Вентиль для сверхвысокого вакуума

Вакуумные вентили, применяемые для проходных сечений Ду 200 и меньше, характеризуются перпендикулярным расположением штока по отношению к уплотняемой поверхности. Вентиль состоит из корпуса с седлом, клапана, крышки, уплотняющих приспособлений и штока. Клапан вентиля, который в закрытом состоянии должен быть плотно прижат к седлу, перемещается при помощи штока, проходящего через крышку корпуса. Крышка соединена с корпусом на металлической или резиновой прокладке. Шток проходит через крышку на резьбе, и через резьбовую канавку внутрь корпуса проникает атмосферный воздух. Чтобы избежать этого устраивают специальное уплотнение,— резиновое, сильфонное или мембранное. Вакуумные вентили, работающие в среднем и низком вакууме, допускают применение литых чугунных или бронзовых корпусов и крышек и резиновых уплотнителей. Высоковакуумные вентили, работающие при давлении 10 —Ю мм рт. ст., требуют сварных или спаянных. корпусов из прокатанного металла. Они также допускают применение уплотнений из резины или фторопласта. Вентили для сверхвысокого вакуума (давление ниже 10 мм рт. ст.) изготавливаются со сварными корпусами из нержавеющей стали с ме-392 [c.392]

Вентили для сверхвысокого вакуума. Если вентиль с резиновой прокладкой поместить в условия сверхвысокого вакуума ( 10 ° рг. ст. , [c.395]

Для разобщения различных частей вакуумной системы и- отделения ее от окружающей атмосферы применяются вакуумные вентили. В зависимости от назначения для регулировки потока газа через указанное устройство используются различные механизмы. В общем случае такие приборы должны обладать минимальным газовыделением и натеканием, а также максимальной пропускной способностью в открытом состоянии. Адекватная пропускная способность требуется в том случае, если площади поперечных сечений открытого затвора (или вентиля) и впускного отверстия системы сравнимы. Скорость обезгаживания можно сделать достаточно малой, применяя при конструировании таких устройств, главным образом, металлы и по возможности избегая экспозиции внутренних поверхностей на воздухе. Вентили, в которых для уплотнения ввода передачи движения используются прокладки из эластомеров, часто условно называются кранами. Используемая в них для снижения трения смазка имеет обычно сравнительно высокое давление паров. Поэтому употребление ее не должно быть чрезмерным. Еще одним источником выделения газа являются сами прокладки из эластомеров. Натекание газа чаще всего происходит через уплотнение вала (штока) ввода для передачи движения. Поэтому тип используемого в данном устройстве уплотнения вала является одной из его важных характеристик. Те устройства, в которых перемещения производятся посредством сильфонов или магнитного привода, принято называть просто вентилями. (Вентили большого проходного сечения часто называют затворами.) Натекание газа в хорошо сконструированных кранах не превышает 10 6 мм рт. ст. л с 1, тогда как в вентилях оно бывает обычно на два порядка величины меньше 1248]. Поэтому в системах сверхвысокого вакуума применяются именно вентили. Они же часто используются и в обычных системах для уменьшения натекания. Более специфической по сравнению со способом уплотнения вала (штока) [c.285]

Установка, предназначенная для получения сверхвысокого вакуума, обычно изготовляется из тугоплавкого стекла, за исключением кранов, в качестве которых используются цельнометаллические вентили, подобно изображенному на рис. 23. Переход от стального корпуса вентиля к стеклу осуществляется за счет использования спаев ковара со стеклом. [c.51]

Рис. 8-13. Вентиль без прокладки и смазки (для сверхвысокого вакуума).

