Вакуумные соединения разборные

Замазку вакуумную применяют для уплотнения разборных,, но неподвижных соединений вакуумных установок. [c.253]

Б. Разборные вакуумные соединения.............268 [c.176]

РАЗБОРНЫЕ ВАКУУМНЫЕ СОЕДИНЕНИЯ [c.293]

Б. Разборные вакуумные соединения [c.268]

Разборные вакуумные соединения относятся к числу наиболее ответственных узлов любой вакуумной системы. Это связано с тем, что потеря вакуумной плотности вакуумной системы чаще всего вызывается разгерметизацией разборного соединения. [c.293]

Замазка вакуумная, ГОСТ 9646—61, представляет собой композицию из вакуумной смазки по ГОСТ 9645—61 (И 1%), церезина по ГОСТ 2488—47 всех марок, кроме 57 (9 1%), остатка после вакуумной разгонки вазелинового медицинского масла по ГОСТ 3164—52 (20 1% ) и косметического, каолина по ГОСТ 6138—61 (остальное до 100%). Применяется для уплотнения разборных соединений вакуумных установок. [c.383]

Неразборные соединения представляют интерес прежде всего для разработчиков и изготовителей вакуумных систем. Однако поскольку оборудование для осаждения для некоторых частных применений или исследований часто перестраивается, оператор также должен иметь определенные знания об основных способах выполнения соединений. Выбор способа соединений зависит от свойств материалов. Неразборные соединения металлов с металлами осуществляются сваркой или пайкой твердыми припоями. Паяные мягкими припоями соединения металла с металло.м являются полу-разборными (составляющие его детали могут быть разъединены и вновь соединены без нарушения рабочих поверхностей). По мере того, как популярные ранее стеклянные вакуумные системы заменяются цельнометаллическими, стеклянные паяные соединения теряют свое значение. Однако соединения металла со стеклом и металла с керамикой для специальных вакуумных элементов применимы и по настоящее время. Третья группа вакуумных материалов, эластомеры, применяются только в разборных соединениях. [c.246]

В разборных вакуумных соединениях в зависимости от предъявляемых требований к разрежению в вакуумной системе могут быть использованы как неметаллические, так и металлические уплотнители. [c.293]

Вакуумные соединения могут быть неразборными и разборными. [c.446]

Разборные вакуумно-плотные соединения, применяемые в лаборатории, представляют собой грибковые и-фланцевые соединения. [c.243]

Эти составы применяют для уплотнения разборных соединений вакуумных установок. Основными показателями являются температура каплепадения, пенетрация, испытания на прилипаемость и на клеящую способность. [c.382]

Настоящий стандарт распространяется на замазку, применяемую для уплотнения разборных соединений вакуумных установок. [c.559]

Замазка вакуумная ОСТ 38 0194—75,— композиция из вакуумной смазки, церезина, остатка после вакуумной разгонки вазелинового медицинского масла и косметического каолина. Применяется для уплотнения разборных соединений вакуумных установок. [c.440]

Эта вакуумная система является динамической или кинетической с помощью высокопроизводительных насосов в ней достигается требуемая степень разрежения даже при газовыделении и наличии небольших течей (ом. разд. 1, гл. 3). В таких вакуумных системах, работаюш,их в режиме непрерывной откачки, применяются в основном разборные соединения (см. разд. 3). Динамические вакуумные системы, как правило, имеют большие размеры однако откачиваемые камеры могут иметь при этом различные габариты (от нескольких сантиметров до нескольких метров). [c.8]

Аппаратура для получения и регистрации рентгеновских спектров. Прибор состоит из рентгеновской трубки — источника возбуждения, спектрометра и детектора (рис. 207). Рентгеновская трубка представляет собой стеклянный баллон с двумя электродами внутри, к которым от внешнего источника тока приложено напряжение. Для получения первичных спектров используют разборные трубки, соединенные с вакуумным насосом для откачки воздуха. Пробу в этом случае помещают на аноде, выполненном в ви-де небольшого массивного столика из меди или алюминия. Под действием высокого напряжения на электродах электроны, испускаемые предварительно нагретым катодом, приобретают высокую С-серия кинетическую энергию и, попадая на пробу, возбуждают в ней рентгеновское излучение. Для получения спектров флуо- к-серия ресценции используют неразборные запаянные вакуумированные трубки (рис. [c.367]

