Цельнометаллические вакуумные

На смену хрупким и малонадежным стеклянным вакуумным установкам пришли цельнометаллические вакуумные системы, обладающие высокой прочностью, надежностью и удобством в эксплуатации. Для проектирования подобного рода систем необходимо четко представлять себе требования к вакууму и составу остаточной среды при напылении тонких пленок и знать современные средства получения и измерения вакуума. [c.5]

На смену хрупким в работе стеклянным ва-куумным установкам пришли цельнометаллические вакуумные системы, обладающие высокой прочностью, надежные и удобные в эксплуатации. [c.3]

Цельнометаллическую вакуумную систему можно прогревать до высокой температур во всех участках, включая сочленения с прокладками (до 400° С в случае алюминиевых и до 600°С в случае медных прокладок), и тем свести к минимуму внутреннее газовыделение благодаря [c.315]

В последние годы для электровакуумных приборов, откачку которых трудно механизировать, для различного рода вакуумных испытаний, а также для исследовательских работ, связанных с применением высокого вакуума, применяют цельнометаллические вакуумные системы типа откачных постов. Эти системы выполнены только из металлических элементов и соединений, включая и вакуумные уплот-20 307 [c.307]

В идеальном случае система должна состоять только из стекла, стабильной керамики с высокой плотностью и металла, устойчивого в условиях СВВ в принципе допустимо ограниченное использование в виде прокладок высокостабильных эластомеров типа витона, однако это приводит к некоторому ухудшению СВВ, поэтому применения таких прокладок следует все же избегать. Для получения СВВ требуется обезгаживание системы путем ее вакуумной термообработки при 600—700 К, в то время как в присутствии витона температура не должна превышать примерно 500 К. Откачивание обычно проводят диффузионным насосом с ловушкой, каким-либо электроразрядным или ионносорбционным насосами. Выпускается широкий ассортимент термостойких цельнометаллических кранов, а также кранов с прокладками из витона . Для небольших лабораторных систем широко используют краны с диаметром трубок и отверстий порядка 5—25 мм. Вакуумные трубопроводы обычно выполняют из стекла или нержавеющей стали или комбинируют оба этих материала. [c.343]

В цельнометаллических затворах (разд. 6, 1-3) используется растяжение и сжатие сильфонов в осевом направлении. При этом один конец сильфона соединяется с патрубком вакуумной системы, а его другой конец соединяется с подвижным стержнем (рис. 5-7,а). [c.304]

Уплотняющая система затвора (диафрагмы, сильфоны и т, д,) может выходить из строя после определенного числа рабочих циклов. Это влечет за собой резкое возрастание давления в вакуумной системе. Если это произошло, то затвор следует демонтировать и заменить вышедшую из строя деталь, В уплотняющих системах затворов часто приходится заменять прокладки это, в частности, относится к цельнометаллическим затворам (см. рис, 6-103), [c.395]

Непрерывный перенос жидкости в откачанные сосуды может производиться с помощью кранов или затворов, расположенных в нижней части сосуда, содержащего столб жидкости и присоединенного к откачиваемому сосуду. При этом жидкость должна заполнять пространство выше уровня крана (или затвора), а противоположная сторона откачивается вместе с сосудом. При открывании крана (или затвора) жидкость под действием разности давлений на обоих концах столба начинает течь внутрь вакуумного сосуда. При такой методике переноса жидкости не достигается высокой чистоты вносимой в сосуд жидкости, поскольку при этом одновременно с ней поступает значительное количество газа. Напуск жидкости следует производить по возможности медленно, с тем чтобы величину потока жидкости можно было регулировать и при этом непрерывно поддерживать ее уровень выше уровня крана (или затвора). С целью регулировки потока напускаемой жидкости рекомендуется встраивать в пробку крана игольчатый затвор. Игла из нержавеющей стали располагается вдоль оси тефлоновой пробки вакуумного крана. Изменяя положение иглы внутри отверстия, в этой пробке можно регулировать величину потока напускаемой жидкости. При этом использовались цельнометаллические затворы со сферическим уплотнением. Седло затвора имело уплотнение, выполненное па основе медной диафрагмы. [c.413]

Применение метода концентрирования примесей вакуумной возгонкой кадмия может найти широкое применение, если испарение основы вести не из порошковой, а из цельнометаллической навески. [c.383]

Сосуд Дьюара представлял собой цельнометаллическую конструкцию длиной 2540 мм и внутренним диаметром 380 мм. Расстояние между стенками, ограничивающими вакуумное пространство, составляло 19 мм. Внутренние стенки были сделаны из нейзильбера, а дно было медным. Наружные стенки сосуда Дьюара также медные. [c.154]