Вакуумные вентили, применяемые для сечения 4у= =200 мм и меньше, имеют перпендикулярное расположение штока по отношению к уплотняемой поверхности. Вентиль состоит из корпуса с седлом, клапана, крышки, уплотняющих приспособлений и штока. Клапан вентиля в закрытом состоянии плотно прижат к седлу. Клапан перемещается с помощью штока, проходящего через крышки корпуса. Шток проходит через крышку на резьбе. Внутрь корпуса через резьбовую канавку проникает воздух. Чтобы предупредить натекание воздуха в систему, в вентиле имеется специальное уплотнение — резиновое, сильфонное или мембранное. В среднем и низком вакууме можно применять вентили с литыми чугунными или бронзовыми корпусами и крышками и резиновыми уплотнениями. Вакуумные вентили, работающие при остаточном давлении 0,133 Па—1,33 мкПа, должны изготовляться из прокатанного металла. Уплотнения могут быть сделаны из резины или фторопласта. Вентили для сверхвысокого вакуума (давление ниже 1,33 мкПа) должны изготовляться из нержавеющей стали с металлическими уплотнителями, допускающими прогрев вентиля для его дегазации. [c.150]

При проходных сечениях вентилей более 50 мм в откачных системах со сверхвысоким вакуумом широкое распространение нашла схема, приведенная на рис. 98, г. Клапан сохраняет герметичность при многократном нагреве до температуры 500° С. Уплотняющее усилие на медный клапан передается через тарельчатые пружины, обеспечивающие сохранение герметичности уплотнения при высокой температуре. Для нормальной работы вентиля необходимо обеспечить соосность конической поверхности клапана и уплотняющей кромки корпуса, а поверхность клапана не должна иметь забоин и рисок. [c.114]

Вентили для сверхвысокого вакуума. Как уже указывалось, в условиях сверхвысокого вакуума необходимо применять металлические прокладки вместо резиновых или фторопластовых, так как сверхвысоковакуумные системы обезгаживаются прогревом до 400° С и выше. При давлениях порядка 10" мм рт. ст. даже без всякого прогрева резина и металлические части вентиля интенсивно выделяют пары и газы. Большое распространение получили металлические уплотнители, в которых используются пластические деформации металла. Деформируемыми металлами обычно служат медь, алюминий и никель. Перед сборкой эти металлы подвергают отжигу. [c.496]

После предварительной откачки установки насосами производится обезгаживание стеклянных деталей путем их длительного прогрева в течение нескольких часов в условиях непрерывной откачки. После этого производится обезгаживание внутренних частей ионизационных манометров путем интенсивной электронной бомбардировки при положительном потенциале коллектора ионов. Затем перекрывают металлический вентиль, отсоединяя тем самым откачиваемый объем от паромасляного насоса, после чего откачка объема производится за счет работы конизационно-го манометра. Помимо ионизационного манометра с горячим катодом для получения сверхвысокого вакуума иногда используют также откачивающее действие магнитного электроразрядного манометра специальной конструкции. [c.51]

Отметим далее, что получение сверхвысокого вакуума за счет одного только откачивающего действия ионизационного манометра (без применения ловушек или поглотителей) возможно лишь в вакуумных системах, изолированных от ИСТОЧ1НИКОВ каких-либо паров, в том числе от диффузионных насосов. В связи с этим для разобщения вакуумной системы от насоса необходимо пользоваться вентилем, не требующим смазки и в то же время достаточно герметичным (см. 8-2). Наконец, для получения сверхвысокого вакуума при помощи ионизированного манометра необходимо предварительно устранить малейшие течи в вакуумной системе, а вакуумную систему и манометрическую лампу тщательно обезгазить. Откачанная насосами до возможно более низкого давления и обезгаженная вакуумная система изолируется от насосов (вентилем) если течи нет, то откачка продолжается при помощи ионизационного манометра. [c.245]

Интересьа конструкция металлического вентиля, работающего без всяких прокладок и смазок и в то же время обладающего герметичностью, позволяющей применять его в вакуумных установках для получения сверхвысокого вакуума (см. [c.297]

Исследования проводились на пленках серебра и золота толщиной 5—10 атомных слоев, напыленных в сверхвысоком вакууме (10 торр) па чистую поверхность вольфрамового острия пары воды вводились в систему с помощью сверхвысоковакуумного вентиля-натекателя анализ газов осуществлялся масс-спектрометрически с помощью омегатрона ИПД0-1[ 1]. [c.86]

Справочник химика 21

Химия и химическая технология