Отражатели для диффузионных насосо

Простейшей ловушкой для предотвращения попадания паров рабочих жидкостей в реципиент является механический маслоотражатель, который при работе паромасляного диффузионного насоса обычно устанавливается таким образом, чтобы закрыть угол прямой видимости откачиваемого объема из верхнего сопла насоса при наименьшем снижении пропускной способности системы. Механическая ловушка задерживает пары масла, стремящиеся проникнуть в откачиваемый объем, но в то же время поверхность ее покрывается маслом, которое непрерывно испаряется упругость паров масла над поверхностью ловушки будет соответствовать ее температуре. Создаваемое насосом предельное давление и определяется в основном давлением паров масла после отражателя. Отсюда следует, что такую ловушку целесообразно снабдить системой охлаждения так, чтобы на ее поверхности происходила конденсация паров масла. Большинство механических ловушек охлаждается проточной водой. Ловушки, охлаждаемые до более низкой температуры, служат [c.255]

Принцип действия ионного насоса основывается на том, что в откачиваемом объеме происходит ионизация газа и образующиеся ионы перемещаются в направлении к катоду, откуда они после нейтрализации удаляются насосом предварительного разрежения. Скорость откачки такого насоса весьма незначительна, а расход энергии значительно больше, чем для диффузионного насоса. Основное преимущество насоса, бесспорно, состоит в том, что здесь отсутствует рабочая жидкость, пары которой могут проникнуть в откачиваемый объем. Для некоторых установок этот фактор имеет первостепенное значение. Благодаря такому свойству ионных насосов отпадает какая-либо необходимость в применении отражателей и охлаждаемых ловушек, которые обычно создают дополнительные сопротивления и резко снижают достигаемую скорость откачки. [c.205]

Полностью прогреваемые системы. Эта категория включает в себя системы, сконструированные таким образом, что в них могут прогреваться не только корпус, но и базовая плата вместе с ее уплотнением, а также и все элементы, подсоединенные ниже этой платы . Основная трудность этой задачи связана прежде всего с прогревом соединений. Можно использовать стеклянные системы на основе спаев стекла с металлом или стекла со стеклом. Однако применение таких систем ограничено из-за относительно небольших характерных для них размеров и сложности процедуры их вскрытия и герметизации. Такие системы можно сделать также разборными, если использовать для уплотнения металлические прокладки, см. разд. 4Б, 3). Тип корпуса вакуумной камеры определяется в первую очередь выбором метода соединения. Паяные стеклянные соединения обусловливают использование небольших стеклянных колб или ламп, тогда как ка основе соединений с металлическими прокладками можно создавать универсальные металлические камеры больших диаметров (для исследовательских работ). Для отжига камера, базовая плита и все подсоединяемые к ней компоненты накрываются электрическими печами. В прогреваемых системах одинаково часто применяются как диффузионные, так и геттеро-ионные насосы. Варианты конструкций таких систем обсуждаются в работе Зафирополоса и де Теддео [297]. Использование диффузионного насоса в таких системах требует более тщательного устройства отражателей и ловушек, чем это требуется для стандартных оперативных на-пылительных установок. Для увеличения быстроты откачки и улучшения предельного вакуума широко практикуется дополнительная откачка с помощью криопанелей или геттерных насосов. Как оказалось, очень эффективным способом задержки обратной миграции масла из насоса является установка на высоковакуумной стороне колпака титано-геттерного насоса последовательно с цеолитовой ловушкой [298]. [c.299]

Что касается средств, применяемых для создания вакуума в установках напыления, то в случае их периодической работы важно получить предельное давление в системе возможно быстрее. Нужно также периодически работающую установку конструировать так, чтобы ее можно было быстро и удобно прогреть. В некоторых случаях целесообразно применение геттерного насоса, так как при нагреве испарителей во время напыления выделяется дополнительное количество газа, которое может вызвать нежелательное повышение давления. До начала напыления внутреннюю поверхность установки покрывают слоем титана, который в процессе напыления и служит геттерным насосом. По некоторым данным, для таких установок не всегда целесообразно применение геттерно-ионных насосов, а наилучшими средствами откачки считают диффузионные насосы с лабиринтными отражателями или молекулярные насосы. Возможно также применение конденсационных насосов. [c.234]

I — камера для напыления 2 — печь 3 — вентиль с гидравлическим приводом -4—лабиринтный отражатель 5—диффузионный насос 6 — гидравлический насос [c.235]

Рис. 339. Спектр остаточных газов прогреваемого сверхвысоковакуумного откачного поста с двумя последовательно включенными диффузионными насосами и лабиринтным отражателем

Необходимым условием для получения сверхвысокого вакуума является ловушка для паров масла. На рис. 339 показан спектр остаточных газов системы двух последовательно включенных диффузионных насосов с лабиринтным отражателем. Измеренное полное давление составило здесь 1,6.10 мм рт. ст. [c.399]

Высоковакуумная система триплетного калориметра принципиально не отличается от системы в предыдущей контрукции [28], за исключением некоторых изменений (рис. 23). Вокруг триплетного калориметра 1 смонтирована термостатируемая водой медная труба диаметром 90 мм и длиной 40 см. Все тепловые экраны и ловушки для пара сняты. Испаряемое вещество конденсируют на охлаждаемый водой отражатель 2 масляного диффузионного насоса 3. Несконденсированные соединения откачивают через диффузионный насос, где они частично разлагаются. Пары, которые проходят через диффузионный насос, собираются в масле форвакуумного ротационного насоса 4. После 70-100 опытов диффу зиои- [c.43]