Комитет стандартов Американского вакуумного общества определяет эту категорию систем как системы с разборными соединениями и уплотнениями, изготовляемые обычно из материалов, обладающих не очень низкой скоростью обезгаживания, в которых может быть достигнуто предельное разрежение (5 10 5 — 5 10 мм рт. ст), несмотря на большую нагрузку за счет процессов обезгаживания и даже присутствие небольших течей [268]. [c.295]

В разборных высоковакуумных системах, типа той, что представлена на рис. 87, для подсоединения к входу ГТ обычно используются два определенных участка системы. Первый — это линия предварительной откачки между камерой и вращательным насосом, а второй — линия предварительного разрежения, связывающая механический и диффузионный насосы. Для подсоединения к ГТ на обоих указанных участках системы должны быть предусмотрены вакуумные вентили со штуцерами длиной около 5 см и наружным диаметром около 20 мм. Непосредственно само соединение [c.313]

Сильфон представляет собой гофрированную металлическую трубку, которая благодаря гофрировке легко сгибается и растягивается. Вентили к трубопроводам вакуумной системы присоединяют с помощью разборных фланцевых соединений с резиновым уплотнением. [c.246]

При выборе конструкции разборного соединения для работы в конкретной вакуумной системе необходимо руководствоваться следующими характеристиками [c.293]

Замазка вакуумная (ОСТ 38 0194—75)—однородная плотная пластичная масса. Применяется для уплотнения разборны,ч, но неподвижных соединений вакуумных установок. [c.172]

Замазка вакуумная (ОСТ 38 0194—75)—однородная пластичная масса, в состав которой входит тяжелая фракция вазелинового медицинского масла, церезин и вакуумная смазка. Кроме того, замазка содержит 40% косметического каолина. Применяют вакуумную замазку для уплотнения разборных, но неподвижных соединений вакуумных установок. [c.253]

Вакуумная замазка (ГОСТ 9646—61) представляет собой однородную пластичную массу. В ее состав входит тяжелая фракция вазелинового медицинского масла, церезин и вакуумная смазка. Кроме того, в состав замазки вводится 40% косметического као-. лина. Вакуумная замазка применяется для уплотнения разборных, но неподвижных соединений вакуумных установок. Она используется взамен пицеина и различных вакуумных замазок кустарного производства. [c.376]

Для сокращения времени интенсивного газовыделения резиновых изделий перед их постановкой в вакуумные системы рекомендуется провести их обезгаживание при предельной температуре в течение 10—15 ч. После обезгаживания резину хранят в сухом воздухе или азоте. Разборные соединения с использованием резиновых уплотнений должны конструироваться таким образом, чтобы резиновый уплотнитель не воспринимал механические нагрузки и не влиял на точность установки деталей. [c.30]

Разборные вакуумно-плотные соединения осуществляются с помощью резиновых и металлических про кладок. Для умеренных температур и нагрузок наиболее часто в качестве прокладочного материала иапользуется вакуумная ревина. На рис. 17 показаны два широко распространенные типа фланцевых соединений для труб диаметром от 10 до 500 мм, уплотненных кольцевой прокладкой, вырезанной из вакуумной резины. [c.35]

Для уплотнения неподвижных разборных соединений вакуумных систем [c.154]

Уплотнение этого типа представляет собою разборное вакуумное соединение на основе кольцевой прокладки круглого сечения, т. е. тора. Кольцо, сделанное из резины или металла (см. табл. 3-16), сжимают (или иногда защемляют) между сочленяемыми деталями. Если сила затяжки приложена в ос-но-вном перпендикулярно плоскости тора, то уплотнение обычно называют фланцевым, а если эта сила действует в радиальном направлении, то осевым. [c.222]

