Газовыделения вакуумных материалов

Газоотделение прибора Q/ складывается из газоотделения материала оболочки лампы и газов, выделяющихся при термохимической обработке катода. Газовыделение из материалов оболочки и элементов конструкции лампы максимально в начальной стадии обработки прибора и постепенно уменьщается к концу технологического процесса откачки, причем в первый момент происходит десорбция газов и паров (в основном НгО, N2, СО, О2, Нг и СО2), а затем газовыделение из толщи материала. Снижение газовыделения из материала может быть достигнуто за счет предварительного обезгаживания и применения материалов вакуумной плавки. В приборах с катодами косвенного накала газовыделение из катода часто превыщает газовыделение из прочих элементов конструкции прибора и иногда достигает 90% общего газовыделения. [c.475]

Кажущиеся течи опреде.пяются как фиктивный источник повышен.ия давления в вакуумной системе, вызываемого в действительности медленным выделением сорбированных тазов. В настоящее время считается, что нижний предел газовыделения с 1 см лучшего материала после длительной откачки составляет не менее I 10 л мм рт. ст. сек. При расчете вакуумных систем обычно принимают следующие величины скорости газовыделения с поверхности различных материалов в л-мм рт. ст. сек см для керамики — 10 , для эластомеров — 10 . [c.10]

Поливинилхлорид используется в вакуумной технике (табл. 2-14) в качестве материала для прозрачных труб форвакуумных линий высоковакуумных и низковакуумных систем (рис. 1-1) или в низковакуумных системах, где допустима высокая скорость газовыделения (табл. 2-7). [c.41]

ПФ-41, от времени выдержки при 400°. Приведенные данные показывают, что с увеличением времени выдержки при 400° давление в вакуумной системе экспоненциально падает с 4.10 до 5 10 мм рт. ст. Это свидетельствует о малом газовыделении клеевого шва из материала ПФ-41. [c.109]

Основным компонентом газовыделения в пусковой период являются пары воды, которые довольно медленно выделяются с различных элементов самого насоса и вакуумной системы. По мере увеличения срока службы в результате образования губчатой структуры осадков катодного материала на анодах насос становится все более чувствительным к водяным парам, вследствие чего воздействие на электроды насоса атмосферного воздуха приводит к увеличению пускового периода. [c.112]

Специфической особенностью работы вакуумных напылительных установок является резкое увеличение газовыделения каждый раз, как только начинается интенсивный прогрев очередного распыляемого материала. Это газовыделение должно быть скомпенсировано за счет большой скорости откачки используемого насоса. Кроме того, при циклической работе напылительной установки неизбежно периодическое сообщение ее рабочего объема с воздухом, имеющим высокую относительную влажность, вследствие чего стенки рабочей камеры и поверхности находящихся в ней механизмов могут сорбировать влагу. Эти обстоятельства заставляют предъявлять определенные требования к откачным средствам в части минимальной длительности пускового периода, большой скорости откачки и ее постоянства в широком диапазоне давлений, а также незначительного количества загрязнений, вносимых из насоса в откачиваемый объем. [c.126]

Металлические уплотнители практически, исключают проникновение газов через материал уплотнителя, а газовыделение их примерно в 10 раза меньше, чем у лучших сортов вакуумных резин. [c.294]

Газоотделение резины довольно велико даже при комнатной температуре, а с повышением температуры оно резко увеличивается. При 80—100° С газоотделение резины марки 7889 в вакууме практически прекращается через 15—20 ч, и за это время выделяется 0,8 см газа (приведенного к нормальным условиям) на 1 г материала. За такое же время из 1 г резины марки 9024 выделяется примерно в 2 раза больше газа. Чтобы уменьшить газовыделение резины, ее следует перед установкой в вакуумную систему предварительно обработать провести обезгаживание в течение 10—15 ч и затем хранить в сухом воздухе и азоте. [c.457]

При применении в вакуумных печах специальные требования предъявляются к стабильности теплопроводности и газовыделения. Низкая теплопроводность достигается за счет высокой пористости и расположения волокон предпочтительно перпендикулярно направлениям тепловых потоков. Теплопроводность зависит от пористости материала, диаметра и длины УВ, вида клеящих веществ. Лучшие результаты по изоляции электрических печей получаются при длине У В более 40 мм [9-129] и при изготовлении войлоков из предварительно карбонизованных ГЦ-волокон. Хотя для этих целей применяются волокна длиной от 250 мкм, с увеличением длины от 250 до 750 мкм снижается плотность и теплопроводность войлока (21 кг/м и 0,02 Вт/(м-К) и 11-13 кг/м и 0,01 Вт/(м К) соответственно) [9-127]. Эффективным средством регулирования теплопроводности волокна является его подпрессовывание после термообработки. [c.624]