Идея откачки посредством передачи импульса струи диффундирующим молекулам газа была впервые описана и запатентована Геде [25]. В дальнейшем в интересной обзорной статье Дженкель рассмотрел техническую эволюцию диффузионных насосов [26], а принцип их действия анализировал Дэшман [27]. Основные характерные черты современных диффузионных насосов проявились уже в конструкции, описанной Ленгмюром в 1916 г., [28], однако еще и по настоящее время продолжается процесс улучшения их рабочих характеристик. В частности, с целью решения проблемы обратного потока паров рабочей жидкости используются различные ловушки и отражатели. Характеристики современных диффузионных насосов зависят не только от их конструкции, но в значительной мере определяются также и типом отражателя, используемого вместе с насосом. [c.185]

J —верхняя крышка 2 — прокладка НЗ эластомера 3 — колпак 4 — .к-ран, охлаждаемый жидким азотом 5 — смотровое окно 6 — опорная плита 7 — манометр 8 — вентиль 9 отражатель 0 — диффузионный насос И — кран напуска /2— кран 13 — форвакуумный манометр 14 — форвакуумная ловушка 15 — сильфоипый (или резиновый) вакуум-провод 16 — выхлопная труба 17 — форвакуумная линия 18 — форвакуумный вентиль 19 — вращательный масляный насос 20 — вентиль. [c.295]

Рве. 88. Кривая откачки разборной высоковакуумвой системы с колпаком, объемом 75 л, диаметром 450 мм, диффузионным 100-миллиметровым насосом с водоохлаждаемым отражателем н экраном, охлаждаемым жидхин азотом [80 . [c.296]

Частично прогреваемые системы. Некоторые исследователи пытались примирить требования необходимости прогрева и удобства свободного доступа к внутренним элементам, появляющиеся при применении для уплотнения корпуса с базовой плитой прокладок из эластомеров. Обычно такие системы откачиваются с помощью вращательных масляных и диффузионных насосов с охлаждаемыми отражателями. Корпус камеры, выполненный в форме цилиндра или колпака, может прогреваться, тогда как прокладка при этом поддерживается при температуре ниже предельной с точки зрения ее стабильности. О первой попытке такого рода сообщил Танер с сотрудниками, которые, используя охлаждаемые водой индиевые прокладки, могли обезгаживать камеру при 425° С [293]. Было получено предельное давление около 10 мм рт. ст. Анализируя этот эксперимент, Холлэнд показал, что при таких условиях газовыделение из не-прогретой части площади поверхности на несколько порядков величины [c.298]

Для напыления фирмой Эдвардс выпускаются также сверхвысоковакуумные агрегаты со скоростью откачки 1000 л/с, снабженные ртутными диффузионными насосами, ловушкой, охлаждаемой жидким азотом, и отражателями. Два диффузионных насоса соединены последовательно и присоединены к одноступенчатому вращательному насосу с ловушкой. Конденсационный насос Е1000 присоединен к верхней части камеры, чтобы обеспечивать высокую скорость откачки в те моменты процесса, когда выделяется большое количество газов. Предельное давление, создаваемое в этой установке, превосходит 10 мм рт. ст. Установка показана на рис. 153. Параметры конденсационного насоса Е1000 скорость откачки 1000 л/с, предельное давление 5-10 мм рт. ст. (исключая водород и гелий). [c.236]

При производстве тонкопленочньк солнечных элементов большую роль играет вакуумная технология. Вакуумное оборудование необходимо, например, при физическом осалодении из паровой фазы - вакуумном испарении. Вакуумная система содержит диффузионные и вспомогательные форвакуумные насосы и должна обеспечивать давление 10 " -10 Па. Такая система наиболее часто используется для создания тонких пленок в основном благодаря небольшой стоимости, простоте и высокой скорости откачки. При использовании в диффузионных насосах специальных масел (например, полифенилового эфира), криогенных отражателей и полностью металлической конструкции в системе достигается сверхвысокий вакуум с давлением в диапазоне 10 -10 Па. Другая стандартная сверхвысоковакуумная система основана на применении ионно-распьшительного насоса в сочетании с сорбционными и вспомогательными титановыми сублимационными насосами. [c.47]

Следующая группа систем, данные о рабочих параметрах которых представлены в табл. 22, сконструированы на основе разборных соединений с металлическими прокладками и откачиваются с помощью диффузионных паромасляных насосов с отражателями и вымораживающими ловушками. В качестве прокладок в них применяются алюминиевая проволока [215], фольга из того же материала [300] и медный лист [58]. В системе Пауэра и др. использовались только прокладки, поскольку насос и отражатель с вымораживателем были выполнены как единый неразборный элемент системы [301]. Вакуумная камера была изготовлена в основном из нержавеющей стали, обезгаживание проводилось при 400° С в течение нескольких часов. [c.300]

Нд-диффузион-ный насос с отражателем и ловушкой АЬкамера с Мо сублимационным насосом [c.301]