Вакуумные системы разборные

Неразборные соединения представляют интерес прежде всего для разработчиков и изготовителей вакуумных систем. Однако поскольку оборудование для осаждения для некоторых частных применений или исследований часто перестраивается, оператор также должен иметь определенные знания об основных способах выполнения соединений. Выбор способа соединений зависит от свойств материалов. Неразборные соединения металлов с металлами осуществляются сваркой или пайкой твердыми припоями. Паяные мягкими припоями соединения металла с металло.м являются полу-разборными (составляющие его детали могут быть разъединены и вновь соединены без нарушения рабочих поверхностей). По мере того, как популярные ранее стеклянные вакуумные системы заменяются цельнометаллическими, стеклянные паяные соединения теряют свое значение. Однако соединения металла со стеклом и металла с керамикой для специальных вакуумных элементов применимы и по настоящее время. Третья группа вакуумных материалов, эластомеры, применяются только в разборных соединениях. [c.246]

Рис. 87. Разборная вакуумная система

Эта вакуумная система является динамической или кинетической с помощью высокопроизводительных насосов в ней достигается требуемая степень разрежения даже при газовыделении и наличии небольших течей (ом. разд. 1, гл. 3). В таких вакуумных системах, работаюш,их в режиме непрерывной откачки, применяются в основном разборные соединения (см. разд. 3). Динамические вакуумные системы, как правило, имеют большие размеры однако откачиваемые камеры могут иметь при этом различные габариты (от нескольких сантиметров до нескольких метров). [c.8]

После достижения требуемой степени разрежения такая вакуумная система может быть отсоединена от насосов при этом достигнутое разрежение сохраняется в течение длительного времени. В вакуумных системах этого типа используются разборные уплотнения (см. разд. 2). Сверхвысоковакуумные системы относятся к статическим вследствие их исключительной герметичности и высокой чистоты. [c.8]

Сильфон представляет собой гофрированную металлическую трубку, которая благодаря гофрировке легко сгибается и растягивается. Вентили к трубопроводам вакуумной системы присоединяют с помощью разборных фланцевых соединений с резиновым уплотнением. [c.246]

По типу конструкции рентгеновские трубки делятся на разборные, в которых можно менять анод трубки, перегоревшую нить и регулировать вакуум, но требующих для работы добавочной вакуумной системы, и запаянные трубки, не требующие добавочной вакуумной системы, но и не дающие возможности замены анода или перегоревшей нити. [c.114]

Разборные вакуумные соединения относятся к числу наиболее ответственных узлов любой вакуумной системы. Это связано с тем, что потеря вакуумной плотности вакуумной системы чаще всего вызывается разгерметизацией разборного соединения. [c.293]

При выборе конструкции разборного соединения для работы в конкретной вакуумной системе необходимо руководствоваться следующими характеристиками [c.293]

В разборных вакуумных соединениях в зависимости от предъявляемых требований к разрежению в вакуумной системе могут быть использованы как неметаллические, так и металлические уплотнители. [c.293]

Для сокращения времени интенсивного газовыделения резиновых изделий перед их постановкой в вакуумные системы рекомендуется провести их обезгаживание при предельной температуре в течение 10—15 ч. После обезгаживания резину хранят в сухом воздухе или азоте. Разборные соединения с использованием резиновых уплотнений должны конструироваться таким образом, чтобы резиновый уплотнитель не воспринимал механические нагрузки и не влиял на точность установки деталей. [c.30]

Комитет стандартов Американского вакуумного общества определяет эту категорию систем как системы с разборными соединениями и уплотнениями, изготовляемые обычно из материалов, обладающих не очень низкой скоростью обезгаживания, в которых может быть достигнуто предельное разрежение (5 10 5 — 5 10 мм рт. ст), несмотря на большую нагрузку за счет процессов обезгаживания и даже присутствие небольших течей [268]. [c.295]

Как правило, тонкопленочные структуры изготавливаются путем последовательного проведения целой серии отдельных операций в разборных высоковакуумных системах, типа тех, что были описаны в разд. 5Б. Однако встречаются ситуации, когда весь процесс должен быть проведен в течение единого непрерывного технологического цикла. Это может возникнуть, например, при необходимости нанесения пленок на большое число подложек и особенно, если каждая из них имеет большую площадь поверхности. В этой ситуации последовательное проведение многих вакуумных циклов согласно требуемому ряду операций будет ограничивать производительность установки. В некоторых случаях при нанесении мно- [c.305]

В разборных высоковакуумных системах, типа той, что представлена на рис. 87, для подсоединения к входу ГТ обычно используются два определенных участка системы. Первый — это линия предварительной откачки между камерой и вращательным насосом, а второй — линия предварительного разрежения, связывающая механический и диффузионный насосы. Для подсоединения к ГТ на обоих указанных участках системы должны быть предусмотрены вакуумные вентили со штуцерами длиной около 5 см и наружным диаметром около 20 мм. Непосредственно само соединение [c.313]

