Фототравление

Применительно к машино- и приборостроительной технологии можно привести пример фототравления, когда под действием ультрафиолетового излучения ускоряется процесс растворения металла или полупроводника в тонком слое травителя. [c.129]

По второму способу рельефное изображение получают фототравлением или наращиванием. [c.28]

Для приготовления светочувствительной эмульсии, применяемой при фототравлении, предложено множество рецептов, из которых в качестве примера приводим следующий [c.28]

Далее приступают к полировке фона на мягком полотняном круге хромовой пастой. Полировка придает фону зеркальную поверхность, годную для нанесения текста гравированием или фототравлением. Если медаль не имеет текста, то ровный полированный фон формы упрощает нанесение на нее разделительного слоя. [c.102]

Текст наиболее удобно выполнять методом фототравления на металле. Для медных гальванопластических форм применяют описанный ниже электрохимический способ фототравления. [c.103]

Медная форма с выворотным текстом, полученным фототравлением [c.104]

Изготовление МОП-структур, как можно понять из вышеизложенного. является достаточно сложным процессом. Соединения фтора применяются при фототравлении, которое чаще всего встречается в этом процессе, т.е. именно фототравление играет наиболее важ ную роль при микроминиатюризации. Процесс фототравления состоит, как показано на рис. 3.93, из следующих стадий. [c.235]

Рис. 1-16. Последовательность изготовления криотрона с применением избирательного фототравления.

Таким образом, при изготовлении тонкопленочных схем с применением избирательного фототравления получают ширину шин и, следовательно, плотность компоновки, значительно превосходящие возможности вакуумного напыления с использованием механических масок. [c.59]

Поскольку при использовании избирательного фототравления подложка удаляется из вакуумной камеры сразу же после напыления очередного металлического слоя, то нанесение любого изолирующего слоя можно производить в отдельной камере. Это дает возможность использовать преимущества полимерной изоляции с одновременным нанесением металлических пленок высокой [c.59]

Большим достоинством избирательного фототравления является также и то, что после напыления каждого металлического слоя подложка может быть проверена на отсутствие закорачивающих перемычек или разрывов в схемах. [c.60]

Непосредственного травления Распыление тантала Фототравление (экспонирование через негатив) — - — [c.64]

Защиты алюминием Распыление тантала Напыление алюминия Фототравление(экспонирование через позитив) Полное анодирование тантала Травление [c.64]

Получение рисунка с малым отношением длины к ширине Напыление алюминия Создание рисунка в виде полосок путем фототравления Распыление тантала [c.64]

Применяя метод фототравления с использованием окисного подслоя, подложку покрывают слоем тантала тол- [c.65]

При сочетании анодного травления с защитой алюминием на подложку распыляется тантал, а на него — слой алюминия. Затем с помощью избирательного фототравления алюминий удаляется с площади б (рис. 1-18). После этого подложку погружают в электролит, годный для анодирования как тантала, так и алюминия. Процесс анодирования ведут до тех пор, пока весь тантал в незащищенных алюминием местах не будет окислен. Алюми- [c.65]

Принцип фототравления состоит в следующем. Изображение путем светокопирования через негатив переводят на светочувствительную эмульсию, предварительно нанесенную на металл, а затем проявляют. При проявлении те участки светочувствительной эмульсии, которые не подвергались действию света (темные места негатива), под воздействием теплой воды легко набухают и удаляются с металла, а засвеченные участки (светлые места негатива) остаются [га металле. Оставшуюся эмульсию обрабатывают для цридания ей кислотостойкостн, после чего изображение травят в соответствующих растворах химическим или электрохимическим путем. [c.28]

Метод разделительного сопла был разработан Центром научных исследований в Карлсруэ (ФРГ). Далее в разработке и промышленном внедрении участвовали фирма Штеаг , бразильская фирма Нуклебрас , Интератом ФРГ. Фирма Сименс (Мюнхен) разработала технологию изготовления элементов сопел методом фототравления. В Южной Африке была разработана модификация метода (вихревая труба), схема которой не публиковалась. [c.195]

Прежде всего кремниевую пластину обезжиривают промыв кой в трихлортрифторэтане (фреон-113) или трихлорэтилене и провО дят термообработку при 200° С, затем тонкий слой поверхности пластины окисляют в окислительной среде при 1000° С методом химического осаждения из газовой фазы (ХОГФ) наносят слой нитрида кремния (51 N4) и тонкий слой поверхности 81 N4 окисляют /Л Затем фототравлением наносят соответствующий рисунок и напылением алюминия образуют подъемы (способ получения подъемов описывается ниже). Диоксид кремния (8102) и часть 81 зК4 вытравливают для получения соответствующего рисунка и осуществляют диффузию бора (В) для образования каналов . А1, [c.233]

