Проекционный в методе ССП

Когерентность источника излучения оказывает существенное влияние на качество оптического изображения как в контактном, так и в проекционном методе формирования микроизображения. При когерентном освещении меняются условия формирования изображения в изображении складываются амплитуды светового поля, а не интенсивности, как при некогерентном освещении возникает характерный когерентный шум , зернистость изображения. В связи с этим возможности формирования тех или иных структур в изображении оказываются зависимыми не только от качества оптической системы, но и от фазовых соотношений в объекте, взаиморасположения, размеров и формы элементов. [c.28]

В табл. 7 приведены результаты оптимизации Р (11,114) проекционным методом (РКМ) и методом наискорейшего спуска (МНС). [c.61]

Для приведенных результатов норма градиента в конечной точке находилась в пределах 10 —10 . Из табл. 7 видно, что для данной задачи проекционный метод не обладает преимуществом перед методом наискорейшего спуска. [c.61]

Интересно отметить, что использование в качестве первых пяти координат начальной точки величин Гг = Г, (г = 1,. . 5) позволило как в методе наискорейшего спуска, так и особенно в проекционном методе существенно уменьшить количество вычислений целевой функции. Даже с учетом затрат на расчет величин Г (г = 1,. . ., 5) мы получаем здесь существенный выигрыш. Итак, в данном случае отдельная оптимизация каскада реакторов с технологическим критерием позволяет обеспечить хорошее начальное приближение для оптимизации всей схемы. [c.62]

Задача проекционных методов — сведение исходного массива данных к массиву меньшей размерности одно-, дву- или трехмерному. Это действие можно наглядно представить себе таким образом, как если бы аналитик смотрел на экран компьютера и с помощью специальной математической процедуры вращал массив данных во всевозможных направлениях с целью выбрать такое положение, для которого проекция данных на экран обеспечивала бы наилучшее разделение между классами. Подобные методы действительно разработаны статистиками и широко применяются в хемометрике. [c.522]

Здесь мы рассмотрим два проекционных метода—анализ главных компонент и сингулярное разложение. Родственные методы, такие, как факторный анализ, рассмотрены в разд. 12,5.4. [c.522]

В контактном методе шаблон максимально приближен к поверхности слоя резиста (рис. 1.3). В бесконтактном методе ( контактная печать с зазором ) между слоем резиста и маской остается зазор. В проекционном методе плоскости шаблона и слоя резиста оптически сопряжены с помощью проекционной системы (объектива). Первые два метода находят применение вследствие относительно низкой цены аппаратуры и простоты работы, возможности экспонирования больших площадей, что обеспечивает высокоэффективные групповые методы обработки изделий. Эти методы используют и в производстве сверхбольших интегральных схем для запоминающих устройств [22]. Проекционный метод более производителен и надежен, дает меньшую плотность дефектов и поэтому также широко используется в микроэлектронике. Существует ряд способов проекции, важнейшими из которых являются проекция в масштабе 1 1, сканирующий перенос щелью в масштабе 1 1, мультипликация (фотоповторение) в масштабах 1 1, 1 10 и др. [23, 24]. [c.23]

Для проекционного метода значение имеет качество всей оптической системы, причем в настоящее время лимитирующими являются не аберрация объектива, строящего изображение, а дифракционные ограничения, определяемые волновой природой света, и явления, связанные с рассеянием света (в том числе и в толще светочувствительного материала), интерференционными эффектами и когерентностью (частичной) света [29]. При этом необходимо учитывать, что объективы, используемые в высококачественных фотолитографических системах, являются дифракционно ограниченными. [c.26]

Таблица 2. Результаты оптимвзации каскада реакторов идеального смешения проекционным методом для г = 6 и различных значений п

ЭКРАННЫЙ ПРОЕКЦИОННЫЙ МЕТОД ИЗМЕРЕНИЯ [c.218]

Советские инженеры А. И. Москалев и Д. Д. Софронов предложили новый метод для проекционного контроля деталей. Они исходили из того положения, что при контроле изделия проекционным методом используются только контуры изображения, а площадь, заключенная внутри контура, не используется. Главное зеркало они заменили набором узких зеркальных пластин, которые проектируют на экран только измеряемые части контура изделия. На этом принципе построен проектор типа ПМК. [c.230]

