Справочник химика 21

Химия и химическая технология

Статьи Рисунки Таблицы О сайте English

Термоэлектронный катод

    Таким образом, даже тип отклонения от стехиометрии может оказаться функцией внешних условий. Например, при контакте с атмосферой оксид бария всегда содержит избыток кислорода, тогда как в условиях работы термоэлектронных катодов ВаО всегда содержит избыток бария, чем и определяется низкое значение работы выхода оксидных катодов. [c.281]

    Чаще всего имеют дело с дугами с раскаленным катодом, температура которого составляет несколько тысяч градусов. Наиболее нагретой частью катода является катодное пятно. Усиленное испускание электронов (термоэлектронов) катодом есть одно из условий существования электрической дуги. Однако существуют дуги с холодными электродами (например, ртутная дуга). Дуговой разряд в этом случае поддерживается автоэлектронной эмиссией катода, обусловленной туннельным прохождением электронов сквозь потенциальный барьер, образованный двойным электрическим слоем на поверхности катода. [c.353]


    Фоном называют показания прибора в отсутствие исследуемых источников излучения. Фон счетчиков обусловлен космическими лучами, самопроизвольными импульсами за счет испускания термоэлектронов катодом счетных трубок или фотоумножителей (ложные импульсы), а также радиоактивными загрязнениями рабочих помещений. Величина фона может служить для проверки правильности работы счетчика. В паспорте, прилагаемом к счетчику, указывается максимальная величина натурального фона. [c.63]

    На рис. 9 показано, как появляется такая потенциальная яма вблизи катода. Установлено, что потенциальная яма существует вблизи термоэлектронных катодов, где. поле исследовалось по отклонению узкого пучка электронов. Подобные же условия могли бы создаться у анода при наличии вблизи него положительного пространственного заряда. Таким образом, когда пространственные заряды имеют тот же знак, что и [c.26]

    Рассмотрим сначала термоэлектронный катод площадью в 1 при температуре Т, теряющий тепло только посред- [c.110]

    Метод, основанный на ионизации молекул электронным ударом, позволяет получать большие ионные токи, для регистрации которых обычно применяют масспектрометр. Однако создать моноэнергетический пучок электронов с таким же энергетическим разбросом, как у потока фотонов, прошедших монохроматор, практически невыполнимая задача. Так, начальный разброс энергии электронов зависит от максвелловского распределения термоэлектронов катода. Электрическое поле, втягивающее ионы из пространства ионизации в масспектрометр, оказывает влияние на энергетический разброс электронов. [c.237]

    Самоподдерживающиеся дуговые разряды целесообразно разделить на две группы разряды, в которых катоды заметно испаряются при температурах, когда термоэлектронная эмиссия еще отсутствует,.— так называемые холодные катоды, — и разряды, в которых катоды имеют температуру, вызывающую значительную термоэлектронную эмиссию без заметного испарения. Одним из наиболее неясных вопросов в теории дугового разряда является работа катода холодной дуги. Катоды из Си, Ag, жидкой ртути и ряда других металлов являются примерами этой группы. С самого начала следует отметить, что до сих пор нет окончательного решения этой задачи. Работа термоэлектронных катодов из С, W, редких земель и др. хорошо изучена. Весьма удивительно, что в обоих случаях катодное падение потенциала приблизительно одинаково (оно несколько [c.284]

    В связи с возросшим интересом по использованию соединений редкоземельных элементов в качестве термоэлектронных катодов в последнее время появились работы, посвященные изучению термоэлектронной эмиссии окислов этих элементов. Работа выхода электрона при высоких температурах для полуторных окислов р. з. э. составляет 3,3 0,1 эв. Минимальная работа выхода электрона всех окислов для состояния стабильной активности равна 2.9 0,15 эв, для состояния максимальной активности 2,75 0,2 эв [8] (табл. 14). [c.315]


