколько раз. [c.134]

Прогреваемая цельнометаллическая сверхвысоковакуумная система, откачиваемая магнитным электроразрядным насосом с металлическими уплотнениями при использовании затвора с прокладками из ви- [c.135]

Из рассмотрения приведенных данных видно, что скорости роста органических загрязнений в вакуумных системах, откачиваемых как магнитно-электроразрядны-ми, так и паромасляными насосами, снабженными азотными ловушками, имеют примерно одну и ту же величину. Хорошо сконструированная азотная ловушка при отсутствии резиновых уплотняющих прокладок снижает количество углеводородов в откачиваемом объеме до уровня, который получается при использовании ртутных пароструйных насосов парциальное давление углеводородов при этом становится ниже 1 10 ° мм рт. ст. [c.135]

Электроразрядный сорбционный насос отечественного производства ЭСН-1 имеет скорость откачки водорода 10 л1сек, предельное давление 3-10 ° мм рт. ст. [c.496]

Фиг. 358. Электроразрядные насосы а — сорбционно-ионный насос с титановым испарителем и магнигным электроразрядным ионизатором б — магнитный электроразрядный насос 1 — катоды 2—аноды Я — направление магнитного поля.

Фиг. 361. Откачка с помощью моле1 гулярных сит 7 — электроразрядный насос 2 — откачиваемый сбъем 3 — кран 4 — напускной клапан 5 — мо-леку-лярное сито 6 — жидкий азот

Магнитно-электроразрядный насос представляет собой двухэлектродный разрядный прибор с титановым катодом. Анод имеет вид цилиндра, находящегося между двумя пластинками катода. Вся система электродов находится в магнитном поле, параллельном оси анода. Магнитное поле превращает траектории электронов, летящих от катода к аноду, в спирали, что удлиняет путь электрона и, повышает вероятность ионизации молекул откачиваемого газа. При разряде материал катода, подвергающийся ионной бомбардировке, распыляется и титановая пленка служит геттером, связывающим молекулы откачиваемого газа. Электрораз-рядные насосы дают скорость откачки до 10 л1сек при площади титановых электродов 10X10 см. Они развивают предельный вакуум 10- -г-10 мм рт. ст. и используются как сторожа , поддерживающие высокий ва-5—646 65 [c.65]

Как уже отмечалось ранее, характерной особенностью магнитно-электроразрядных насосов является то, что при увеличении или уд1еньшении давления разрядный ток, а следовательно, и количество распыляемого [c.111]

В работе [Л. 86] производилось сопоставление эксплуатационных свойств паромасляного и магнитно-электроразрядного насосов при изменении газовой нагрузки. При этом было установлено, что если после напуска в откачиваемый объем газа до давления 10 мм рт. ст. паромасляный насос очень быстро (в течение нескольких минут) снижает давление до предельного (2-10 мм рт. ст.), то при использовании магнит-но-электрозарядного насоса даже для снижения давления с 3 10 до 3 10 мм рт. ст. требуется значительное время (около получаса). В работе делается вывод, что при больших или сильно меняющихся нагрузках (которые, кстати, обычно имеют место при очередном разогреве напыляемого вещества) следует избегать применения магнитно-электроразрядных насосов в качестве основного откачного средства. Выводы, сделанные в этой работе, могут быть объяснены при сравнении скоростных характеристик различного вида насосов (рис. 2-26). В отличие от паромасляного насоса ((кривая 2), имеющего постоянную быстроту действия вплоть до давления 1 Ю мм рт. ст., магнитный электроразрядный насос (кривая 4) снижает свою быстроту действия уже при давлении (3—5) 10 мм рт. ст. По этой причине при резких газовыделениях магнитно-электроразрядные насосы, не обладающие достаточно большой быстротой действия, могут захлебываться , и потребуется длительное время для восстановления в откачиваемом объеме рабочего вакуума. Резкое снижение быстроты действия при увеличении давления, длительный пусковой период (несколько часов), высокая селективность при откачке газовой смеси, большие габариты, вес и высокая стоимость существенно ограничивают применение магнитно-электроразрядных насосов в напылительных установках промышленного типа. [c.130]

На рис. 2-29 приведены кривые откачки непрогреваемой напылительной установки с помощью магнитно-электроразрядного и титанового испарительного насосов [Л. 104 [c.131]

Рис. 2-29. Кривые откачки непрогреваемой напылительной установки с помощью магнитного электроразрядного и титанового испарительного насосов.

Предварительная откачка производится с помощью двух (участок 1), а затем одного (участок 2) цеоли-тового насоса, после чего открывается вакуумный затвор и для откачки рабочего объема используется магнитно-электроразрядный насос (участок 3). В момент времени 4 затвор закрывается, и производится прогрев титанового испарителя для его обезгаживания. В момент времени 5 затвор вновь открывается, и дальнейшая откачка на участке 6 производится как магнитно-электро- разрядным, так и титановым испарительным насосом. После 2 ч непрерывной откачки в рабочем объеме не-9 131 [c.131]

Фирма Уаг1ап (США) в своих напылительных сверхвысоковакуумных установках использует комбинацию магнитно-электроразрядного, титаново-испарительного и криогенного насосов, что позволяет после 5-часового прогрева и 50 ч непрерывной откачки получить в рабочем объеме установки предельный вакуум 10- ° мм рт. ст. [c.134]

Непрогреваемая вакуумная система из нержавеющей стали со стеклянрым колпащзм диаметром 300 мм и прокладками из эластомера типа витон, откачиваемая магнитным электроразрядным насосом..........37 [c.135]

Справочник химика 21

Химия и химическая технология