Неразборные соединения представляют интерес прежде всего для разработчиков и изготовителей вакуумных систем. Однако поскольку оборудование для осаждения для некоторых частных применений или исследований часто перестраивается, оператор также должен иметь определенные знания об основных способах выполнения соединений. Выбор способа соединений зависит от свойств материалов. Неразборные соединения металлов с металлами осуществляются сваркой или пайкой твердыми припоями. Паяные мягкими припоями соединения металла с металло.м являются полу-разборными (составляющие его детали могут быть разъединены и вновь соединены без нарушения рабочих поверхностей). По мере того, как популярные ранее стеклянные вакуумные системы заменяются цельнометаллическими, стеклянные паяные соединения теряют свое значение. Однако соединения металла со стеклом и металла с керамикой для специальных вакуумных элементов применимы и по настоящее время. Третья группа вакуумных материалов, эластомеры, применяются только в разборных соединениях. [c.246]

Рис. 23. Цельнометаллическая конструкция вакуумного вентиля

В вакуумной системе, построенной по схеме 1 табл. 14.2, предварительная откачка изделия производится механическим вакуумным насосом 7, снабженным сорбционной ловушкой 13, через цельнометаллический прогреваемый кран 9 и электромагнитный клапан 12. Высоковакуумная откачка осуществляется через цельнометаллический кран 3 пароструйным диффузионным насосом 1, снабженным прогреваемой двухъярусной жалюзийной ловушкой 2. Обезгаживание ловушки 2 производится в два этапа сначала прогревается вся ловушка без подачи жидкого азота затем в нижний ярус подается жидкий азот, в то время как верхний ярус ловушки продолжает нагреваться. Через 30— 40 мин выключается нагрев верхнего яруса, и в него также подается жидкий азот. [c.271]

В вакуумной системе, построенной по схеме 2 табл. 14.2, в качестве сверхвысоковакуумного насоса используется ионно-геттерный или магнитный электроразрядный насос 1, который производит откачку изделия через цельнометаллический прогреваемый кран 2. [c.271]

Сверхвысоковакуумная откачка изделия осуществляется магнитным электроразрядным насосом 1 через цельнометаллический кран 3. Конструктивно краны 3 п 17 могут быть оформлены в блок с одним электромоторным приводом. Защитный вакуумный колпак 18 откачивается механическим вакуумным насосом 8 через электромагнитный клапан 7. Напуск атмосферы в колпак перед его подъемом и в насосы 8 а 9 осуществляется соответственно с помощью клапанов-натекателей 6, 18 275 [c.275]

В вакуумной системе, построенной по схеме 5 табл. 14.2, применена комбинация титанового испари-тельно-геттерного насоса 16 и магнитного электроразрядного насоса 17, которые откачивают изделие 2 через цельнометаллический кран 4. [c.277]

Предварительная откачка изделия 2 осуществляется через цельнометаллический прогреваемый кран 5 и кран 12 с резиновым уплотнением безмасляной системой, состоящей из механического вакуумного насоса 15 с адсорбционной ловушкой 10 и титанового испарительного геттерного насоса 9. Вначале изделие откачивается механическим вакуумным насосом 15 до давления 5 Па, а затем — испарительным геттерным насосом до давления 10 —10 Па. [c.277]

Рис. 99. Цельнометаллический прогреваемый вакуумный вентиль

Во многих случаях для работы с относительно инертными газами, подобными двуокиси углерода, при конструировании систем используются обычные методы вакуумной техники. В цельностеклянной системе соединение контейнера (с образцом) с системой напуска осуществляется при помощи конических и сферических шлифов. При этом пользуются высоковакуумной смазкой или воском применяются также стеклянные краны со смазкой. В цельнометаллической системе могут использоваться вакуумные краны и соединения с резиновыми и пластическими прокладками и кольцевыми уплотнениями. [c.162]

По способу уплотнения вакуумные вводы двил<ения разделяют на вводы с неметаллическими уплотнениями, в которых движение передается с помощью неразрывного вала и имеет место трение меладу валом и уплотнением, и на вводы цельнометаллические через герметичную стенку, причем герметичная стенка может быть деформируемой (сильфонные, мембранные вводы и волновые передачи) и недеформируемой (магнитные и электромагнитные вводы). [c.427]

В вакуумной системе (рис. 7.47, а) предварительная откачка изделия производится механическим вакуумным насосом 9 через цельнометаллический прогреваемый вентиль 7. Высоковакуумная откачка осуществляется через цельнометаллический вентиль 5 пароструйным диффузионным насосом 3, снабженным прогреваемой двухъярусной охлаждаемой ловушкой 4. Выпускной патрубок насоса 3 через вентиль 2 соединяется с механическим вакуумным насосом 1. Для измерения давлений предусмотрены манометрические датчики 6 и 8. Высоковакуумная часть системы, состоящая из пароструйного диффузионного насоса 3, ловушки 4, вентилей 5 и 7 и манометрических датчиков 6 и 8, собрана в один агрегат. [c.460]