Скорость газовыделения у полиэтилена почти такая же, как и у фтороуглеродов, но область его рабочих температур более узка. Этот материал может работать при максимальной температуре 80— 100 °С. При помещении полиэтилена в вакуумную камеру, откачиваемую диффузионным насосом с охлал<-даемой твердой углекислотой ло-вущкой, давление в камере повышается лишь на 20%. В чистых полиэтиленовых контейнерах давление 10 мм рт. ст. может держаться целые сутки. Для улучшения очистки от окклюдированных газов можно использовать низковольтную высокочастотную разрядную катушку (трансформатор Тесла ). Недопустим контакт полиэтиленов с открытым пламенем, так как температура их плавления составляет лишь 110°С. [c.40]

Очистка прокладок. Для достижения хорошего уплотнения поверхность. прокладки. должна быть свободна от пыли или любых частиц, которые могли бы помешать ее непосредственному контакту с фланцами или другими уплотняемыми деталями. Известно также, что метод очистки влияет на газовыделение материала прокладки Л. 111]. Например, резиновые прокладки диаметром контура 28,6 мм про-.мывали в ацетоне, спирте или трихлорэтилене, высушивали на воздухе при комнатной температуре и при помощи масс-сиек-трометра анализировали состав остаточного газа в вакуумной системе с уплотнениями на этих прокладках. По достижении давлений 10-5—10 мж рт. ст. среда остаточных газов содержала углеводороды после промывки прокладок в трихлорэтилене обнаруживались значительные пики масс, соответствующие хлористому водороду. Эти загрязнения можно свести к минимуму путем предварительного прогрева прокладки на воздухе при температуре 100 °С в течение нескольких часов. Если использовать готовые (покупные) прокладки, не подвергая их (после распаковки) какой-либо очистке и покрывая при хранении слоем апиезона, то загрязнения не наблюдается. [c.247]

В случае длительной эксплуатации полиимиды сохраняют механические и электрические свойства только до 250° [30, 31]. В работе [32] сообщается о полиимиде, длительно теплостойком до 370 и кратковременно — до 480°. Этот клей отличается повышенной устойчивостью к термостарению и окислению. Полиимиды обладают для вакуумной техники очень ценным качеством уровень газовыделения их мал. Так, для полиимида Мопзап1о Зку-gard 700 скорость газовыделения при 155° (после 6-часовой откачки) оказалась менее 5-10 л-мм рт. ст./сек.-см [33]. Теплостойкость этого материала 300°. [c.16]

Эластомеры. Скорости выделения газов эластомерами и другими органическими материалами были измерены рядом исследователей. В табл. 8 приведены некоторые данные для наиболее интересных с точки зрения вакуумной технологии материалов этого типа. Дополнительная информация о кривых обезгаживания для эластомеров и эпоксидных смол может быть получена в работах [234] и [235]. После прогрева скорость газовыделения эластомеров имеет значения 10" —10 мм рт. ст.<л-с > см- . Газовыделение тефлона значительно ниже, но, к сожалению, этот полимер не склеивается и течет под давлением, см. разд. 4 Б, 2) и табл. 17. Важное значение при выборе из имеющихся в наличии эластомеров материала для прокладок имеет их термическая стабильность. В идеальном случае эластомер должен выдерживать без разложения нагрев до 400° С, т. е. до температур, требуемых для обезгаживания стекла и металлов. Такого материала не существует. Витон А, сополимер гексафторпропилена и фтористого вини-лидена обладает наиболее приемлемыми компромиссными свойствами. Его можно прогревать до 200° С, т. е. до значительно более высокой температуры, чем выдерживают большинство других синтетических каучу-ков. Как следует из табл. 8, слабый прогрев при температурах 100 — 200° С уменьшает газовыделение эластомеров на один — два порядка. Основным компонентом выделяемых газов являются пары воды в количествах, эквивалентных 100 и более монослоев. Вода сорбируется в тело эластомера и выделяется посредством диффузии. В случае использования ви-тона этот процесс при экспозиции его на воздухе с нормальной влаж- [c.237]

Отрицательное влияние на работу электровакуумных приборов оказывают также содержащиеся в металле и на его поверхности газы. Повышенное газовыделение материалов деталей вакуумных оболочек и внутривакуумных деталей чрезвычайно усложняет процесс откачки приборов и затягивает его до нескольких десятков, а иногда (для крупногабаритных приборов) и сотен часов. Кроме того, детали, изготовленные из металлов с повышенным содержанием газов, при хранении изделий и особенно при их эксплуатации непрерывно выделяют в вакуумную полость растворенные в них газы и ухудшают вакуум, что крайне отрицательно сказывается на работе приборов. Так, при выделении из материала деталей в вакуумную лолость прибора объемом 0,1 л с остаточным давлением Ю" Па только 1 мкл газа давление в приборе повысится до 1 Па и прибор выйдет из строя. [c.8]

Справочник химика 21

Химия и химическая технология