Ионизационный манометр сверхвысокого вакуума

Тем не менее проводится значительное число работ, посвященных изучению адсорбции, в которых необходимо получать свежие поверхности в системах со сверхвысоким вакуумом. Давления, меньшие 10" мм рт. ст., можно теперь получать довольно обычным способом [4], а некоторые ученые [6—9] проводили исследования даже нри давлении 10" мм рт. ст., используя титановые диффузионные насосы и насосы с жидким гелием. Имеется обширная литература, посвященная высоковакуумной технике. Так, в работе [10] читатель может найти сведения о процессах, ограничивающих давления, которые можно получить в вакуумной системе, а в работах [11—15] обсуждаются вопросы применения ионизационных манометров и масс-спектрометров для измерения очень низких давлений. [c.68]

При использовании десорбционной спектрометрии (или как ее иногда называют — десорбции под действием тепловой вспышки) для изучения катализаторов обычно значительно упрощают этот сложный физический метод, в частности, отказываются от применения металлических нитей (как адсорбентов), сверхвысокого вакуума, специально усовершенствованных ионизационных манометров и масс-спектрометров (для контроля за составом десорбционных вспышек ). Вместо этого исследования десорбции стремятся проводить в таких условиях, которые максимально близки к условиям. [c.101]

Для измерения сверхвысокого вакуума широкое применение нашел триодный ионизационный манометр обращенного типа (рис. 2-33). В этом манометре накаленный катод располагается вне цилиндрической сетки, а по ее оси натянут нитевидный коллектор ионов, поверхность которого примерно в 1 ООО раз меньше поверхности коллектора в триодном манометре обычного типа. Благодаря этому на коллектор падает лишь незначительная доля рентгеновского излучения сетки, в результате чего величина его фонового тока резко уменьшается. Положительно заряженная сетка создает потенциальный барьер и уменьшает возможность вылета ионов из объема, заключенного внутри сетки. Для этой же цели иногда применяют цилиндрические экраны, закрывающие основание сетки. [c.140]

В табл. 7 приведены технические данные различных типов ионизационных манометрических преобразователей, используемых в промышленности. Магнитные и термоэлектронные манометры находят широкое применение для измерения высокого и сверхвысокого вакуума, а радиоизотопные — для измерения низкого и среднего вакуума. [c.84]

Ионизационные манометры получили широкое распространение для измерения высокого и сверхвысокого вакуума. В датчике любого ионизационного манометра есть две системы для ионизации остаточного газа и для отбора ионов. В установившемся режиме манометра скорость ионизации равна скорости отбора ионов, а ион- [c.105]

Н и ч и п о р о в и ч Г. А. Сравнительная калибровка ионизационного магнетронного манометра и магнитного электроразрядного манометра в условиях сверхвысокого вакуума. Приборы и техника эксперимента , № 6, 150 (1966). [c.270]

Получение и измерение сверхвысокого вакуума при помощи ионизационного манометра............242 [c.7]

Явление активного поглощения ионизованного газа использовано в ионизационных манометрах для получения сверхвысокого вакуума (см. 6-7). [c.160]

ПОЛУЧЕНИЕ И ИЗМЕРЕНИЕ СВЕРХВЫСОКОГО ВАКУУМА ПРИ ПОМОЩИ ИОНИЗАЦИОННОГО МАНОМЕТРА [c.242]

Правда, при помощи поглотителей и ловушек в отпаянных сосудах удается получать и поддерживать сверхвысокий вакуум, но при измерении достигаемых при этом давлений возникают большие трудности, так как даже ионизационный манометр (обыч ной конструкции) в области сверхвысокого вакуума оказался неприменимым. [c.242]

Большая потребность в исследовании ряда явлений в условиях сверхвысокого вакуума (изучение свойств поверхностей, совершенно чистых от адсорбированной пленки газа, исследование изотопов и т.п.) заставила обратиться к разработке такой манометрической лампы для ионизационного манометра, в которой помеха в виде фотоэлектронного тока с коллектора была бы минимальной. [c.243]