    Теперь рассмотрим трехэлектродную систему высокочастотного ионного распыления диэлектриков, В плазму постоянного тока (между термоэлектронным катодом и анодом) введем металлический электрод и между этим электродом и анодом приложи.м напряжение высокой частоты (порядка нескольких мегагерц). Как было сказано ранее, область электрод — плазма функционирует подобно выпрямляющему переходу. Поэтому если в цепь высокой частоты ввести разделительный конденсатор, то в результате зарядки этого конденсатора электрод большую часть времени будет отрицательным относительно плазмы. Далее можно внешний конденсатор заменить внутренним, покрыв диэлектриком метал.тический электрод. При этом поверхность диэлектрика, обращенная к плазме, относительно плазмы (и относительно металлического электрода) зарядится отрицательно и будет распыляться. Поверхности диэлектрика достигают только короткие всплески электронного тока, а большую часть периода ВЧ напряжения к этой поверхности ускоряются положительные ионы. [c.366]

    НО быть подано положительное смещение относительно подложки. Если бы анод находился под тем же потенциалом, что и подложка, то часть электронов, летящих с термоэлектронного катода, отклонялась и уходила бы на подложку. В результате у мишени возникали бы большие неоднородности плотности плазмы. Рассмотрим теперь роль магнитного поля. [c.414]

    Термоэлектронные катоды, применяемые в настоящее время в электровакуумных приборах, можно разделить на три группы Ось 1) из чистых металлов и сплавов  [c.17]

    Одна из моделей такого насоса, предназначенная для технологической откачки кинескопов, построена по следующей схеме. Полость металлического корпуса разделена на две области дискообразной перегородкой, установленной на трубчатых опорах. Над перегородкой смонтирована диодная система термоэлектронный катод - испаряющийся анод из геттерного вещества. Под перегородкой расположен блок резистивных сублиматоров. Оба испарителя закреплены на общем фланце в нижней части корпуса. [c.112]

    Испускание электронов металлами, нагретыми до высокой температуры, называют термоэлектронной эмиссией (рис. 25, а), а выполненные из металла элементы, используемые для получения свободных электронов, - термоэлектронными катодами, или просто катодами. Материалом катодов обычно служит вольфрамовая проволока. Для накала катода, помещенного в вакуумную камеру, через него пропускают электрический ток. [c.38]

    Чаще всего имеют дело с дугами с раскаленным катодом, температура которого составляет несколько тысяч градусов. Наиболее нагретой частью катода является катодное пятно. Усиленное испускание электронов (термоэлектронов) катодом есть одно из условий существования электрической дуги. Однако существуют дуги и с холодными электродами (например, ртутная дуга). Дуговой разряд в этом случае поддерживается автоэлект-ронной эмиссией катода, обусловленной туннельным прохождением электронов сквозь потенциальный барьер, образованный двойным электрическим слоем на поверхности катода. Не исключена также возможность,, что источником Эотектрических зарядов в дуге с холодными электродами, горящей при высоких давлениях, служит термическая ионизация нагретого газа около катода. [c.444]

    Большой прогресс в понимании основ процесса ионного распыления обязан исследованиям трехэлектродных систем, в которых плазма образуется в виде положительного столба разряда, создаваемого независимо между термоэлектронным катодом и анодом. Ионное распыление происходит при введении в плазму в качестве отдельного отрицательного электрода мншени. Основным преимуществом использования термоэлектронного катода является то, что в этом случае, даже в отсутствие магнитного поля, плазма может быть создана при гораздо более низких давлениях газа (порядка нескольких тысячных мм рт. ст.), чем в случае тлеющего разряда на постоянном токе, для которого необходимы давления газа, превышающие л 30 10- мм рт. ст. [c.363]

