Глицидилметакрилат

Рис. VII. 22. Зависимость размеров элемен тов микрорельефа от его толщины для негативного электронорезиста на основе сополимера глицидилметакрилата с 3-хлор-

Лит. Сиита и применение глицидилметакрилата. Тематич. обзор, М, 1979 (Сери Промышленность синтетического каучука ). [c.586]

Чувствительность сополимеру глицидилметакрилата с этилакрилатом (70 30 Mw = 160000 Mw/Mn = 2,3), обозначаемого СОР, Dr = 3,2-10- Кл/см , 7= 1,0 [95]. По данным ДТА сополимер при нагревании структурируется, поэтому температура предварительной термообработки рекомендована в интервале 60—75°С, продолжительность термообработки 3—15 мин. При проявлении в метилэтилкетоне наблюдали деструкцию возникших структур из-за набухания сшитого полимера. Эта деструкция была подавлена при проявлении в смеси метилэтилкетона с этанолом (5 2). Температура доотверждения рекомендована в пределах 100—150°С. Испытания показали очень хорошие литографические свойства СОР как при изготовлении хромовых масок, так и в некоторых случаях при прямом экспонировании на кремниевых подложках [96]. Минимальный размер элементов в технологических процессах составляет 1 мкм. Существенным недостатком при использовании этого сополимера для прямого экспонирования на кремниевых подложках является его низкая температура стеклования (Тс 10°С), что на стадиях обработки при повышенной температуре ведет к деструкции образованной структуры. СОР стал первым промышленно производимым электронным резистом, предназначенным для производства хромовых масок. Подобные резисты запатентованы в ФРГ [пат. ФРГ 2543553, 2849996, 2450381]. [c.246]

Чувствительность сополимеров метилметакрилата с глицидил-метилакрилатом [пат. ФРГ 2609218] определяется содержанием глицидилметакрилата максимум около 0,5% (мол.). Этот сополимер (мол. масса 5-10 ) при 15 кВ показал чувствительность 5-10- Кл/см2. [c.257]

ЭПБ г — сополимер глицидилметакрилата с этил- С) [c.265]

Сополимер глицидилметакрилата с этилендиметакрилатом Си(П) 1,15 ммоль г [c.137]

Сополимер этилена и глицидилметакрилата Стекловолокно 10 ЛДК 1.9 [c.180]

Применяли также комплементарную пару глицидилметакрилат и акриловая кислота в присутствии катализатора триэтил-амина. В другом варианте этого метода использовали диизоцианат, который действовал как сшивающий агент по гидроксильным группам частицы полимера и стабилизатора. [c.82]

П)-бесцв. жидкость т. пл. -41,5°С, т. кип. 51°С12 мм рт. ст. dig 1,1074 раств. в орг. р-рителях, не раств. в воде Полимеризуется с раскрытием цикла и по двойной связи сополимеризуется с олефинами, стиролом, виниловыми мономерами и др. Синтезируют глицидилакрилат аналогично глицидилметакрилату, а также по Дарзана реакции. Применяют для получения полимеров, используемых в кач-ве лакокрасочных материалов, для аппретирования бумаги и кожи. Раздражает глаза и кожу. Т. всп. 62 "С. Горюч. [c.587]

Среди др. сополимеров винилхлорида наиб, широко применяют сополимеры с винилацетатом и мономерам, содержащим эпоксидные группы (напр., глицидилметакрилатом), а также с винилиденхлоридом или винилбутиловым эфиром. Во мн. случаях второй сомоиомер играет роль внутр. пластификатора. [c.387]

К разработкам фирмы Siemens (ФРГ) близко примыкает по содержанию пат. США 4208477. Полиамидоимиды получают в присутствии уксусного ангидрида из хлорангидридов поликарбоновых кислот, например тримеллитовой, и диаминов, например ж-фени-лендиамина. При обработке этих полимеров глицидилметакрилатом к концевым группам прививаются ненасыщенные остатки, благодаря чему при экспонировании в результате фотополимеризации образуется негативный рельеф. Он обладает термостойкостью до 400 °С. [c.194]

В европ. пат. WO 82/01847 в качестве негативного рентгеноре-зиста с отличной разрешающей способностью описана смесь поли-2,3-дихлор-1-пропилакрилата с сополимером глицидилметакрилата с этилакрилатом. [c.246]

Сополимер глицидилметакрилата или глицидилакрилата с бутадиеном содержит как эпоксигруппу, так и двойные связи. При определении чувствительности к ионизирующему излучению было установлено, что зависимость 0 Х) от состава полимера имеет максимум при содержании в сополимере 25 % (мол.) глицидилметакрилата [75] (рис. VII. 19). Значения изменялись в интервале 0,5-10 —4-10 Кл/см в зависимости от состава и ММ полимера. Ниже приведены свойства двух сополимеров глицидилметакрилата с бутадиеном равного состава [c.247]

ТАБЛИЦА VII. 3. Характеристика сополимеров глицидилметакрилата с гмогеипроизводиыми стирола, применяемых в качестве электронорезистов [c.249]

Как видно из данных табл. VII. 3, при близком соотношении компонентов в сополимере, наибольшая чувствительность наблюдается у сополимера с бромпроизводным стирола, однако его контрастность так же, как и стойкость к плазменному травлению, наименьшая. Наиболее подробно изучены литографические свойства сополимера глицидилметакрилата с 3-хлорстиролом. Для улучшения адгезии необходима предварительная термообработка пленки, при которой, однако, всегда происходит структурированпе, а структурированный резист нужно после проявления (рис. VII. 21, а) jp удалять из необлученных [c.250]