Инструментальные микроскопы предназначены для измерения линейных и угловых размеров объектов сложной конфигурации в прямоугольных и полярных координатах. Измерения могут производиться проекционным методом (в проходящем и отраженном свете) и методом осевого сечения. [c.235]

Осветитель измеряемого объекта состоит из лампы накаливания, револьверной оправы с тремя конденсорами и ирисовой диафрагмы. Установка требуемого диаметра диафрагмы производится вращением кольца с делениями, соответствующими устанавливаемому диаметру в мм. Конденсоры, расположенные в револьверной оправе, имеют надписи фото — для непосредственного наблюдения, измерения проекционным методом и методом осевого сечения 3 — для работы с проекционной насадкой с объективом 3 и 5 1 х и 1,5>< — то же, но с объективами и 1,5х. [c.251]

При работе проекционным методом освещение объекта производится снизу осветителем главного микроскопа или, при необходимости, сверху — верхним осветителем. Объект измерения устанавливается на плоский стол в центрах, или на У-образные призмы. Измерения производятся совмещением штрихов сетки окулярной головки с изображением контура или штриха на объекте. [c.252]

Приближенное решение для температурного перепада и а, Ро) будем искать ортогональным проекционным методом Канторовича [71] в семействе функций вида [c.197]

Граничная задача (4.7), (4.8) для большинства случаев даже при правильном, а тем более неправильном профиле живого сечения D не имеет точного аналитического решения. Поэтому разработка приближенного аналитического метода решения этой граничной задачи, эффективность которого достигается с помощью современных цифровых ЭВМ, имеет важное прикладное значение. Одним из таких наиболее эффективных методов оказался ортогонально-проекционный метод. По этому методу будем искать решение в семействе линейной композиции вида [c.212]

Приближенное решение определяется проекционным методом в семействе линейной композиции вида [c.331]

Возможен также другой способ приближенного расчета вероятности перехода, основанный на использовании проекционных методов. Оператор Г<+) можно строить не во всем пространстве функций от координат и времени, а в некотором конечномерном подпространстве, удачный выбор которого позволит получить хорошее приближение в данной задаче. Оператор 7 <+) переводит функцию начального состояния Ф,- в функцию которая равна произведению возмущения V на функцию) Р " " . Учитывая равенство (3.42), для функции можем записать уравнение [c.54]

Согласно общей теории приближенного решения операторных уравнений 22], применение проекционного метода в данном случае означает, что функция Тг" " будет строиться в подпространстве, порожденном проек- [c.54]

Поскольку оператор Г(+) при использовании проекционного метода заменяется на В Т то, проводя эту подстановку на каждом этапе итераций по уравнению (4.1), вместо разложения (4.2) будем иметь [c.55]

Некоторым обобщением обычного проекционного метода является метод построения внешней проекции оператора Т<+ который рассматривался в стационарной теории возмущений 21]. Оператор в этом случае [c.55]

В условиях избирательного смачивания твердой поверхности нефтью и водой порфирины играют большую роль, определяя поведение нефти, содержащей их на межфазных границах. Это оп-четливо видно при изучении кинетики избирательного смачивания бензольными растворами асфальтенов твердой поверхности. Для исследования были выбраны асфальтены с различным содержанием в них порфиринов. Величину избирательного смачивания оценивали по краевому углу, измеряемому проекционным методом. В кювету с дистиллированной водой помещают полированную, тщательно очищенную пластину исследуемого материала. Шприц, снабженный иглой с загнутым кончиком, заполняют исследуемой углеводородной жидкостью, каплю которой выдавливают в воде [c.165]

Таблица 1. Сравнение проекционного метода и метода наискорсЁшего спуска

Однако для проверки эффективности рассмотренных алгоритмов она была решена численно с помощью методов наиекорейшего спуска и проекционного метода (алгоритм РВМ). Значения констант к и 2 брались равными к = 0,1 к — 0,05. В начальной [c.55]

Сейчас чаще используют метод БШСА, основанный на построении модели главных компонент для каждого класса по отдельности. В этом методе отношение числа объектов к числу признаков имеет меньшее значение, а для построения модели используют преобразованные, а не исходные, данные. В методе 81МСА расчет главных компонент включает в себя те же основные этапы, которые были описаны ранее в разделе, посвященном проекционным методам (см. разд. 12.5.2, алгоритм К1РАЬ8). [c.543]