При исследованиях, связанных с усовершенствованием ионизационного манометра, выяснилось также, что его можно использовать для получения сверхвысокого -вакуума. [c.244]

Наконец, на диаграмме рис. 5-1 не указан способ получения сверхвысокого вакуума (выше 10 мм рт. ст.) в небольших вакуумных системах путем использования способности ионизационных манометров поглощать газы до давлений порядка по крайней мере 10 мм рт. ст.] этот способ, по-видимому, ограничится применением в лабораторных условиях. [c.56]

Описанные усовершенствования позволили продвинуть предел практического применения ионизационных манометров с 0,5 -г-1,0- 10 мм рт. ст. до мм рт. ст., т. е. примерно на четыре порядка, и охватить область сверхвысокого вакуума. [c.238]

Таким образом, для получения сверхвысокого вакуума при помощи ионизационного манометра основное время теряется на профилактические операции (обезгаживание, устранение течей), после чего откачка вакуумной системы небольших размеров до давления мм рт. ст. [c.240]

Ионизационные манометры, к которым относятся электронные ионизационные манометры, магнитные электроразрядные манометры и радиоизотопные манометры, используются для измерения малых давлений в области высокого и сверхвысокого вакуума. Действие этих приборов основано на использовании ионизации газа. Электронный ионизационный манометр состоит из манометрического преобразователя (лампы типов ЛМ-2, ИМ-4, ИМ-7Л, ИМ-9, ИМ-11 и ИМ-12) и измерительного блока, обеспечивающего питание преобразователя и измерение необходимых параметров. Манометрический преобразователь в простейшем виде представляет собой трехэлектродную конструкцию, в которой анод, выполненный в виде редкой цилиндрической сетки и имеющий высокий потенциал (100—200 В), создает сильное ускоряющее поле для электронов, эмиттированных нагретым катодом. Электроны ионизируют молекулы разреженного газа, образующиеся иоиы собираются коллектором, расположенным за анодом и имеющим отрицательный потенциал (20—100 В). [c.175]

Из многочисленных и разнообразных манометров, предназначенных для измерения среднего, высокого и сверхвысокого вакуума, в технике наиыления тонких пленок наиболее широкое применение получили теплоэлектрические, ионизационные с накаленным катодом, радиоактивные и магнитные электроразрядные манометры. [c.136]

Схема стабилизации эмиссии получается значительно проще и экономичцее, если вместо манометра триодного типа использовать тетродный манометр, установив между катодом и анодной сеткой еще одну дополнительную управляющую сетку Щ. 571. Катод тетродного манометра работает в режиме пространственного заряда, т. е. с запасом эмиссии. Стабилизация тока эмиссии осуществляется введением отрицательной обратной связи между электронным током анодной сетки и напряжением на управляющей сетке. Степень стабилизации зависит от крутизны сеточной характеристики триод-ной части манометра и сопротивления обратной связи, которое одновременно задает отрицательное смещение на коллектор. Предложенный принцип стабилизации тока эмиссии может быть использован в ионизационных манометрах, предназначенных для измерения как высокого, так и сверхвысокого вакуума. Дополнительная сетка может быть использована та кже для получения пульсирующего тока в цепи коллектора ионов. Это дает возможность применять усилители переменного тока, что в значительной мере упрощает электрическую схему вакуумметра. [c.140]

Ионизационные манометры сами действуют как насосы или источники остаточных газов. Их откачивающее действие обусловлено электрическим механизмом откачки, обсуждавшимся в разд. 2Д, 2). Эффект значительно сильнее для манометров с ненакаливаемымн катодами. Обезгаживанте электродов лампы производится обычно при включении манометра. Кроме катода, пропусканием сквозного тока в течение нескольких минут прогревается и сетка. Мощность, выделяемая при этой операции, достаточно высока для нагрева и частичного обезгаживания колбы лампы. Однако этот прогрев не снижает скорости газовыделения настолько, чтобы манометром можно было бы пользоваться в сверхвысоком вакууме. Выделение газа в чистой, но непрогретой соединительной трубке манометра может по.ме-шать измерению вакуума выше 10 мм рт. ст. [360]. Такие же трудности возникают, если на соединительную трубку датчика попадают пары масла из насоса (361]. Для сведения разницы в давлениях внутри лампы и в вакуумной системе к минимуму нужно использовать соединительные трубки с высокой пропускной способностью [362]. Для давлений вплоть до 10 мм рт. ст. адекватным считается параметр в 20 мм, тогда как для более глубокого вакуума рекомендуются трубки = 25 мм. [c.331]

