Проводимость элемента вакуумной

Выше были приведены основные формулы, позволяющие рассчитать проводимость отдельных элементов вакуумной системы. Определение суммарной проводимости системы зависит от того, как эти элементы соединены между собой. При последовательном соединении [c.60]

Вакуумная проводимость различных элементов системы..........83 [c.10]

Ясно, что проводимость данного элемента (трубы, камеры) должна-зависеть от его геометрических характеристик (например длины и диаметра в случае трубы), а также от физических свойств проходящего газа. Вся сложность вопроса заключается в определении этой проводимости для различного вида элементов вакуумной аппаратуры как для молекулярного, так и для ламинарного течения. В переходной области, т. е. когда часть газа течет ламинарно, а часть молекулярно, имеем параллельные потоки в том же трубопроводе (накладывающиеся друг на друга). Значит, по уравнению (2-233) проводимость будет суммой молекулярной, проводимости и проводимости для ламинарного движения [c.134]

Следовательно, вакуумная проводимость всей системы является суммой вакуумных проводимостей параллельно соединенных элементов. [c.83]

Вакуумная проводимость различных элементов системы [c.83]

В методе термической диффузии на поверхность полупроводниковой пластины наносят тонкий слой соответствующего элемента, атомы которого в условиях нагрева в вакуумной печи диффундируют в толщу полупроводника и создают нужный тип проводимости. Используют такл<е метод газовой диффузии в твердый полупроводник. В связи с развитием микроминиатюризации радио- [c.309]

Основными преимуществами метода вакуумной искры являются высокая чувствительность [42] (о чувствительности можно судить по тому факту, что метод позволяет регистрировать с уверенностью поверхности загрязнения на электроде эквивалентные 0,1 монослоя) и возможность за один эксперимент получить информацию об элементах-примесях в исследуемых веществах в пределах всей периодической системы. Немаловажным является тот факт, что анализы образцов можно проводить без использования стандартов для калибровки прибора, и нет необходимости применять химические реактивы, что уменьшает вероятность внесения примесей. Чтобы достигнуть чувствительности Ю- О/о (атомных) [45], необходимо израсходовать 1—1,5 мг образца, имеющего хорошую проводимость. Для образцов с худшей проводимостью расход вещества несколько возрастает, но обычно не превышает 3—5 мг. [c.122]

Поток газа при откачке высоковакуумными насосами (ниже 10 мм рт. ст.) является молекулярным и молекулы газа претерпевают частые столкновения со стенками. Наличие трубопроводов, изгибов, отражающих элементов затрудняет вывод математического выражения для проводимости той части установки, которая соединяет вакуумную камеру о насо- [c.36]

Обычно параметры элементов, соединяющих сепаратор с насосом, таковы, что Стр = 0,8 л/с, а для ротационного насоса величина Сн обычно равна 0,3 л . Если увеличить Стр до 10 л/с, а Сн до 1,2 л/с, то, как следует из выражения (16), полная проводимость Сполн не изменится (а следовательно, не изменятся Ql и Р ). Рассмотрим теперь условия внутри входного сужения сепаратора [последние 3 члена в выражениях (15) и (16)] полная проводимость вакуумной камеры равна обычно 0,0183 л/с, а после произведенных изменений она достигнет величины 0,0196 л/с, т. е. увеличится на 7%. В результате давление в камере несколько уменьшится, но обогащение от этого не улучшится, так как и до изменений в сепараторе были выполнены условия молекулярного течения. Если и произойдут какие-либо изменения, то это будет, вероятно, небольшое уменьшение эффективности и незначительное уменьшение давления в ионном источнике. Единственный эффективный способ уменьшения слишком высокого давления в ионном источнике заключается в уменьшении проводимости Сг выходного капилляра сепаратора. Видно также, что применение диффузионного насоса может дать лишь незначительный положительный эффект. [c.202]

Данные о потоке необходимы при определении характеристик вакуумных насосов (см. гл. 8), измерении проводимости вакуумных элементов, при исследовании газовыделения конструкционных материалов и при решении других задач. [c.230]

В качестве калиброванного сопротивления нередко также используют имеющийся коммутирующий элемент, например вакуумный кран, проводимость которого оценивается экспериментально. В этом случае при калибровке системы вместо обрабатываемого прибора (источника потока) к системе подсоединяют источник регулируемого потока со своим измерителем и определяют взаимосвязь между разностью давлений р)—рг и потоком газа известной величины для разных фиксированных положений крана. [c.237]

Метод измерения потока с помощью калиброванного сопротивления нашел широкое распространение в промышленности и лабораторной практике. Метод применяется для измерения потока газа из электровакуумных приборов при их обработке на откачном посту, для измерения быстроты действия вакуумных насосов, проводимости трубопроводов и других вакуумных элементов. [c.238]