Разные авторы предпочитают различные типы освещения. Нанлучшие результаты достигаются при применении почти монохроматического света, получаемого с помощью светофильтров (например, фильтра Раттена Н ). Некоторые исследователи предпочитают монохроматические источники света, например, натриевую лампу с тем, чтобы получить более контрастное изображение и уменьщить утомление глаз, даже ценой некоторого снижения разрешающей способности микроскопа. Другие отдают предпочтение проекционному методу, когда изображения частиц отбрасываются на матовое стекло или непрозрачный белый экран. Для точных исследований этот метод не может быть рекомендован, так как в этом случае невозможно достичь такого же точного фокусирования и резкости изображения частиц, как при их непосредственном рассматривании под микроскопом. На мптовом стеклянном экране плохо видны детали в изображениях очень мелких частиц существенно лучщие результаты получают при применении беззернистого экрана вместо простого матового стекла берут два соприкасающихся матовыми сторонами стекла и одно из них медленно ( 1 мм сек) двигают относительно другого. В этом случае свойственные освещенной матовой поверхности отблески исчезают и становятся видимыми мель-чайщие детали изображения [c.227]

Металлизированные хромом пластины, покрытые слоем фоторезиста, могут подвергаться экспонированию либо методом контактной печати вместе с фотошаблонами с эмульсионным слоем галоидов серебра, либо они применяются для создания изображений проекционным методом непосредственно на пластине [64. 66, 68]. В обоих случаях оптические системы, созданные для экспонирования фотошаблонов с эмульсионным слоем галоидов серебра, не могут использоваться без дополнительных изменений и приспособлений. потому что они спроектированы для работы в области длинных волн, за пределами чувствительности большинства фоторе нстов. Поскольку самым подходящим источником света являются ртутные лампы, необходимо создание оптических фильтров, пропускающих излучение на длине волны 4358 А или 4047 А. Объективы фотокамер должны быть откорректированы соответствующим образом. [c.587]

В дополнение к исследованным проекционным методам с применением защитных покрытий фоторезиста более широко были опробованы методы формирования тонкопленочных рисунков без вытравливания маскирую щих покрытий. Первый пример такого метода описал Каплан [145], который проецировал хорошо сфокусированное изображение в пучке ультра фиолетового света прямо на тонкую пленку свинца. Удаление экспонированных участков пленки выполнялось в атмосфере нитрометана, у которого со свинцом происходит фотохимическая реакция с образованием летучего тетраметилсвинца. Была достигнута скорость травления около 15. Д мин-. Салливан и Колб 146 достигли скоростей травления от 100 до 1000 А мин- при фотохимическом травлении пленок германия в газообразном броме с образованием летучего ОеВг4. Им удалось получить разрешение линий шириной 5 мкм. Широкое применение этих методов ограничивается тем, что не с любым материалом пленки возможно осуществление фотохимической реакции с образованием летучих соединений. [c.636]

Так же, как и в случае проекционных методов, имеются тонкопленочные материалы, химические свойства которых при экспонировании электронами изменяются и которые могут быть подвергнуты травлению без применения резистов. Один из таких примеров приводят О Кифи и Хенди [c.645]

Реализация метода комплексного применения интегрального преобразования Лапласа и проекционного метода Бубнова—Галеркина к обобщенным задачам Гретца—Нус-сельта при различных граничных условиях позволила получить простые решения, и для некоторых частных задач проводятся сравнения с известными классическими решениями Гретца [162], Нуссельта [39], Шлихтинга [163], Эккерта [161] и др. [c.7]

Функция 01 (Ро), при которой (3.326) дает наилучшее приближение определяется проекционным методом, т. е. из условия ортогональност [c.162]

Совместное применение интегрального преобраГЗования Лапласа и проекционного метода к задачам нестационарной теплопроводности позволяет найти эффективные приближенные аналитические решения для цилиндрических тел неправильных сечений, для которых известные классические методы (метод Фурье, метод тепловых потенциалов и др.) неприменимы. [c.169]

Коэффициенты-изображения 5 (5), при которых решение (4.69) для каждого фиксированного п дает наилучшее приближение граничной задачи (4.67), (4.68), находятся по общей схеме ортогонально-проекционным методом Бубнова — Г алеркина и являются решением системы [c.234]

Справочник химика 21

Химия и химическая технология