После предварительной откачки установки насосами производится обезгаживание стеклянных деталей путем их длительного прогрева в течение нескольких часов в условиях непрерывной откачки. После этого производится обезгаживание внутренних частей ионизационных манометров путем интенсивной электронной бомбардировки при положительном потенциале коллектора ионов. Затем перекрывают металлический вентиль, отсоединяя тем самым откачиваемый объем от паромасляного насоса, после чего откачка объема производится за счет работы конизационно-го манометра. Помимо ионизационного манометра с горячим катодом для получения сверхвысокого вакуума иногда используют также откачивающее действие магнитного электроразрядного манометра специальной конструкции. [c.51]

Отметим далее, что получение сверхвысокого вакуума за счет одного только откачивающего действия ионизационного манометра (без применения ловушек или поглотителей) возможно лишь в вакуумных системах, изолированных от ИСТОЧ1НИКОВ каких-либо паров, в том числе от диффузионных насосов. В связи с этим для разобщения вакуумной системы от насоса необходимо пользоваться вентилем, не требующим смазки и в то же время достаточно герметичным (см. 8-2). Наконец, для получения сверхвысокого вакуума при помощи ионизированного манометра необходимо предварительно устранить малейшие течи в вакуумной системе, а вакуумную систему и манометрическую лампу тщательно обезгазить. Откачанная насосами до возможно более низкого давления и обезгаженная вакуумная система изолируется от насосов (вентилем) если течи нет, то откачка продолжается при помощи ионизационного манометра. [c.245]

Таким образом, для получения сверхвысокого вакуума при помощи ионизационного манометра основное время теряется на профилактические операции (обезгаживание, устранение течей), после чего откачка вакуумной системы небольших размеров до давления 10 —мм рт. ст. занимает уйсе время порядка всего лишь нескольких десятков минут. [c.245]

В заключение описания применения ионизационных манометров для измерения и получения сверхвысокого вакуума необходимо указать, что с устранением неблагоприятного эффекта от рентгеновского облу11ения коллектора ионов, с одной стороны, стало возможным нижшй предел применения ионизационного манометра продвинуть на несколько порядков в область сверхвысокого вакуума, с другой — выявился важный фактор, ограничивающий возможности понижения давления в вакуумных системах, в ко- [c.245]

Преимущества, которые обеапечили широкое распространение ионизационного манометра, следующие возможность измерения очень низких давлений, включая сверхвысокий вакуум, измерение давлений всех газов и паров (при соответствующей градуировке) и получение непрерывных показаний давления в системе. [c.10]

В заключение описания применения ионизационных ма-но метров для измерения и получения сверхвысокого вакуума необходимо указать, что с устранением неблагоприятного эффекта от рентгеновского облучения коллектора ионов, с одной стороны, стало возможным нижний предел применения ионизационного манометра продвинуть на несколько порядков в область сверхвысокого вакуума с другой стороны, выявился важный фактор, ограничивающий возможности понижения давления в вакуумных системах, в которых трфбуется достигнуть сверхвысокий вакуум. Таким фактором оказалась диффузия (через стенки стекла) гелия, находящегося в земной атмосфере (в количестве 0,0005%). Предельное давлеиие, достигаемое в изолированной сверхвысоковакуумной системе, после устранения всех самых ничтожных течей обусловливается равновесием между быстротой откачивающего действия ионизационного манометра и скоростью диффузии гелия через стекло. [c.240]

Справочник химика 21

Химия и химическая технология