В другой вакуумной системе (рис, 7.47, б) в качестве сверх-высоковакуумного насоса используется геттерно-ионный или электроразрядный магнитный насос 1, который производит откачку изделия через цельнометаллический прогреваемый вентиль 3. Для предварительного обезгаживания сверхвысоковакуумного насоса и вакуумной системы, а также для создания предварительного разрежения в изделии предназначен пароструйный диффузионный насос 7 с азотной ловушкой 6. Откачка изделия до давления Ю тор осуществляется механическим вакуумным насосом 9 через холодный пароструйный диффузионный насос 7. Этот насос может быть отделен от вакуумной системы цельнометаллическим прогреваемым вентилем 5. Выпускной патрубок пароструйного диффузионного насоса соединен с механическим вакуумным насосом 9 через вентиль 8. Измерение давления производится манометрическими датчиками 2 и 4. [c.460]

В послевоенные годы развитие масс-спектрометрии шло по пути создания цельнометаллических вакуумных систем с применением секторного анализирующего магнитного поля [Л. 8]. Масс-спектрометр нашел применение для контроля непрерывных процессов на заводах по диффузионному разделению изотопов урана [Л. 9], на нефтеперерабатывающих заводах [Л. 10 и 11], для непрерывного контроля дыхательных процессов Л. 12 и 13], разделения и накопления стабильных изотопов [Л. 14], определения мест утечек в вакуумных металлических системах [Л. 15 и 16] и для решения многих других задач Л. 17 и 18]. Весьма большое значение за последние 20 лет масс-опектрометрия приобрела в органической химии Л. 19]. [c.8]

Непрогреваемая цельнометаллическая вакуумная система из нержавеющей стали с прокладками из эластомера типа витон, откачиваемая паромасляным насосом с кремнийорганической жидкостью 704 [c.135]

Вакуумные муфты и устройства, компенсирующие потери тепла, обеспечивают хорошую теплоизоляцию колонок. Для колонок малого диаметра длиной не свыше 3 м можно отдать предпочтение вакуумным рубашкам. Опыты показали, что в колонках, снабженных вакуумной рубашкой, можно поддерживать несколько меньшую скорость кипения. Для колонки большого диаметра (больше 15 jujii) и для цельнометаллических колонн единственно пригодным является устройство, компенсирующее тепло. Были также построены цельнометаллические колонки с вакуумной рубашкой [28] эти рубашки требовали длительного эвакуирования для того, чтобы провести обезгаживание металла. Когда [c.213]

При проведении работ, при которых колебание температуры составляет несколько сот градусов, в стеклянной системе реже возникают течи, чем в металлической в цельнометаллических системах различные части соединены фланцами, уплотнение которых обеспечивается металлическими или резиновыми прокладками постоянный нагрев и охлажение этих соединений может привести к течи. Однако металлическая система позволяет более точно установить отдельные части масс-спектрометра одна относительно другой катод более точно устанавливается относительно других деталей ионизационной камеры, когда он закрепляется фиксирующими штифтами гораздо труднее вставить катод, поддерживаемый длинным стеклянным штифтом, в стеклянную камеру масс-спектрометра. Металлическая система может быть собрана более надежно, чем стеклянная аппаратура окончательный монтаж металлического прибора менее тонок и меньше подвержен случайностям, чем стеклянного. Высокая теплопроводность металла способствует получению однородного нагрева всей вакуумной системы без применения специально разработанных нагревателей, создающих однородное распределение тепла по всей поверхности. [c.146]

Большие успехи в технике высокого вакуума, достигнутые в последнее время, а именно разработка мощных вакуумных насосов и цельнометаллических конструкций для катодного возбуждения образцов (типа 1лектронных микроскопов) в значительной степени устранили трудности, связанные с работой высоковакуумных разборных электронно-лучевых трубок. Смена образцов в таких конструкциях, снабженных смотровыми окнами для наблюдения катодолюминесценции, производится без нарушения вакуума во всей системе через специальные металлические дверцы. Вместе с промежуточной откачкой объема, занимаемого образцами, эта <шерация занимает не более нескольких минут. В прибор вносится обыкно- [c.107]

Для устранения упомянутых недостатков вакуумных стеклянных приборов была сделана попытка сконструировать для микроанализа газов цельнометаллический прибор с мембранными металлическими кранами. В этом приборе имелись две металлические конденсационные трубки, камера для сожжепия газа и микроманометр для замера давлений. [c.139]