Резиновые пластины (ТУ МХП № У251—54) выпускаются толщиной от 2 до 30 мм и применяются для разборных вакуумных соединений, работающих при давлениях не ниже 1 10" мм рт. ст. и температурах от —30 до +90° С. [c.30]

Обычно спаянные детали считаются неразборным соединением, так как мягкие припои плавятся при относительно низких температурах, иногда в вакуумных системах паяное соединение рассматривается как разборное. Ниже будет рассмотрена пайка твердым припоем пайка мягким припоем (полуразбор-ные соединения) будет описана в разд. 3, гл. 5. [c.49]

По сравнению с системами термического испарения конструкции ионно-распылительных установок непрерывного действия несколько менее критичны в смысле внесения в процессе работы загрязнений в пленку. Это связано с постоянной промывкой камер таких установок чистым рабочим газом. Следовательно, примеси из последующих секций прежде, чем попасть в рабочее пространство, должны диффундировать навстречу потоку газа. Поэтому в распылительных установках часто используют способ дифференированной откачки, обладающий преимуществом свободного доступа в камеру в любое время. Однако этим системам свойственны некоторые специфические конструкционные ограничения, связанные с эффектами бомбардировки внутренних элементов камеры и ее стенок ионами и относительно большой электропроводностью плазмы. Недостатком же испарительных систем, в свою очередь, является возможность внесения загрязнений в пленки из-за хаотической диффузии в системе газов со сравнительно большими длинами свободного пробега молекул. В результате на свойства пленок могут отрицательно влиять примеси, пришедшие из других секций установки. Поэтому испарительные установки обычно оборудуются вакуумными шлюзовыми устройствами или магазинами подложек и являются многофункциональными установками. В остальном техника монтажа всех систем непрерывного действия одинакова с техникой для разборных систем. Это означает, что для уплотнения вводов, промежуточных соединений, вентилей и съемных крышек для доступа в камеру в этом случае тоже используются прокладки из эластомеров. [c.306]

МОЖНО обеспечить с помощью свинцовой проволоки, прижатой к плоским торцам. Диаметр прово оки 1 (рис. 3-75) был равен 1,6 мм. Трубки, утолщенные по концам, стягивали вместе с помощью винтов 4 и колец 3, опирающихся на конические (шлифованные) поверхности через вставки 2 из асбеста, пропитанного графитом. Уплотнение этого типа диаметром 50 мм допускало прогрев при 300°С в течение длительного времени (до 64 ч). Это позволило достичь в вакуумной истеме вакуума порядка 10 . .II рт. ст. Аналогичная конструкция с индиепо прокладкой была использована для ] зготовления разборных электродов (рис. 4-10) и д,ля соединения электроде держателя с радиально смещенными деталями (рис. 4-34). Проволоку из железа высокой чистоты можно зажать (см. табл. 3-13) между лужеными фланцами с хорошей обработкой поверхности (табл. 3-37). Было изготовлено тар же вакуумное уплотнение на плоских фланцах с помощью проволочной прокладки из сплава, содержащего 99% алюминия. [c.232]

Разборные соединения используются в вакуумных системах в тех случаях, когда необходимо обеспечить доступ внутрь вакуумной камеры или заменить детали. В разборных соединениях применяются различные органические материалы, а также металлы. Для органики характерно высокое давление паров, проницаемость и высокие скорости газовыделения, см. разд. 3в,3) и ЗД, 3). Следовательно, их использование ограничивается непрогреваемыми вакуумными системами, предназначенными для работы при давлениях не ниже 10 мм рт. ст. Соединения с прокладками из органики должны быть сконструированы так, чтобы площадь экспонируемой в вакууме поверхности прокладок была возможно меньшей. Для высоко-и сверхвысоковакуумных систем, за редким исключением, используются уплотнения только с металлическими прокладками. [c.268]

