Диффузионные насосы отражатели и ловушки

Простейшей ловушкой для предотвращения попадания паров рабочих жидкостей в реципиент является механический маслоотражатель, который при работе паромасляного диффузионного насоса обычно устанавливается таким образом, чтобы закрыть угол прямой видимости откачиваемого объема из верхнего сопла насоса при наименьшем снижении пропускной способности системы. Механическая ловушка задерживает пары масла, стремящиеся проникнуть в откачиваемый объем, но в то же время поверхность ее покрывается маслом, которое непрерывно испаряется упругость паров масла над поверхностью ловушки будет соответствовать ее температуре. Создаваемое насосом предельное давление и определяется в основном давлением паров масла после отражателя. Отсюда следует, что такую ловушку целесообразно снабдить системой охлаждения так, чтобы на ее поверхности происходила конденсация паров масла. Большинство механических ловушек охлаждается проточной водой. Ловушки, охлаждаемые до более низкой температуры, служат [c.255]

Необходимым условием для получения сверхвысокого вакуума является ловушка для паров масла. На рис. 339 показан спектр остаточных газов системы двух последовательно включенных диффузионных насосов с лабиринтным отражателем. Измеренное полное давление составило здесь 1,6.10 мм рт. ст. [c.399]

Высоковакуумная система триплетного калориметра принципиально не отличается от системы в предыдущей контрукции [28], за исключением некоторых изменений (рис. 23). Вокруг триплетного калориметра 1 смонтирована термостатируемая водой медная труба диаметром 90 мм и длиной 40 см. Все тепловые экраны и ловушки для пара сняты. Испаряемое вещество конденсируют на охлаждаемый водой отражатель 2 масляного диффузионного насоса 3. Несконденсированные соединения откачивают через диффузионный насос, где они частично разлагаются. Пары, которые проходят через диффузионный насос, собираются в масле форвакуумного ротационного насоса 4. После 70-100 опытов диффу зиои- [c.43]

Идея откачки посредством передачи импульса струи диффундирующим молекулам газа была впервые описана и запатентована Геде [25]. В дальнейшем в интересной обзорной статье Дженкель рассмотрел техническую эволюцию диффузионных насосов [26], а принцип их действия анализировал Дэшман [27]. Основные характерные черты современных диффузионных насосов проявились уже в конструкции, описанной Ленгмюром в 1916 г., [28], однако еще и по настоящее время продолжается процесс улучшения их рабочих характеристик. В частности, с целью решения проблемы обратного потока паров рабочей жидкости используются различные ловушки и отражатели. Характеристики современных диффузионных насосов зависят не только от их конструкции, но в значительной мере определяются также и типом отражателя, используемого вместе с насосом. [c.185]

J —верхняя крышка 2 — прокладка НЗ эластомера 3 — колпак 4 — .к-ран, охлаждаемый жидким азотом 5 — смотровое окно 6 — опорная плита 7 — манометр 8 — вентиль 9 отражатель 0 — диффузионный насос И — кран напуска /2— кран 13 — форвакуумный манометр 14 — форвакуумная ловушка 15 — сильфоипый (или резиновый) вакуум-провод 16 — выхлопная труба 17 — форвакуумная линия 18 — форвакуумный вентиль 19 — вращательный масляный насос 20 — вентиль. [c.295]

Полностью прогреваемые системы. Эта категория включает в себя системы, сконструированные таким образом, что в них могут прогреваться не только корпус, но и базовая плата вместе с ее уплотнением, а также и все элементы, подсоединенные ниже этой платы . Основная трудность этой задачи связана прежде всего с прогревом соединений. Можно использовать стеклянные системы на основе спаев стекла с металлом или стекла со стеклом. Однако применение таких систем ограничено из-за относительно небольших характерных для них размеров и сложности процедуры их вскрытия и герметизации. Такие системы можно сделать также разборными, если использовать для уплотнения металлические прокладки, см. разд. 4Б, 3). Тип корпуса вакуумной камеры определяется в первую очередь выбором метода соединения. Паяные стеклянные соединения обусловливают использование небольших стеклянных колб или ламп, тогда как ка основе соединений с металлическими прокладками можно создавать универсальные металлические камеры больших диаметров (для исследовательских работ). Для отжига камера, базовая плита и все подсоединяемые к ней компоненты накрываются электрическими печами. В прогреваемых системах одинаково часто применяются как диффузионные, так и геттеро-ионные насосы. Варианты конструкций таких систем обсуждаются в работе Зафирополоса и де Теддео [297]. Использование диффузионного насоса в таких системах требует более тщательного устройства отражателей и ловушек, чем это требуется для стандартных оперативных на-пылительных установок. Для увеличения быстроты откачки и улучшения предельного вакуума широко практикуется дополнительная откачка с помощью криопанелей или геттерных насосов. Как оказалось, очень эффективным способом задержки обратной миграции масла из насоса является установка на высоковакуумной стороне колпака титано-геттерного насоса последовательно с цеолитовой ловушкой [298]. [c.299]

Для напыления фирмой Эдвардс выпускаются также сверхвысоковакуумные агрегаты со скоростью откачки 1000 л/с, снабженные ртутными диффузионными насосами, ловушкой, охлаждаемой жидким азотом, и отражателями. Два диффузионных насоса соединены последовательно и присоединены к одноступенчатому вращательному насосу с ловушкой. Конденсационный насос Е1000 присоединен к верхней части камеры, чтобы обеспечивать высокую скорость откачки в те моменты процесса, когда выделяется большое количество газов. Предельное давление, создаваемое в этой установке, превосходит 10 мм рт. ст. Установка показана на рис. 153. Параметры конденсационного насоса Е1000 скорость откачки 1000 л/с, предельное давление 5-10 мм рт. ст. (исключая водород и гелий). [c.236]

Следующая группа систем, данные о рабочих параметрах которых представлены в табл. 22, сконструированы на основе разборных соединений с металлическими прокладками и откачиваются с помощью диффузионных паромасляных насосов с отражателями и вымораживающими ловушками. В качестве прокладок в них применяются алюминиевая проволока [215], фольга из того же материала [300] и медный лист [58]. В системе Пауэра и др. использовались только прокладки, поскольку насос и отражатель с вымораживателем были выполнены как единый неразборный элемент системы [301]. Вакуумная камера была изготовлена в основном из нержавеющей стали, обезгаживание проводилось при 400° С в течение нескольких часов. [c.300]

Нд-диффузион-ный насос с отражателем и ловушкой АЬкамера с Мо сублимационным насосом [c.301]

Справочник химика 21

Химия и химическая технология