В масс-спектрометрической камере поддерживается очень высокий вакуум, что достигается применением специальной вакуумной установки, состоящей из нарортутного насоса, масляного насоса ВН-494 и ловушки, охлаждаемой жидким азотом, для вымораживания ртутных паров. Для измерения вакуума применяется ионизационный манометр ЛМ-2. Вакуумная установка способна создать разрежение до 3—5 10 мм рт. ст. При впуске анализируемого газа давление повышается до 1—2 10 мм рт. ст. Цельнометаллический вентиль разъединяет масс-спектрометри ческую камеру и вакуумную установку, что позволяет сохранять [c.210]

Ловушки и отражатели. Задержка молекул пара, проникающих в вакуумную камеру, должна быть достигнута без чрезмерного ограничения потока откачиваемого газа. При достаточно больших величинах быстроты откачки современных насосов ее снижение даже на 50% из-за уменьшения проводимости впускного отверстия допустимо. Для улучшения коденсации паров соответствующие улавливающие конструкции нередко охлаждают. На рис. 8 показана проходная стеклянная ловушка со спиральной гофрированной медной фольгой, сочетающая в себе относительно высокую проводимость с большой площадью внутренней поверхности и, следовательно, с большой эффективностью из-за частых столкновений молекул со стенками. Она без охлаждения достаточно эффективно задерживает пары масла и в небольших стеклянных системах позволяет поддерживать давление 10 мм рт. ст. [43]. На рис. 9 представлена схема ловушки для цельнометаллических систем с внутренним сосудом для жидкого азота. Ее недостатком является возможность конденсации жидкости на неохлаж-даемой стенке, откуда масло может мигрировать в вакуумную систему и снова испаряться. Эта опасность уменьшена в ловушке Дьюара с экраном (рис. 10), в которой охлаждаются все стенки. Скорости поверхностной миграции и повторного испарения при температуре жидкого азота пренебрежимо малы. [c.189]

Петерс и Видеманн [73] построили весы для термографических исследований в вакууме (до мм рт, ст,) или в среде неагрессивных газов. Их цельнометаллические весы с коромыслом на призмах представляли, по существу, обычные микроаналитические весы с нагрузкой 10 з и с механическим устройством для накладывания гирь и рейтера в вакуумных условиях. Оболочка весов металло-стеклянная. Чашка с образцом на длинном стержне выносилась вверх от весов и размещалась в печи (1200° С). [c.107]

Роллин [31] (Кларендонская лаборатория, Оксфорд) описал комбинированный водородно-гелиевый ожижитель. Работа этого ожижителя требует главным образом жидкого воздуха, и только для начального охлаждения аппарата употребляется очень небольшое количество жидкого водорода. Жидкий водород, необходимый для запуска этой установки, получается в отдельном маленьком аппарате фирмы Линде, напоминающем аппарат Руэмана, описанный выше в 2. Ожижение гелия происходит по экспансионному методу Симона. На фиг. 70 показан этот цельнометаллический аппарат, заключенный в сосуд Дьюара. Сосуды для жидкого водорода Л и для жидкого гелия С подвешены в вакуумном сосуде E-i окруженном жидким воздухом. Водород под высоким давлением поступает в аппарат через трубку а, охлаждается жидким воздухом и затем проходит через противоточный теплообменник к расширительному вентилю У. Сосуд С наполняется газообразным гелием под давлением 130 ат. Необходимый для его охлаждения жидкий водород получают в сосуде В, в который он поступает через трубку с в виде газа при повышенном давлении, предварительно пройдя охлаждение жидким воздухом и жидким водородом. [c.188]

Трудности, связанные с отпаиванием, можно устранить, применяя тефлоновые или цельнометаллические краны, причем первые предпочтительнее, если только они действительно вакуумно-плотные. Такая аппаратура особенно удобна при работе с большими количествами жидкости или при отборе большого числа стандартных образцов. Хорошее подробное описание этой методики дано в статье Броуера и Маккормика [16]. [c.166]

Дилатометрическое наблюдение реакции полимеризации становится бессмысленным или по крайней мере очень трудным, если период полупревращения реакции меньше примерно 10 мин, если концентрации мономера очень малы (меньше, скажем, Q,Qb моль л), если температура заметно ниже 0° и если при умеренных (1 моль л) или высоких (5 моль л) концентрациях нужно наблюдать за реакцией далее первых нескольких процентов превращения. Известно много специальных решений отдельных проблем такого рода, но наиболее удачным гибким прибором является адиабатический калориметр. Его применяли многие исследователи, особенно Плеш и его сотрудники их прибор подробно описан в работе [321. Если им пользоваться как вакуумным прибором, то он относится к классу (в). В системе этого типа особенно удобны цельнометаллические вентили, подобные описанному Биддалфом и Плешем [36]. Старую проблему определения веса вещества, введенного в вакууме в ампулу, затем отпаиваемую от гребенки, остроумно разрешил Рутерфорд в своем методе средней точки [40]. [c.568]

Справочник химика 21

Химия и химическая технология