Полностью прогреваемые системы. Эта категория включает в себя системы, сконструированные таким образом, что в них могут прогреваться не только корпус, но и базовая плата вместе с ее уплотнением, а также и все элементы, подсоединенные ниже этой платы . Основная трудность этой задачи связана прежде всего с прогревом соединений. Можно использовать стеклянные системы на основе спаев стекла с металлом или стекла со стеклом. Однако применение таких систем ограничено из-за относительно небольших характерных для них размеров и сложности процедуры их вскрытия и герметизации. Такие системы можно сделать также разборными, если использовать для уплотнения металлические прокладки, см. разд. 4Б, 3). Тип корпуса вакуумной камеры определяется в первую очередь выбором метода соединения. Паяные стеклянные соединения обусловливают использование небольших стеклянных колб или ламп, тогда как ка основе соединений с металлическими прокладками можно создавать универсальные металлические камеры больших диаметров (для исследовательских работ). Для отжига камера, базовая плита и все подсоединяемые к ней компоненты накрываются электрическими печами. В прогреваемых системах одинаково часто применяются как диффузионные, так и геттеро-ионные насосы. Варианты конструкций таких систем обсуждаются в работе Зафирополоса и де Теддео [297]. Использование диффузионного насоса в таких системах требует более тщательного устройства отражателей и ловушек, чем это требуется для стандартных оперативных на-пылительных установок. Для увеличения быстроты откачки и улучшения предельного вакуума широко практикуется дополнительная откачка с помощью криопанелей или геттерных насосов. Как оказалось, очень эффективным способом задержки обратной миграции масла из насоса является установка на высоковакуумной стороне колпака титано-геттерного насоса последовательно с цеолитовой ловушкой [298]. [c.299]

Следующая группа систем, данные о рабочих параметрах которых представлены в табл. 22, сконструированы на основе разборных соединений с металлическими прокладками и откачиваются с помощью диффузионных паромасляных насосов с отражателями и вымораживающими ловушками. В качестве прокладок в них применяются алюминиевая проволока [215], фольга из того же материала [300] и медный лист [58]. В системе Пауэра и др. использовались только прокладки, поскольку насос и отражатель с вымораживателем были выполнены как единый неразборный элемент системы [301]. Вакуумная камера была изготовлена в основном из нержавеющей стали, обезгаживание проводилось при 400° С в течение нескольких часов. [c.300]

В таких случаях широкое применение находит изображенное на рис. 19 разборное вакуумно-плотное фланцевое соединение с металлической прокладкой, имеющее канавочно-клиновой уплотняющий профиль. В качестве прокладок используются кольца из 3 35 [c.35]

Анод лампы 2 выполнен в виде медного полого цилиндра, кижняя часть которого заканчивается медным фланцем. На анод одевается рубашка водяного охлаждения. Герметичное соединение анода с корпусом триода осуществляется за счет разборного уплотнения из кольцевой вакуумной резины. Использование такого рода уплотнения обеспечивает возможность быстрой разбор- ки триода для замены катода и его последующей сборки. [c.70]

Тем не менее, все эти особенности не снижают ценности меди как весьма популярного материала вакуумной аппаратуры. Благодаря высокой электропроводности и наивысшей среди конструкционных мета1Щ10в теплопроводности медь оказывается незаменимым материалом для токоведуших и теплопроводящих деталей. А очень высокая пластичность отожженной меди позволяет широко использовать ее в качестве материала уплотнителей в разборных сверхвысоковакуумных фланцевых соединениях. Наконец, очень полезной для технологической практики оказалась близость термических коэффициентов линейного расширения меди и другого широко применяемого в вакуумной аппаратуре материала - коррозионностойкой аустенитной хромоникелевой стали 12Х18Н10Т. Это их свойство позволило не только успешно паять их между собой высокотемпературными припоями, но и при необходимости сваривать газодуговой сваркой. [c.140]

Разборные соединения получили в вакуумных системах наибольшее распространение. Они облегчают ыонтал ные работы, позволяют производить замену вышедших из строя дета-лей, а также допускают свобод-ный доступ обслуживающего пер- J сонала к внутренним полостям установки. Разборные вакуумно- [c.447]

Справочник химика 21

Химия и химическая технология