Предварительное разрежение в вакуумной системе масс-спектрометра создается форвакуумным насосом ВН-461 производительностью 50 л1мин, высокий вакуум — диффузионными парортутными насосами ДРН-10 производительностью 7—10 л1сек. В масс-спектро-метре применены разборные высоковакуумные ловушки с жидким азотом, служащие для вымораживания паров ртути, проникающих из диффузионных насосов в откачиваемые объемы, а также для улавливания паров воды. Вакуум в источнике ионов и камере анализатора контролируется ионизационным манометром с двумя переключающимися датчиками, давление в форвакуумной части — термопарным манометром. [c.24]

Обычно спаянные детали считаются неразборным соединением, так как мягкие припои плавятся при относительно низких температурах, иногда в вакуумных системах паяное соединение рассматривается как разборное. Ниже будет рассмотрена пайка твердым припоем пайка мягким припоем (полуразбор-ные соединения) будет описана в разд. 3, гл. 5. [c.49]

Разборные соединения используются в вакуумных системах в тех случаях, когда необходимо обеспечить доступ внутрь вакуумной камеры или заменить детали. В разборных соединениях применяются различные органические материалы, а также металлы. Для органики характерно высокое давление паров, проницаемость и высокие скорости газовыделения, см. разд. 3в,3) и ЗД, 3). Следовательно, их использование ограничивается непрогреваемыми вакуумными системами, предназначенными для работы при давлениях не ниже 10 мм рт. ст. Соединения с прокладками из органики должны быть сконструированы так, чтобы площадь экспонируемой в вакууме поверхности прокладок была возможно меньшей. Для высоко-и сверхвысоковакуумных систем, за редким исключением, используются уплотнения только с металлическими прокладками. [c.268]

Разрядная трубка с полым катодом, как известно, уже давно применяется в спектроскопии для исследования атомных спектров [37, 50—52, 56], а также в спектральном анализе для определения при.месей в веществах высокой степени чистоты, анализа газов, определения трудновозбудимых элементов [51, 53—55]. Их конструкции, свойства и аппаратура, необходимая для работы с ними, описаны в [54, 55]. Несомненно, что разборные разрядные трубки, используемые в спектральном эмиссионном анализе, могут применяться и в атомно-абсорбционной спектрофотометрии однако необходимость применения в этом случае вакуумно-циркуляционных систем сильно осложнила бы сам по себе простой в аппаратурном отношении метод, вследствие чего перед исследователями возникла задача разработки специальных конструкций ламп с полым катодом, т. е. трубок, отпаянных от вакуумной системы, максимально простых в обращении и приспособленных для длительной работы. [c.13]

Разборные соединения получили в вакуумных системах наибольшее распространение. Они облегчают ыонтал ные работы, позволяют производить замену вышедших из строя дета-лей, а также допускают свобод-ный доступ обслуживающего пер- J сонала к внутренним полостям установки. Разборные вакуумно- [c.447]

Как за рубежом, так и в отечественном гидромашиностроении применялась (до работ авт.) только параллельная схема подключения вакуумной вихревой ступени. Последовательная схема подключения разработана [14] и впервые использована в конструкциях самовсасывающего цевтробежвого насоса (см. рис. 2) для перекачки нефтепродуктов на полевых нефтебазах [1б] к в системах оборво-разборных трубопроводов [19]. Эта схема подключения в гидравлическом и конструктивном отношении является наиболее совершенной. [c.11]

Большие успехи в технике высокого вакуума, достигнутые в последнее время, а именно разработка мощных вакуумных насосов и цельнометаллических конструкций для катодного возбуждения образцов (типа 1лектронных микроскопов) в значительной степени устранили трудности, связанные с работой высоковакуумных разборных электронно-лучевых трубок. Смена образцов в таких конструкциях, снабженных смотровыми окнами для наблюдения катодолюминесценции, производится без нарушения вакуума во всей системе через специальные металлические дверцы. Вместе с промежуточной откачкой объема, занимаемого образцами, эта <шерация занимает не более нескольких минут. В прибор вносится обыкно- [c.107]

По сравнению с системами термического испарения конструкции ионно-распылительных установок непрерывного действия несколько менее критичны в смысле внесения в процессе работы загрязнений в пленку. Это связано с постоянной промывкой камер таких установок чистым рабочим газом. Следовательно, примеси из последующих секций прежде, чем попасть в рабочее пространство, должны диффундировать навстречу потоку газа. Поэтому в распылительных установках часто используют способ дифференированной откачки, обладающий преимуществом свободного доступа в камеру в любое время. Однако этим системам свойственны некоторые специфические конструкционные ограничения, связанные с эффектами бомбардировки внутренних элементов камеры и ее стенок ионами и относительно большой электропроводностью плазмы. Недостатком же испарительных систем, в свою очередь, является возможность внесения загрязнений в пленки из-за хаотической диффузии в системе газов со сравнительно большими длинами свободного пробега молекул. В результате на свойства пленок могут отрицательно влиять примеси, пришедшие из других секций установки. Поэтому испарительные установки обычно оборудуются вакуумными шлюзовыми устройствами или магазинами подложек и являются многофункциональными установками. В остальном техника монтажа всех систем непрерывного действия одинакова с техникой для разборных систем. Это означает, что для уплотнения вводов, промежуточных соединений, вентилей и съемных крышек для доступа в камеру в этом случае тоже используются прокладки из эластомеров. [c.306]