Материалы с относительно низкой поверхностной энергией, например полиэтилен, полипропилен, полисилоксаны или металлы, поверхность которых покрыта маслом, хорошо смачиваются только под действием фторсодержащих ПАВ. Например, при добавке фторсодержащих ПАВ к средствам для чистки кухонной посуды или оконных стекол смачивание значительно улучшается, причем высокое качество чистки и блеск достигаются в результате одной операции [71] При добавке 0,1% неионогенного поверхностно-активного вещества в резист для фототравления улучшается смачивание, повышается четкость рисунка и предотвращается появление дефектов [72]. Кроме того, при добавлении неионогенных или анионоактивных фторсодержащих ПАВ в качестве смачивающих агентов в желатиносодержащие растворы для ф отографии достигаются значительно более высокий, чем в случае ранее применявшихся смачивающих агентов, выравнивающий эффект,, лучшая воспроизводимость, исчезновение масляных пятен [ 73 - 75]. Введение фторсодержащих ПАВ в водные инсектицидные аэрозоли увеличивает скорость впитывания, облегчает прилипание капелек к насекомым и повышает процент летальности [ 76 ]. Небольшая добавка этих веществ к краскам снижает их поверхностное натяжение, в результате чего улучшается смачивание поверхности и, что особенно важно, становится возможным нанесение краски на участки, загрязненные маслом [ 77, 78]. Добавка фторсодержащих ПАВ к типографской краске повышает ее текучесть и улучшает выравнивающую способность [ 79]. [c.396]

Рассмотренный метод фотоселективной металлизации субстратов позволяет заменить процессы с фототравлением, применением фоторезистов и медной фольги процессами аддитивной технологии печатных плат [61], повысить разрешение сравнительно с галоген- серебряными материалами при изготовлении фотошаблонов для интегральных схем [72]. Имеются указания и о применимости процессов с физическим проявлением непосредственно для изготовления интегральных схем [57]. Поскольку олеофильное металличе- [c.88]

Часто избирательное фототравление сочетается с использованием механических масок. Процесс изготовления тонкопленочных микросхем, при котором применяются оба метода, схематически показан на рис. 1-17. На подложку из боросиликатного стекла путем термического испарения в вакууме напыляется пленка меди толщиной около 0,3 мк (рис. 1-17,а). Поверх пленки наносится фотоэмульсия, которая высущивается в струе [c.61]

Метод фототравления. При использовании метода непосредственного фототравления вначале вся подложка покрывается танталом или нитридом тантала, а затем тонким слоем фоточувствительной эмульсии. После этого производится экспонирование эмульсии через негатив требуемого рисунка, т. е. экспонируются части, ограниченные площадью А (рис. 1-18). После смывания эмульсии с незасвеченной области Б нанесенная на подложку [c.63]

Обратной маски Напыление меди Фототравление(экспонирование через негатив) Распыление тантала Вытравливание медв — [c.64]

Защиты окислом Распыление тантала Напыление алюлшния Фототравление (экспонирование через позитив) Анодирование Травление [c.64]

Затем на этой пленке с помощью избирательного фототравления получают прорези, форма которых соответствует области А (рис. 1-18). После этого на всю поверхность подложки распыляют тантал и погружают ее в травитель, который действует иа нижний слой металла 1(мвдь или алюминий). В результате растворения нижнего слоя мета.чла освобождается лежащий поверх него тантал. После травления тантал остается только на участке подложки, ограниченной областью А. Поскольку для растворения меди и алюминия используются слабые травители, то подложка не разрушается. Описанным методом получаются четкие и резкие края рисунка, так как здесь используется очень тонкая свободная маска, которая почти без зазора прилегает к подложке. [c.65]

В литературе последних лет обсуждается множество проблем, решить которые пытаются с помощью получения пленок методом ионного распыления. При этом исследуются различные пленки и разнообразные области их использования от сверхпроводящих пленок до керметов (одновременное распыление металлической и диэлектрической мишеней) от сегнето- и пьезоэлектрических пленок до ферромагнитных от резистивных, проводящих и диэлектрических пленок для пассивных элементов микросхем до защитных и пассивирующих в активных устройствах от покрытий для лучщего предохранения от коррозии, истирания и износа до пленок твердой смазки от покрытий пластмассы дли электрических схем на гибких подложках или гибких соединителей до покрытий лезвий бритв от фотоэмиссионных пленок до оптических покрытий от попыток создания новых пленочных метастабильных сплавов до изготовленил сплошных хромовых. масок для фототравления. Перечисленные вопросы сбсуждаются в других главах данной книги. [c.363]

Если вводить в пленки поливинилалкоголя двухромовокислый калий или аммоний, пленки становятся светочувствительными. Такие пленки используются при фототравлении металлов и фотолитографской печати. Участки светочувствительной пленки, подвергшиеся действию света, теряют растворимость в воде, а не подвергавшиеся действию света растворяк>тся и легко смываются водой. Нерастворимая часть оставляет отпечаток на металле. На этом основании было предложено повышать водостойкость поливинилалкоголя и его соединений погружением их в раствор соединений металлов VI и VIII групп менделеевской системы при комнатной или повышенной температуре с одновременным облучением светом. Поливинилалкоголь повышает прочность бумаги во влажном состоянии и поэтому он применяется в производстве салфеток и полотенец из бумаги. Прочность бумаги во влажном состоянии сохраняется 40—50 секунд, что достаточно для времени пользования полотенцем. Поливинилалкоголь делает также бумагу прозрачной, смягчает ее и применяется для производства глазурованной бумаги. О применении поливинилалкоголя как клея см. книгу автора Синтетические клеи . Поливинилалкоголь является прекрасным эмульгатором и может применяться с этой целью и в слабокислой, и в нейтральной среде. Он используется как эмульгатор и загуститель для косметических паст и мыльных палочек для бритья. [c.124]

Форму изготавливают фототравленнем металла и наполнением углублений непроводящим материалом. Такая форма пригодна для многократного использования. [c.24]

Справочник химика 21

Химия и химическая технология