    Используя давления газа, при которых средняя длина свободного пробега ионов и распыленных атомов становится сравнимой с областью ускорения йонов или размерами газоразрядной трубки или превышает их, можно уменьшить или полностью исключить такие недостатки, свойственные тлеющему разряду, как обратная диффузия распыленного материала к мишени, неопределенность в энергиях и углах падения бомбардирующих ионов и эффекты перезарядки в области ускорения ионов. Разряды в трехэлектродной системе создают и поддерживают электроны, испускаемые термоэлектронным катодом, а не вторичные электроны, выбиваемые из холодною катода, как в случае тлеющего разряда. Таким обра- [c.363]

    При ионно-плазменном распылении мишень всегда находится под отрицательным потенциалом относительно плазмы. Вследствие этого на положительные ионы, испускаемые мишенью, действует сила, возвращающая их на мишень, тогда как отрицательные ионы ускоряются в направлении от мишени. От этих эффектов разделения ионов, конечно, можно изба-В15ться, если из рабочего объема полностью исключить электрические поля, что можно сделать, используя распыление ионным пучком. Другое преимущество отсутствия электрического поля в области поверхности мишени заключается в том, что ионным пучком можно распылять порошковые материалы без возмущающих сил, действующих на частицы порошка. Кроме того, можно избежать трудностей, связанных с искреннем и возникновением дугового разряда на поверхности мишени при ионно-плазменном распылении некоторых материалов, таких, например, как РЬ, 2п и Са. При сравнительно низких энергиях пучка используют вспомогательный термоэлектронный катод в качестве источника электронов для полной нейтрализации заряда на поверхности мишени и для уменьшения эффектов пространственного заряда (ограничивающих плотность тока) в пучке. [c.371]


    Таким образом, прикладывая к электродам относительно небольшое напряжение, порядка 20 В, можно получить весь электронный ток, эмитти-руемый катодом. Повысив приложенное напряжение, можно получить дополнительный ток как за счет эмиссии вторичных электронов с катода, так и за счет еще большего разогрева катода быстрыми ионами. В большинстве распылительных систем термоэлектронный катод нагревается вольфрамовой спиралью, которая может выдepлiaть ионную бомбардировку в течение долгого времени. Если же используется оксидный или торированный катод, превышение минимального напряжения, необходимого для поддержания разряда, существенно уменьшает срок его службы. В распылительных системах с разрядом, поддерживаемым термоэлектронной эмиссией, напряжение на электродах обычно составляет 50—100 В. При таких напряжениях легко получить токи в несколько ампер. Если в разряде, поддерживаемом термоэлектронной эмиссией, понижать давление газа, плотность ионов, как и в самостоятельном разряде, будет уменьшаться. Уменьшится пространственный заряд ионов у термоэлектронного катода и, следовательно, электрическое поле в этой области. Для компенсации этих процессов нужно увеличивать внешнее напряжение. При давлениях газа ниже 10-з мм рт. ст. ток в системе начинает приближаться к его значению в вакууме. Большую часть тока эмиссии можно направить к аноду при давлениях, значительно меньших 10 мм рт. ст., без участия ионного пространственного заряда, поддерживая искусственно электрическое поле у катода. Наиболее просто это осуществляется путем добавления сетки, несущей потенциал анода, располагаемой на очень малом расстоянии от катода. Такая система представляет собой не что иное, как низковольтную электронную пушку, в которой главный анод служит для собирания электронов [16]. [c.413]


Смотреть страницы где упоминается термин Термоэлектронный катод: [c.169]    [c.461]    [c.570]    [c.555]    [c.448]    [c.8]    [c.294]   
Технология тонких пленок Часть 1 (1977) -- [ c.363 , c.413 ]




ПОИСК





Смотрите так же термины и статьи:

Зависимость тока термоэлектронной эмиссии от температуры катода

Катод

Объясните термоэлектронной эмиссии оксидных катодов на основе зональной теории полупроводников

Специфические явления на катоде в термоэлектронных дугах с холодным катодом



© 2025 chem21.info Реклама на сайте