Сополимерь глицидилметакрилата с хлоралкилированными стиролами (Ма, = 10 ) показывают чувствительность 10- Кл/см при ускоряющем напряжении 20 кВ. Технология обработки их такая же, как и у резистов на основе сополимера глицидилметакрилата с 3-хлорстиролом [пат. США 4208211]. [c.250]

Гомополимер глицидилметакрилата является одним из самых чувствительных негативных резистов (D Mw = 0,023). Его широкому использованию препятствует низкий коэффициент контрастности (v si 1,0), причиной чего является цепной характер сшивания, а термическая стабильность рельефа (Тс полимера 78°С) и стойкость к плазменному травлению у резиста удовлетворительные Добавки низкомолекулярных эпоксидов, например циклогексил-эпоксида, вводимые в концентрациях от 5 до 30 % в полистирол или полибутадиен, повышают чувствительность в 3 раза [франц. пат. 2250138 пат. США 3916035]. Сополимеры 2,3-эпптиопропил-метакрилата с эфирами акриловой и метакриловой кислоты, например метилметакрилатом, бутилметакрилатом, этилакрилатом, [c.250]

Сополимеры метакриловых эфиров ненасыщенных спиртов могут быть использованы как негативные электроно- или рентгенорезисты с отличной стойкостью к плазменному травлению. Например, сополимер аллилметакрилата с 2-гидроксиэтилметакрилатом (молярное соотношение 75 25) с = 487 10 имеет чувствительность 1,8-10" Кл/см и стойкость к травлению смесью С1 4, О2 и N2 (93 4 3) в 2 раза лучшую, чем сополимер глицидилметакрилата с этилакрилатом (72 28), разрешение также хорошее (до 0,3 мкм) [пат. США 4289842]. [c.258]

Способ получения кислотно-основных бумаг с ковалентным закреплением индикатора на бумагу описан еще в 1964 г. Аминосоединение с активной винилсуль-фоновой группой диазотировали и сочетали с различными азосоставляющими (1 -нафтолом, фенолом, диме-тиланилином). При этом образовывались активные индикаторы. Индикаторные бумаги с ковалентно закрепленным реагентом получали обработкой целлюлозы в щелочной среде. Описан аналогичный синтез и ковалентное закрепление азокрасителей на бумаге для определения pH. Технически легче выполним способ получения индикаторных бумаг с химически связанными реагентами, который основан на использовании в качестве носителя хроматографической бумаги, модифицированной глицидилметакрилатом и эпихлор-гидрином. [c.216]

Для того, чтобы избежать флокуляции частиц дисперсной фазы, которая может исказить результаты расчетов, для определения эффективного объема частиц использовались значения вязкостей суспензий, полученных путем экстраполяции к бесконечному градиенту скорости сдвига [68]. Авторы исследовали адсорбцию алкидных смол на двуокиси титана, а также адсорбцию статистических сополимеров ла-у р илмета к р и л ата,. метилмета -крилата, глицидилметакрилата и др. Полученяь.е значения толщины адсорбционных слоев составляют 100 — 240 А. [c.87]

При сополимеризации глицидилакрилата или глицидилметакрилата с другими сомономерами образуются сополимеры, содержащие в боковой цепи эпоксидную группу Такие сополимеры отверждаются обычными Отвердите лями эпоксидных смол [c.168]

Написать реакции образования сополимеров глицидилметакрилата с акриловой кислотой и объяснить, как происходит плеикообразова-ние [c.188]

ЛМ — лаурилметакрилат ММ — метилметакрилат ГМ — глицидилметакрилат МК — метакриловая кислота ОСК — 12-гидроксистеариновая кислота ЦМ — цетил-метакрилат СМ — стеарилметакрилат [c.73]

Этот эффект иллюстрирует взаимодействие 1 моль стеариновой кислоты с сополимером метилметакрилата и глицидилметакрилата (молярное соотношение мономеров 2 1), в результате которого получен метакрилат-стеарильный сополимер (соотношение — 1 1), содержащий растворимые боковые группы с молекулярной массой 300. При сравнении этого продукта и сополимера стеарил-метакрилата и метилметакрилата в качестве стабилизаторов оказалось, что оба они не являются эффективными стабилизаторами дисперсий, но с первым из них все же оказалось возможным получить грубую дисперсию. Закрепление этого стабилизатора на поверхности несколько более эффективно благодаря наличию гидроксильных групп, образовавшихся при взаимодействии стеариновой кислоты и боковых глицидильных групп. Площадь поверхности частицы, стабилизированная каждой растворимой группой стабилизатора, значительно ниже вычисленной это указывает на то, что на поверхности стабилизатор адсорбируется скорее в виде петель, нежели в виде плоских молекул. [c.79]

Энциклопедия полимеров Том 3 (1977) -- [ c.2 , c.181 ]

Энциклопедия полимеров Том 1 (1974) -- [ c.0 ]

Энциклопедия полимеров Том 2 (1974) -- [ c.181 ]

Энциклопедия полимеров Том 3 (1977) -- [ c.2 , c.181 ]

Материалы для лакокрасочных покрытий (1972) -- [ c.169 , c.170 , c.273 ]

Водорастворимые пленкообразователи и лакокрасочные материалы на их основе (1986) -- [ c.51 , c.54 , c.55 , c.70 ]

Технология пластических масс (1977) -- [ c.110 , c.114 , c.116 ]

Справочник химика 21

Химия и химическая технология