Лазерная послойный

Образец, испаряемый при лазерном ударе, имеет форму диска диаметром 12—200 мкм и толщиной в пределах 0,1 — 1 мкм. Эта часть образца испаряется и ионизуется. Глубина проникновения пучка в образец очень мала, что позволяет избежать деструкции или изменений в образце вблизи места удара, поэтому при послойном анализе можно повторять облучение, углубляя всякий раз анализируемую зону. [c.223]

Аналитические применения метода предусматривают локальный и послойный анализ, включая изотопные измерения. При локальном анализе определяется элементный состав микрообъема, расположенного на поверхности твердого образца. Примером может служить определение включений в титановом слитке, считавшемся гомогенным. Обследование поверхности с помощью оптического прибора выявило радужную зону. Несколько лазерных выстрелов по прилегающим к зоне местам по направлениям осей 1 и 2 (рис. 7.18) [c.223]

Последовательное повторение лазерных выстрелов в одно и то же место позволяет проводить послойный анализ образца с величиной шага 0,1— [c.225]

Другой пример применения метода послойного анализа с помощью лазерного зонда — контроль за производством электронных микросхем. При нескольких последовательных лазерных ударах в определенную точку микросхемы определяется последовательность слоев кремний, оксид кремния, алюминий, вольфрам, титан, платина, золото, никель и т. д. Такой послойный просмотр был выполнен десятью последовательными выстрелами при тща- [c.225]

На рис. 3 представлена зависимость концентрации углерода в пленках от времени сжигания при анализе во взвешенном состоянии. Как видно из рисунка, время сжигания образцов при данных условиях эксперимента должно быть не менее 9 мин. для хрома и ванадия и 6 мин. для лантана и молибдена. Расчет содержания углерода в исследуемых объектах проводился на всю навеску пленки, считая, что в процессе анализа хром, лантан, ванадий и молибден выгорают полностью и в несгоревшей части контейнера их не содержится. Несгоревшие части контейнеров после анализа во взвешенном состоянии подвергались послойному лазерному масс-спектрометрическому анализу на содержание хрома и рентгенофлуоресцентному анализу на содержание лантана и ванадия. По данным анализа хрома, лантана и ванадия в несгоревших частях и в исходном материале контейнера обнаружено не было. Таким образом, подтвердилась правомерность принятого расчета содержания углерода в исследуемых образцах. Чувствительность проведенных анализов составляла 10 ат.%. Предел обнаруже- [c.189]

М.-с. позволяет определять все элементы периодич. системы с чувствительностью 10 г при использовании лазерных источников ионизации м.б. достигнута чувствительность 10 г. При анализе твердых проб м.б. определены примеси, содержание к-рых в 10 ниже содержания осн. элементов. М.-с. широко применяется в анализе особо чистых металлов (Ga, Al, In, Fe, u и др.), полупроводниковых материалов (Si, GaAs, dFe), сплавов на основе Ре, Ni и Zr при произ-ве тонких пленок и порошкообразных в-в, напр, оксидов и и редкоземельных элементов. М.-с. позволяет определять содержание С, N, О, S, Р в сталях, анализировать керамику, стекла, разл. изоляц. материалы, проводить локальный и послойный анализ пробы (локальность по пов-сти до 1 мкм, по глубине до 1 мм), получать сведения о структуре и фазовом составе твердых тел. Для определения элементов используют масс-спектрометры с ионизацией образцов в электрич. дуге, искровом и тлеющем разряде или в индуктивно-связанной аргонной плазме при атм. давлении. [c.663]

Наиболее простьш способом практической реализации метода является применение пламени в качестве атомизатора. Однако при анализе проб сложного состава предел обнаружения обычно находится на уровне 10 масс. %. Импульсное лазерное испарение и ионное распыление в вакууме наиболее пригодны для локального анализа (в том числе послойного) с пределом обнаружения элементов до 10 масс. %. Термическая атомизация в вакууме является наиболее универсальным способом, в равной степени пригодным для анализа самых разных объектов (от сверхчистых материалов до проб биологического происхождения). Этот же способ обеспечивает и наиболее низкие пределы обнаружения. [c.858]

При химическом анализе вкраплений, микрофаз металлических слитков, геологических и археологических образцов при послойном анализе пленок при выяснении состава пятен, штрихов в рукописях, в объектах судебной экспертизы и т. д. требуется проводить локачьный анатз. При таком анализе вводят новую характеристику метода— пространственное разрешение, т. е. способность различать близко расположенные участки образца. Пространственное разрешение определяется диаметром и глубиной области, разрушаемой при анализе. Наиболее высокое пространственное разрешение, достигаемое современными методами локального анализа, — 1 мкм по поверхности и до 1 нм (т. е. несколько моноатомных слоев) по глубине. В локальном анализе используют рентгеноспектральные методы (электронно-зондовый микроанализатор), атомно-эмиссионные спектральные методы с лазерным возбуждением, масс-спектрометрию. [c.38]

В лабораторной практике успешно применяют различные методы элементной масс-спектрометрии. Абсолютный предел обнаружения достигает 1 10 г и дает возможность определять примеси до 1-10 %. Приведенные характеристики метода позволяют разработать эффективные методы анализа малых объемов вещества [14], проводить послойный анализ тонких пленок с высоким разрешением по глубине [15], осуществлять определение микропримесей в жидкостях [16]. Вследствие того, что в элементной масс-спектрометрии используются высокоэнергетические ионные источники искрового, ионно-ионного и лазерного типов, удается исключить полностью или уменьшить влияние электрофизических характеристик исследуемых веществ. Другими словами, с их помощью можно проводить анализ как веществ, обладающих металлической проводимостью, так и полупроводников и диэлектриков. [c.229]

В целях изучения качества лазерного потока в [89] проведено численное исследование релаксирующего течения смеси газов за срезом сопел в резонаторной области для обоих классов сопел. В качестве расчетной области, моделирующей взаимодействующие потоки, принимается область, на верхней и ниншей границах которой плоскости взаимодействия заменяются эквивалентными по граничным условиям плоскими стенками прямолинейного канала. Смешанная задача для изоэнтропического потока в указанной области но данным, полученным в выходных сечениях сопел, решается послойным методом характеристик, обладающим свойством методов сквозного счета для несильных ударных волн. [c.289]

Справочник химика 21

Химия и химическая технология