Использование геттеро-ионного насоса вместо диффузионного не приводит к заметному изменению рабочих характеристик разборных вакуумных систем. Так, Касуэллу [79] с помощью ионно-распылительного насоса и ловушки Мейснера удалось снизить предельный вакуум всего лишь до 2 10 мм рт. ст. Получившийся в результате состав атмосферы остаточных газов был таким же, что и в случае использования диффузионного насоса. Мейнард [291] для откачки прогреваемой до 100 С внутренними нагревателями разборной системы применил ионно-испарн-тельный насос. Ему удалось достигнуть разрежения около 3 10 мм рт. ст., причем основными газами в остаточной атмосфере были СО, Nj. Аг, На, СН4 и HjO в соотношении, зависящем от рабочих условий. Некоторым преимуществом системы этого типа является отсутствие других, кроме метана, углеводородов. Однако при наличии в системе тлеющего разряда или электронного луча даже небольшой обратный поток паров масла из диффузионного насоса может приводить к постепенному накапливанию пленок твердого полимера или сажи. [c.297]

Согласно определению рабочие характеристики разборных вакуумных систем зависят от отношения большой быстроты откачки к заметной скорости газовыделения. Вследствие использования в системе различных конструкционных материалов выделение газов с разных участков системы неодинаково, в связи с чем распределение давления внутри колпака неоднородно. Не соответствующие реальным условиям низкие показания манометра можно получить, если ионизационный датчик расположен в области, где происходит преимущественно откачка газов, например, вблизи криопанели. В этом случае полученное из показаний прибора давление не соответствует интенсивности бомбардировки остаточными газами остальных частей системы, в том числе и подложки. Таким образом, метод получения очень низких давлений за счет большой быстроты откачки ка практике имеет существенные ограничения. Для достижения свервысоко-го вакуума интенсивности всех процессов газовыделения должны бьпь снижены по сравнению с теми, какие имеют место в описываемых динамических системах. [c.297]

Полностью прогреваемые системы. Эта категория включает в себя системы, сконструированные таким образом, что в них могут прогреваться не только корпус, но и базовая плата вместе с ее уплотнением, а также и все элементы, подсоединенные ниже этой платы . Основная трудность этой задачи связана прежде всего с прогревом соединений. Можно использовать стеклянные системы на основе спаев стекла с металлом или стекла со стеклом. Однако применение таких систем ограничено из-за относительно небольших характерных для них размеров и сложности процедуры их вскрытия и герметизации. Такие системы можно сделать также разборными, если использовать для уплотнения металлические прокладки, см. разд. 4Б, 3). Тип корпуса вакуумной камеры определяется в первую очередь выбором метода соединения. Паяные стеклянные соединения обусловливают использование небольших стеклянных колб или ламп, тогда как ка основе соединений с металлическими прокладками можно создавать универсальные металлические камеры больших диаметров (для исследовательских работ). Для отжига камера, базовая плита и все подсоединяемые к ней компоненты накрываются электрическими печами. В прогреваемых системах одинаково часто применяются как диффузионные, так и геттеро-ионные насосы. Варианты конструкций таких систем обсуждаются в работе Зафирополоса и де Теддео [297]. Использование диффузионного насоса в таких системах требует более тщательного устройства отражателей и ловушек, чем это требуется для стандартных оперативных на-пылительных установок. Для увеличения быстроты откачки и улучшения предельного вакуума широко практикуется дополнительная откачка с помощью криопанелей или геттерных насосов. Как оказалось, очень эффективным способом задержки обратной миграции масла из насоса является установка на высоковакуумной стороне колпака титано-геттерного насоса последовательно с цеолитовой ловушкой [298]. [c.299]

Следующая группа систем, данные о рабочих параметрах которых представлены в табл. 22, сконструированы на основе разборных соединений с металлическими прокладками и откачиваются с помощью диффузионных паромасляных насосов с отражателями и вымораживающими ловушками. В качестве прокладок в них применяются алюминиевая проволока [215], фольга из того же материала [300] и медный лист [58]. В системе Пауэра и др. использовались только прокладки, поскольку насос и отражатель с вымораживателем были выполнены как единый неразборный элемент системы [301]. Вакуумная камера была изготовлена в основном из нержавеющей стали, обезгаживание проводилось при 400° С в течение нескольких часов. [c.300]

При работе с элементами, для которых лаборатория не располагает лампами с полым катодом или безэлектродными высокочастотными источниками света, применяют разборную разрядную трубку с полым катодом и спектрофотометр, собранный на базе монохроматора СФ-4. Разрядная трубка с полым катодом, схематически представленная на рис. 58, работает от вакуумно-циркуляционной системы, подробно описанной ранее [54, 55]. Электрическое питаиие трубки осущест- [c.180]

Справочник химика 21

Химия и химическая технология