Вал<ным элементом в вакуумной аппаратуре является отверстие в камере или сборнике (например выход трубы), которому отвечает определенное значение проводимости. На основе кинетической теории выведено уравнение линейной скорости молекулярного истечения газа из сборника (в котором имеется давление р ) через узкое отверстие в среду, где давление равняется рг [c.136]

Проводимости вакуумных систем в целом и их элементов (клапанов, затворов, участков трубопроводов), коэффициенты захвата различных устройств (насосов, ловушек и др.), а также распределение молекул по поверхностям вакуумной системы или отдельных ее участков можно рассчитать с помощью угловых коэффициентов, используемых для определения теплообмена излучением. [c.25]

Аналогия с электрическими цепями (подход С. Дэшмана). Если вакуумная система состоит из п последовательно соединенных элементов с известными проводимостями Ц, то суммарную проводимость системы можно определить по выражению [c.100]

При параллельном соединении п вакуумных элементов общая проводимость рассчитывается по формуле [c.100]

При вычислении проводимости последовательно соединенных конструкций по часто предлагаемой формуле (3.4) получаются достаточно большие погрешности по сравнению с точными значениями, найденными путем аналитического решения уравнения Клаузинга. При увеличении числа элементов трубопровода (разбиений) эта погрешность значительно возрастает, за счет чего применять данную формулу для расчетов вакуумной системы не рекомендуется. [c.106]

Вследствие возрастания числа конструктивных элементов в вакуумном трубопроводе (увеличения числа разбиений) получение более или менее точного значения проводимости всего трубопровода становится невозможным при традиционном подходе к расчету общей проводимости по формуле (3.4). [c.110]

С учетом указанных обстоятельств при выполнении расчетов реализован комбинированный подход. При анализе молекулярного переноса в узких полостях, стенки которых имеют существенно разную температуру, применялись методы статистических испытаний (Монте-Карло) и эквивалентных поверхностей. В свою очередь, в приложении к изотермическим конструктивным элементам использовались классические категории и соотношения вакуумной техники (проводимость, перепад давлений и т. п.). [c.191]

Если вакуумная система состоит из п последовательно соединенных элементов с известными проводимостями, то суммарную проводимость системы можно определить из вьфажения [c.65]

К погрешностям в измерении вакуума, кроме те.мпе-ратурных различий, можно также отнести то, что в некоторых условиях манометр по отношению к остальной части установки может становиться либо откачивающим, либо газовыделяюгцим элементом. В первом случае ма-но.метры дают заниженное значение давления, во втором— завышенное. Кроме того, манометр может существенно изменять состав остаточных газов. Необходимо отметить также, что по мере достижения более высокого вакуума влияние манометров сказывается более сильно. Для снижения этого влияния необходимо обеспечивать как можно большую проводимость между манометром и вакуумной системой. Этому требованию больше отвечают открытые манометры, поскольку у закрытых манометров всегда есть ограничивающие проводимость отверстия или трубопроводы. [c.104]

При анализе вакуумных систем одним из важнейпшх параметров является проводимость трубопроводов, соединяющих различные элементы системы. Проводимость трубопровода зависит от многих параметров, ключевыми из которых являются геометрия и угловое распределение скоростей. [c.118]

При анализе вакуумных систем одним из важнейших параметров является проводимость трубопроводов, соединяющих различные элементы системы. Этот показатель зависит от многих факторов, ключевыми из которых являются геометрические характеристики и угловое распределение скоростей. Под геометрическими характеристиками в данном случае подразумеваются как макрогеометрия трубопровода — форма поперечного сечения (круглое, квадратное и др.), размеры, так и микрогеометрия — структура поверхности, с которой непосредственно взаимодействует молекула. Анализ влияния микроструктуры поверхности частично описан в [9]. [c.180]

Если ме5кду насосом и вакуумной камерой ставят, например, экран, трубу или диафрагму, то быстрота откачки 5 падает. Конструетивный элемент характеризуется проводимостью [c.63]

Проводимость и характеризуется вероятностью проникания (коэффициентом Клаузинга) к 2. Это вероятность того, что частицы, падающие с распределением Максвелла на входную поверхность Fi конструетив-ного элемента, проходят выходную поверхность F2. Доля сталкивающихся частиц (l- n) вылетает из конструктивного вакуумного элемента через сечение Fi. Поток частиц в направлении 1—>2 равен а в противоположном направлении i /2 21 Q плотность потока частиц) в случае, когда на F2 также справедливо распределение Максвелла. Суммарный поток N=FiIiki2-F2hk2 равен нулю, если/] =/2. Значит [c.64]

Прн вьршсленип проводимости последовательно соединенных конструкций часто предлагаемая формула (3.10) для определепия суммарной проводимости дает достаточно больпше отклонения от точных значений, которые н01 чены путем аналитического решения уравнения Клаузинга. При увеличении числа элементов трубопровода (разбиений) эта погрешность значительно возрастает п делает невозможной применение данной формулы для расчетов вакуумной системы. [c.72]

Справочник химика 21

Химия и химическая технология